集成电路器件及其制造方法
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111613622A

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN201911241565.8

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 提供了集成电路器件及其制造方法。集成电路器件可以包括交替地堆叠的多个字线结构和多个绝缘膜。所述多个字线结构和所述多个绝缘膜的侧面限定了延伸穿过所述多个字线结构和所述多个绝缘膜的沟道孔的侧面。所述器件还可以包括位于所述沟道孔的侧面上的阻挡介电膜,以及位于所述阻挡介电膜且分别位于所述多个字线结构的侧面上的多个电荷存储膜。所述多个电荷存储膜中的每一个电荷存储膜可以包括顺序地堆叠在所述多个字线结构的侧面中的相应侧面上的第一电荷存储膜和第二电荷存储膜。所述第二电荷存储膜的表面可以在其中间部分包括凹部。

    NAND闪存器件及其制造方法
    48.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100595925C

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200610101580.9

    申请日:2006-07-12

    Inventor: 宋在爀 崔定爀

    CPC classification number: H01L27/115 H01L27/11521 H01L27/11524

    Abstract: 一种NAND闪存器件,包括半导体衬底、字线、第一和第二选择线、隧道绝缘层和选择栅绝缘层。半导体衬底包括存储晶体管区和选择晶体管区。字线排列在半导体衬底的存储晶体管区,以及选择线排列在半导体衬底的选择晶体管区。隧道绝缘层插入字线和半导体衬底之间,以及选择栅绝缘层插入选择线和半导体衬底之间,并具有比隧道氧化物层更薄的厚度。同样,选择栅绝缘层在其中心区域具有比其边缘部分更薄的厚度。

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