基于超结的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN103745993A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201410030986.7

    申请日:2014-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于超结的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法,高压器件的结构从下至上依次包括衬底、GaN缓冲层、本征GaN(或AlGaN)沟道层、AlN隔离层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层上有源极、栅极、漏极、线性AlGaN层、柵源场板、P型GaN(或InGaN)层、基极,栅极与AlGaN势垒层之间还设置有绝缘介质层。本发明的有益之处在于:器件导通时第一区域、第二区域和第四区域的2DEG浓度增加,电阻减小,达到了降低器件导通电阻的目的;器件截止时第一区域的2DEG减小,第二区域和第三区域的2DEG与器件导通时相同,增加了器件耗尽区的宽度,达到了提高器件击穿电压的目的;栅源场板确保了电场峰值不会出现在栅靠近源的边界处,提高了击穿电压;绝缘栅结构避免了栅极泄漏电流,提高了器件性能。

    基于复合漏极的AlGaN/GaNMISHEMT高压器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN103745992A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201410030942.4

    申请日:2014-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于复合漏极的AlGaN/GaN?MISHEMT高压器件及其制作方法,器件的结构从下至上依次包括:衬底、GaN缓冲层、本征GaN沟道层、AlN隔离层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层上设置有:源极、栅极和复合漏极,栅极与AlGaN势垒层之间设置有绝缘介质层;在栅极与复合漏极之间的AlGaN势垒层上方依次外延有线性AlGaN层、P型GaN外延层、基极。本发明的有益之处在于:器件导通时,栅漏间第一区域和第二区域的2DEG浓度增加,电阻减小;器件截止时,第一区域的2DEG减小,第二区域的2DEG与器件导通时相同,器件耗尽区的宽度增加,电场分布改变,器件击穿电压提高;复合漏极结构防止了漏极边缘出现电场峰值,提高了器件的击穿电压;绝缘栅结构避免了栅极泄漏电流,提高了器件性能。

    基于超结的AlGaN/GaN高压器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN103745991A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201410029857.6

    申请日:2014-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于超结的AlGaN/GaN高压器件及其制作方法,高压器件的结构从下至上依次包括:衬底、GaN缓冲层、本征GaN(或AlGaN)沟道层、AlN隔离层和AlGaN势垒层,AlGaN势垒层上依次有:源极、栅极和漏极,在源极与栅极之间、栅极与漏极之间还形成有线性AlGaN层、柵源场板、P型GaN(或InGaN)层、基极。本发明的有益之处在于:器件导通时第一区域、第二区域和第四区域的2DEG浓度增加,电阻减小,达到了降低器件导通电阻的目的;器件截止时第一区域的2DEG减小,第二区域和第三区域的2DEG与器件导通时相同,增加了器件耗尽区的宽度,改变了电场分布,达到了提高器件击穿电压的目的;本发明采用栅源场板,确保了电场峰值不会出现在栅靠近源的边界处,达到了提高击穿电压的目的。

    一种大面积柔性钙钛矿太阳电池的制备方法及电池

    公开(公告)号:CN117750849B

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410185947.8

    申请日:2024-02-20

    Abstract: 本发明涉及一种大面积柔性钙钛矿太阳电池的制备方法及电池,制备方法包括:将带有保护膜的柔性透明导电基底贴合在刚性基底上;通过激光划刻方式去除柔性透明导电基底上的部分导电层;依次制备电荷传输层、钙钛矿活性层和电荷传输层;通过激光划刻方式去除部分电荷传输层、钙钛矿活性层和电荷传输层;制备金属电极层;通过激光划刻方式去除部分金属电极层、电荷传输层、钙钛矿活性层和电荷传输层;将柔性透明导电基底与刚性基底分离得到大面积柔性钙钛矿太阳电池。本发明的三次激光划刻采用同一种波长激光,降低了生产成本;通过将柔性透明导电基底贴合在刚性基底上,解决了大面积柔性基底在制备太阳电池过程中易弯曲、难以进行激光划刻的问题。

    一种复合终端结构的氧化镓肖特基二极管及其制备方法

    公开(公告)号:CN117059674B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202311328044.2

    申请日:2023-10-13

    Abstract: 本发明涉及一种复合终端结构的氧化镓肖特基二极管及其制备方法,二极管包括:N型氧化镓衬底层、N型氧化镓外延层、第一金属层、P型材料层、介质层和第二金属层;第一金属层、N型氧化镓衬底层、N型氧化镓外延层自下而上依次层叠;P型材料层位于N型氧化镓外延层的部分表面上,且具有自N型氧化镓外延层的露出表面至两侧厚度逐渐增加的第一级斜面;介质层位于P型材料层的部分表面上,且具有自P型材料层的露出表面至两侧厚度逐渐增加的第二级斜面;第二金属层覆盖N型氧化镓外延层的露出表面、第一级斜面、P型材料层的露出表面和第二级斜面的部分表面。该二极管形成双斜面双台面器件结构,可以有效改善器件结边缘的电场集中效应。

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