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公开(公告)号：CN101546119B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN200910127064.7
申请日：2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、分隔物及其制备方法以及液晶显示元件。提供在分隔物形成时产生的挥发性成分的量非常少、并且对于基于缝模涂敷法的高速涂敷也能够应付的感射线性树脂组合物。上述感射线性树脂组合物包括：[A]具有由羧基和羧酸酐基构成的群组中选出的至少一种基团以及来源于以季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)为代表的特定多元硫醇化合物的基团，并且由凝胶渗透色谱测得的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)与聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.0～2.8的聚合物；[B]聚合性不饱和化合物；以及[C]感射线性聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN101308327B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200810099074.X
申请日：2008-05-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]含有(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种以及(a2)具有选自环氧乙烷基和氧杂环丁烷基中的至少一种基团的不饱和化合物而成的不饱和化合物的共聚物；[B]1，2-重氮醌化合物；和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物。上述放射线敏感性树脂组合物具有高的放射性灵敏度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能够形成良好图案形状的显影余地，可以容易地形成密合性优异的层间绝缘膜或微透镜。
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公开(公告)号：CN101515113B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910007638.7
申请日：2009-02-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感射线性树脂组合物，其具有高的射线敏感度，并具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也能形成良好图案形状的显影余量，能够容易地形成密合性优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜或微透镜。该感射线性树脂组合物包含具有聚合性不饱和键的聚硅氧烷和1，2-醌二叠氮化合物。
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公开(公告)号：CN102156386A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201010599858.6
申请日：2010-12-14
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法。本发明的目的在于提供可以形成具有无涂布不匀的高度平整性的层间绝缘膜的聚硅氧烷类正型放射线敏感性组合物。本发明是一种正型放射线敏感性组合物，其包含：[A]硅氧烷聚合物、[B]醌二叠氮化合物以及[C]包含(c1)下述式(1)所示的化合物、(c2)下述式(2)所示的化合物以及(c3)具有下述式(3)所示的基团的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物。CH2＝CR1COO-CαH2α-CβF2β+1 (1)CH2＝CR2COO-(CγH2γ-O)a-R3 (2)
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公开(公告)号：CN1757670B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200510105711.6
申请日：2005-09-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物，能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜，且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包含(A)使10～50重量％的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20～60重量％的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5～40重量％的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中，(a)+(b)+(c)＝100重量％)聚合所得的碱可溶性共聚物；(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物；以及(C)光聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN101788767A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010104136.9
申请日：2010-01-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性，并且具有高的射线敏感度，在显影工序中，具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度；该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1，2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。
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公开(公告)号：CN101727002A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910207034.7
申请日：2009-10-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物，其对射线具有高敏感度，具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。
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公开(公告)号：CN101646718A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200880010115.1
申请日：2008-03-21
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C09D183/10
Abstract: 本发明涉及固化性树脂组合物，该组合物含有：含有具选自环氧乙基、氧杂环丁基和烯丙基的至少一种官能基团的聚合性不饱和化合物的聚合物，以及含有可通过热与该聚合物发生交联反应的官能基团的滤色器保护膜用硅氧烷低聚物。该组合物即使是表面平整性低的基体，也可以在该基体上形成平整性高的固化膜，并且用于形成透明性和表面硬度高，耐热耐压性、耐酸性、耐碱性、耐溅射性等各种耐性优异的光学装置用保护膜。
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公开(公告)号：CN101308327A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200810099074.X
申请日：2008-05-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]含有(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种以及(a2)具有选自环氧乙烷基和氧杂环丁烷基中的至少一种基团的不饱和化合物而成的不饱和化合物的共聚物；[B]1，2－重氮醌化合物；和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物。上述放射线敏感性树脂组合物具有高的放射性灵敏度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能够形成良好图案形状的显影余地，可以容易地形成密合性优异的层间绝缘膜或微透镜。
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公开(公告)号：CN101226329A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810003519.X
申请日：2008-01-18
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：(a1)、(a2)和(a3)的共聚物[A]、1，2－二叠氮醌化合物[B]、以及含有通过热与[A]成分进行交联反应的官能团的硅氧烷低聚物[C]，所述(a1)：不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，所述(a2)：含有环氧基和/或氧杂环丁烷基的不饱和化合物，和所述(a3)：(a1)成分和(a2)成分以外的不饱和化合物。一种放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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