公开(公告)号：CN118077044A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202280067492.9

申请日：2022-07-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 松田道昭 ,  宫崎充 ,  中野央二郎 ,  渡边裕辅

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的基板支撑装置具备：配置于框体内，并保持基板的周缘部的多个辊；通过驱动多个辊旋转而使基板旋转的旋转驱动部；设置成从辊或旋转驱动部延伸至框体，将因基板的周缘部的凹槽或定向平面接触辊而产生的振动传递至框体的振动传递机构；配置于框体的外侧，检测从框体产生的声音、振动及应变中的至少一个，并输出与其对应的信号的检测传感器；及基于从检测传感器输出的信号来计算基板的旋转速度的旋转速度计算部。

公开(公告)号：CN117836091A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202280054489.3

申请日：2022-07-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村裕贵 ,  铃木佑多 ,  渡边裕辅 ,  松田道昭 ,  山本弘贵 ,  高桥太郎

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16 ,  H01L21/304

Abstract: 即使研磨摩擦力的变化较小仍可精确检测研磨终点。研磨装置具备：用于保持研磨垫的研磨台；用于将研磨对象物保持为与所述研磨垫相对的保持部；及基于表示由所述研磨垫研磨所述研磨对象物的状态的信号，检测表示所述研磨结束的研磨终点的终点检测部，所述终点检测部构成为，除去所述信号的噪声，并将除去噪声后的所述信号以比1大的指数乘幂，并基于所述乘幂后的信号来检测所述研磨终点。

公开(公告)号：CN1206624A

公开(公告)日：1999-02-03

申请号：CN98106678.X

申请日：1992-10-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐濑敏次 ,  松田道昭

IPC: B01D53/56 ,  B01D53/92

CPC classification number: B01D53/504

Abstract: 本发明公开了一种废气脱硝方法及其装置。其中作为氮氧化物还原剂的氨经氨进料设备加到内燃机废气中,所述氨进料设备安在排废气到外部的废气管的中部,借助安装在氨进料设备下游的测量绝对湿度和/或温度的设备测量供内燃机燃烧的空气的进口绝对湿度和/或温度。将来自测量设备的信号送到控制设备以控制氨进料设备中氨进料速率。

公开(公告)号：CN1090047C

公开(公告)日：2002-09-04

申请号：CN98106678.X

申请日：1992-10-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐濑敏次 ,  松田道昭

IPC: B01D53/56 ,  B01D53/92

CPC classification number: B01D53/504

Abstract: 本发明公开了一种废气脱硝方法及其装置。其中作为氮氧化物还原剂的氨经氨进料设备加到内燃机废气中，所述氨进料设备安在排废气到外部的废气管的中部，借助安装在氨进料设备下游的测量绝对湿度和/或温度的设备测量供内燃机燃烧的空气的进口绝对湿度和/或温度。将来自测量设备的信号送到控制设备以控制氨进料设备中氨进料速率。

公开(公告)号：CN114846584B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202080090122.8

申请日：2020-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 松田道昭 ,  中野央二郎 ,  大垣冬季 ,  渡边裕辅 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/304

Abstract: 清洗装置具备：多个辊，该多个辊保持基板的周缘部；旋转驱动部，该旋转驱动部通过驱动所述多个辊旋转而使所述基板旋转；清洗部件，该清洗部件与所述基板抵接而进行该基板的清洗；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板供给清洗液；传声器，该传声器对由于所述基板的周缘部的切口与所述多个辊接触而产生的声音进行检测；以及旋转速度计算部，该旋转速度计算部基于由所述传声器检测的声音计算所述基板的旋转速度。

公开(公告)号：CN114846584A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202080090122.8

申请日：2020-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 松田道昭 ,  中野央二郎 ,  大垣冬季 ,  渡边裕辅 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/304

Abstract: 清洗装置具备：多个辊，该多个辊保持基板的周缘部；旋转驱动部，该旋转驱动部通过驱动所述多个辊旋转而使所述基板旋转；清洗部件，该清洗部件与所述基板抵接而进行该基板的清洗；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板供给清洗液；传声器，该传声器对由于所述基板的周缘部的切口与所述多个辊接触而产生的声音进行检测；以及旋转速度计算部，该旋转速度计算部基于由所述传声器检测的声音计算所述基板的旋转速度。

公开(公告)号：CN1071852A

公开(公告)日：1993-05-12

申请号：CN92111501.6

申请日：1992-10-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐濑敏次 ,  松田道昭

IPC: B01D53/36 ,  F01N3/10

CPC classification number: B01D53/504

Abstract: 本发明公开了一种废气脱硝方法及其装置。其中作为氮氧化物还原剂的氨经氨进料设备加到内燃机废气中，所述氨进料设备安在排废气到外部的废气部的中部，借助安装在氨进料设备下游的测量绝对湿度和/或温度的设备测量供内燃机燃烧的空气的进口绝对湿度和/或温度。将来自测量设备的信号送到控制设备以控制氨进料设备中氨进料速率。