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公开(公告)号：CN101788767B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201010104136.9
申请日：2010-01-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性，并且具有高的射线敏感度，在显影工序中，具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度；该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1，2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。
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公开(公告)号：CN102385251A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110250945.5
申请日：2011-08-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法。本发明的目的在于提供一种兼具保存稳定性和低温焙烧性能、且具有充分的敏感性的放射线敏感性树脂组合物；以及耐溶剂性、相对介电常数和硬度均优异的作为层间绝缘膜、保护膜或垫片的固化膜；该固化膜的形成方法；耐热性、耐溶剂性、电压保持率等优异的滤色器；以及该滤色器的形成方法。在本发明的放射线敏感性树脂组合物中，含有[A]碱可溶性树脂、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂以及[D]封端异氰酸酯化合物。
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公开(公告)号：CN102385251B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201110250945.5
申请日：2011-08-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法。本发明的目的在于提供一种兼具保存稳定性和低温焙烧性能、且具有充分的敏感性的放射线敏感性树脂组合物；以及耐溶剂性、相对介电常数和硬度均优异的作为层间绝缘膜、保护膜或垫片的固化膜；该固化膜的形成方法；耐热性、耐溶剂性、电压保持率等优异的滤色器；以及该滤色器的形成方法。在本发明的放射线敏感性树脂组合物中，含有[A]碱可溶性树脂、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂以及[D]封端异氰酸酯化合物。
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公开(公告)号：CN101859067A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010147524.5
申请日：2010-03-31
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。本发明提供适合用于形成柔性显示器的层间绝缘膜，且可以在低温下短时间加热进行烧制，同时具有高的放射性灵敏度的放射线敏感性树脂组合物。本发明提供一种层间绝缘膜形成用放射线敏感性树脂组合物，其包含[A]将含有(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐以及(a2)含环氧基的不饱和化合物的单体共聚形成的共聚物碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化合物以及[C]在1分子中具有2个以上巯基的化合物。[C]成分在1分子中具有2个以上的巯基的化合物优选为下式(1)所示的化合物。
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公开(公告)号：CN101788767A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010104136.9
申请日：2010-01-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性，并且具有高的射线敏感度，在显影工序中，具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度；该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1，2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。
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