公开(公告)号：CN105272230B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201510284910.1

申请日：2015-05-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  渡边隆之 ,  村上俊介 ,  斋藤宏 ,  古田达雄

IPC: C04B35/49 ,  H01L41/22 ,  H01L41/08 ,  H01L41/083 ,  H02N2/00 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14

CPC classification number: B08B7/02 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/14274 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1612 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1637 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  G02B7/10 ,  G02B27/0006 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/257 ,  H01L41/273 ,  H01L41/43 ,  H02N2/103 ,  Y10T29/43

Abstract: 公开了压电材料、压电元件、压电元件制造方法和电子设备。本发明能够提供在室温范围内具有高压电常数的无铅压电材料。为此，本发明是一种压电材料，包括包含由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物的主成分、含Mn的第一辅助成分和含三价Bi的第二辅助成分，Baa(Ti1‑xZrx)O3(1)其中0.02≤x≤0.13并且0.986≤a≤1.02，其中，所含Mn的量是相对于1摩尔的金属氧化物的0.0020摩尔以上且0.0150摩尔以下，并且所含Bi的量是相对于1摩尔的金属氧化物的0.00042摩尔以上且0.00850摩尔以下。

公开(公告)号：CN104302598A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380020215.3

申请日：2013-03-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  古田达雄 ,  清水康志 ,  小山信也 ,  上林彰 ,  斋藤宏 ,  久保田纯 ,  明石健一 ,  林润平

IPC: C04B35/468 ,  C04B35/49 ,  H01L41/187 ,  H02N2/00

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B08B7/02 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/62695 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0973 ,  H02N2/103 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  C04B35/49 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3215

Abstract: 本发明提供了一种在宽的操作温度范围中具有高压电常数和高机械品质因数的无铅压电材料。该压电材料包括由通式(1)表达的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分：(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1.00≤a≤1.01、0.125≤x

公开(公告)号：CN104276820A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410328462.6

申请日：2014-07-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大志万香菜子 ,  渡边隆之 ,  村上俊介 ,  田中秀典 ,  林润平 ,  斋藤宏 ,  松田坚义

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/622 ,  H01L41/187 ,  G02B7/04 ,  H02N2/00

CPC classification number: H01L41/183 ,  B06B1/0644 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79 ,  G02B27/0006 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/43 ,  H02N2/001 ,  H02N2/10 ,  H02N2/16

Abstract: 一种压电材料、压电元件和电子装备。该压电材料含有：主成分，主成分包含具有公式(1)的钙钛矿类型金属氧化物；第一辅助成分，由Mn组成；以及第二辅助成分，由Bi或者Bi和Li组成，其中，Mn含量是金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.04重量份或更大并且0.400重量份或更小，Bi含量是金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.042重量份或更大并且0.850重量份或更小，以及Li含量是金属氧化物的每100重量份的以金属换算的0.028重量份或更小，包括0重量份。(Ba1-xCax)a(Ti1-y-zSnyZrz)O3 (1)，其中，0≤x≤0.080，0.013≤y≤0.060，0≤z≤0.040，以及0.986≤a≤1.020。

公开(公告)号：CN104205388A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380016696.0

申请日：2013-03-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 岛田干夫 ,  飨场利明 ,  伊福俊博 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  吉田达雄 ,  林润平

IPC: H01L41/187

CPC classification number: C04B35/49 ,  B08B7/028 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62645 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3263 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  G02B7/021 ,  G02B7/022 ,  G02B7/023 ,  G02B27/0006 ,  G03B3/10 ,  G03B2205/0061 ,  G03B2205/0084 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/001 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 提供了一种无铅压电陶瓷，其具有增强的机械品质因数(Qm)和机械强度。这种压电陶瓷包括至少第一晶粒和第二晶粒。第一晶粒的平均等效圆直径为2μm以上和30μm以下。第一晶粒包括作为主要组分的由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，第二晶粒包括作为主要组分的由以下通式(2)表示的钙钛矿型金属氧化物：(1)xBaTiO3－yCaTiO3－zCaZrO3；和(2)x'BaTiO3－y'CaTiO3－z'CaZrO3，规定，x、y、z、x'、y'和z'满足x+y+z＝1，x'+y'+z'＝1，0≤x'≤0.15，0.85≤y'≤1，0≤z'≤0.05，x＞x'，0＜y＜y'，和z＞0。

公开(公告)号：CN102378744B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201080015258.9

申请日：2010-03-30

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人山梨大学

Inventor： 斋藤宏 ,  松田坚义 ,  高岛健二 ,  熊田伸弘

IPC: C04B35/26 ,  C04B35/468 ,  C03B29/00 ,  C30B30/04 ,  C30B28/00 ,  H01L41/187

CPC classification number: C30B29/24 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/26 ,  C04B35/2666 ,  C04B35/2675 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/6263 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3274 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C30B28/00 ,  C30B30/04 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/43

