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公开(公告)号：CN117460866B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280006000.5
申请日：2022-06-17
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种可清洗触点清洗部件的镀覆装置。镀覆装置包括：镀覆槽，构成为收容镀覆液；基板保持器，构成为保持被镀覆面朝向下方的基板，且具有用于对基板供电的触点部件；触点清洗部件(482)，用于在位于镀覆槽与基板保持器之间的清洗位置时朝向触点部件排出清洗液；驱动机构(476)，构成为使触点清洗部件(482)在清洗位置与退避位置之间移动，该退避位置是从镀覆槽与基板保持器之间退避了的位置；以及喷嘴清洗用罩(489)，构成为在触点清洗部件(482)位于退避位置时覆盖触点清洗部件(482)的上部。
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公开(公告)号：CN116397303B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202310296969.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供镀覆装置。在镀覆处理中实时且正确地掌握镀覆膜厚。镀覆装置具备：镀覆槽，其用于收容镀覆液；基板支架，其用于保持基板；阳极，其以与被上述基板支架保持的上述基板对置的方式配置在上述镀覆槽内；电位传感器，其构成为配置于被上述基板支架保持的上述基板的附近，并测定上述镀覆液的电位；以及状态空间模型，其构成为基于上述电位传感器测定出的上述镀覆液的电位的测定值，使用状态方程式以及观测方程式来推断在上述基板的外缘部流过的电流密度。
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公开(公告)号：CN112080781B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202010533757.2
申请日：2020-06-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 平尾智则
Abstract: 本发明提供一种在基板的附近处调节基板上的电位分布的遮蔽板。根据一实施方式，提供一种用于对基板进行镀覆处理的镀覆装置，该镀覆装置具有：基板保持架，该基板保持架用于保持基板；遮蔽板，该遮蔽板与所述基板保持架相邻配置；以及移动机构，该移动机构用于使所述遮蔽板向靠近所述基板保持架的方向以及远离所述基板保持架的方向移动，所述遮蔽板构成为，能够通过所述移动机构来向所述基板保持架侧移动，从而与所述基板保持架接触。
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公开(公告)号：CN118103604A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202280060008.X
申请日：2022-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 机器学习装置(3)具备：学习用数据存储部(31)，其存储多组由输入数据和输出数据构成的学习用数据，该输入数据包括由叶轮(20)和收容叶轮(20)的流路部(22)构成的泵部的形状参数，该输出数据包括具有由形状参数规定的泵部的泵(2)的泵性能；机器学习部(32)，其通过输入多组学习用数据而使学习模型学习输入数据与输出数据之间的相关关系；以及学习完毕模型存储部(33)，其存储利用机器学习部(32)学习了相关关系的学习模型(10)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118077044A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202280067492.9
申请日：2022-07-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/304 , H01L21/683
Abstract: 本发明的基板支撑装置具备：配置于框体内，并保持基板的周缘部的多个辊；通过驱动多个辊旋转而使基板旋转的旋转驱动部；设置成从辊或旋转驱动部延伸至框体，将因基板的周缘部的凹槽或定向平面接触辊而产生的振动传递至框体的振动传递机构；配置于框体的外侧，检测从框体产生的声音、振动及应变中的至少一个，并输出与其对应的信号的检测传感器；及基于从检测传感器输出的信号来计算基板的旋转速度的旋转速度计算部。
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公开(公告)号：CN112706002B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202011147586.6
申请日：2020-10-23
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够正确确定基板的研磨终点的研磨方法及研磨装置。本方法为，使支承研磨垫(2)的研磨台(3)旋转，由研磨头(10)将基板(W)向研磨垫(2)的研磨面(2a)按压而对基板(W)进行研磨，对基板(W)进行研磨的工序包括一面使研磨头(10)沿着研磨面(2a)摆动一面对基板(W)进行研磨的摆动研磨工序，和在使研磨头(10)的摆动停止的状态下对基板(W)进行研磨的静止研磨工序，静止研磨工序在摆动研磨工序后进行，静止研磨工序包括确定静止研磨终点的工序，该静止研磨终点是用来使研磨台(3)旋转的转矩的变化的比例达到变化比例阈值的时间点。
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公开(公告)号：CN117984218A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410148872.6
申请日：2019-08-05
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/005 , B24B37/04 , B24B37/10 , B24B37/30 , B24B37/34 , B24B41/00 , B24B49/00 , B24B49/08 , B24B49/16 , B24B55/06 , B24B57/02 , F17D1/065 , F17D3/01 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 本发明提供能更高精度地判定基板吸附的基板保持装置及具备该基板保持装置的基板研磨装置，另外，提供能更高精度地判定基板吸附的基板吸附判定方法及利用该基板吸附判定方法的基板研磨方法。基板保持装置具备：顶环主体，能安装具有能吸附基板的面的弹性膜，当安装弹性膜时，在弹性膜与顶环主体之间形成多个区域；第一管线，与多个区域中的第一区域连通；第二管线，与多个区域中的与第一区域不同的第二区域连通；压力调整单元，能经由第一管线而送入流体对第一区域加压，并能经由第二管线使第二区域为负压；及判定部，基于送入到第一区域的流体的体积或与第一区域的压力对应的测定值进行基板是否吸附于弹性膜的判定，在判定时，不从第一区域排气。
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公开(公告)号：CN117916859A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280058888.7
申请日：2022-08-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明关于抑制将多片基板接合而制造的层叠基板的破裂和缺损的基板处理方法，特别是关于将填充剂涂布于构成层叠基板的多片基板的边缘部之间形成的间隙的技术。本基板处理方法包含：将第一填充剂(F1)涂布于第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)之间隙(G)的工序；以及在涂布第一填充剂(F1)后将第二填充剂(F2)涂布于第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)的间隙(G)的工序，第一填充剂(F1)的粘度低于第二填充剂(F2)。
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公开(公告)号：CN117881897A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202280055352.X
申请日：2022-08-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供能够不需要常设的大型卷扬机的升降装置。升降装置(12)用于使潜没式泵(2)在泵柱(3)内上升及下降，所述潜没式泵(2)用于移送液化气。升降装置(12)具备线缆(13)和与线缆(13)连结的卷扬机(14)。线缆(13)具备多个分割线缆(13B)和能够分离地连结多个分割线缆(13B)的多个连结杆(16)。
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