Abstract: 本发明提供压电陶瓷，其含有具有假立方型的{110}面取向的BiFeO3，其适合畴工程，该压电陶瓷包括由下述通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，并且具有假立方型的{110}面取向：通式(1)xBiFeO3-(1-x)ABO3其中A和B均表示一种或多种金属离子；A表示具有1、2或3价的金属离子；和B表示具有3、4或5价的金属离子，条件是x在0.3≤x≤1的范围内。

公开(公告)号：CN102934248A

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201180027713.1

申请日：2011-06-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  松田坚义 ,  渡边隆之

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B08B7/02 ,  B41J2/14 ,  C04B35/495

CPC classification number: H01L41/1878 ,  B08B7/026 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C01G33/006 ,  C01P2002/52 ,  C01P2002/72 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3258 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/81 ,  H01L41/18 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/43 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 提供一种包含具有高取向度的基于铌酸钡铋的钨青铜结构金属氧化物的压电材料。还提供包括压电材料的压电元件、液体排放头、超声波电机、以及灰尘清洁设备。该压电材料包括：钨青铜结构金属氧化物，包括金属元素钡、铋和铌；以及钨。金属元素以摩尔计量满足以下条件：当Ba/Nb＝a时，0.30≤a≤0.40，以及当Bi/Nb＝b时，0.012≤b≤0.084。以金属计量的钨含量相对于钨青铜结构金属氧化物的100重量份是0.40至3.00重量份。钨青铜结构金属氧化物具有c轴取向。

公开(公告)号：CN102428586A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080018175.5

申请日：2010-04-20

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人山梨大学

Inventor： 松田坚义 ,  渡边隆之 ,  斋藤宏 ,  熊田伸弘

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/24 ,  C04B35/495

CPC classification number: H01L41/1871 ,  C04B35/495 ,  C04B35/6262 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  H01L41/27 ,  H01L41/43

Abstract: 本发明提供取向的压电材料，其具有令人满意的烧结性，不含作为危险物质的Pb和水溶性碱离子，及其制备方法。为此，提供化合物，包括钨青铜结构金属氧化物，其中：该钨青铜结构金属氧化物至少含有金属元素Ba、Bi、Ca和Nb，该金属元素以摩尔比计满足下述条件；并且具有C-轴取向。该化合物显示Ba/Nb＝a：0.363＜a＜0.399，Bi/Nb＝b：0.0110＜b＜0.0650，和Ca/Nb＝c：0.005＜c＜0.105。该钨青铜结构金属氧化物优选包括(1-x)·Ca1.4Ba3.6Nb10O30-x·Ba4Bi0.67Nb10O30(0.30≤x≤0.95)。

公开(公告)号：CN100590902C

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200480003112.7

申请日：2004-01-30

Applicant: 佳能株式会社 ,  清水胜

Inventor： 伊福俊博 ,  武田宪一 ,  福井哲朗 ,  青木活水 ,  松田坚义 ,  清水胜

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/24 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055

CPC classification number: H01L41/41 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 一种包括上电极、压电和/或电致伸缩材料和下电极的压电元件，其特征在于，压电和/或电致伸缩材料是由通式ABO3构成的复合氧化物，并且该压电和/或电致伸缩材料具有孪晶。

公开(公告)号：CN101641806A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200880009802.1

申请日：2008-03-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 林润平 ,  松田坚义 ,  福井哲朗 ,  舟洼浩

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/24

CPC classification number: H01L41/0973 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明公开了外延膜，其包括：加热Si衬底，在该衬底的表面上设置有具有1.0nm～10nm膜厚的SiO 2 层；和通过使用由以下组成式(1)表示的金属靶在该SiO 2 层上形成由以下组成式(2)表示的外延膜：yA(1-y)B (1)，其中A为选自由包括Y和Sc的稀土元素组成的组的一种或多种元素，B为Zr，且y为0.03～0.20的数值，xA 2 O 3 -(1-x)BO 2 (2)，其中A和B为分别与组成式(1)的A和B相同的元素，且x为0.010～0.035的数值。

公开(公告)号：CN1956234A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610126135.8

申请日：2006-08-23

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 松田坚义 ,  青木活水 ,  伊福俊博 ,  武田宪一 ,  福井哲朗 ,  舟洼浩 ,  横山信太郎

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/472 ,  C04B35/499 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  C30B25/06

Abstract: 由ABO3表示的单晶结构或单一取向晶体结构的钙钛矿型氧化物，其中A位包括Pb作为主要组分、B位包括多种元素，该钙钛矿型氧化物包括多种选自四方晶系、六方晶系、斜方晶系、立方晶系、准立方晶系(pseudo cubic)和单斜晶系的晶相，多种晶相在 方向上取向。