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公开(公告)号:CN105807561B
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN201610025191.6
申请日:2016-01-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种可形成由着色剂引起的液晶层污染减少的着色图案的感放射线性着色组合物、着色图案及其形成方法以及液晶显示元件。本发明为一种感放射线性着色组合物,其含有:聚合体;光聚合引发剂,一分子中具有2个以上的下述式(1)表示的部位;及着色剂,具有内酰胺结构、其异构体环结构或这些结构的组合。所述聚合体优选为具有环状醚基、(甲基)丙烯酰基等。式(1)中,Rx表示一价有机基。
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公开(公告)号:CN101546127B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN200910127063.2
申请日:2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度,并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜,适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括:含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1,2-醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6~15的芳基的倍半硅氧烷。
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公开(公告)号:CN101226329B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200810003519.X
申请日:2008-01-18
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有:(a1)、(a2)和(a3)的共聚物[A]、1,2-二叠氮醌化合物[B]、以及含有通过热与[A]成分进行交联反应的官能团的硅氧烷低聚物[C],所述(a1):不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,所述(a2):含有环氧基和/或氧杂环丁烷基的不饱和化合物,和所述(a3):(a1)成分和(a2)成分以外的不饱和化合物。一种放射线敏感性树脂组合物,其具有高放射线敏感度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量,可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号:CN101546127A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200910127063.2
申请日:2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度,并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜,适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括:含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1,2-醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6~15的芳基的倍半硅氧烷。
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公开(公告)号:CN101359174A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200810130172.5
申请日:2008-07-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/00 , C08F220/32 , C08F4/04 , C08F220/10 , C08F212/08
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]聚合物、和[B]1,2-二叠氮醌化合物,所述[A]聚合物具有如下基团:选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团,(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2~10的亚烷基或者烷基亚甲基,Y是单键、-CO-、-O-CO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合)或者-NHCO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合),n是2~10的整数,X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2~70的n价烃基,“+”表示连接键)。
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公开(公告)号:CN101256360A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810082145.5
申请日:2008-03-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有:下述共聚物、和1,2-二叠氮醌化合物,所述共聚物是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基或氧杂环丁烷基的至少一个的不饱和化合物、(甲基)丙烯酰基吗啉和其他不饱和化合物的共聚物。本发明提供放射线敏感性树脂组合物,其具有高放射线敏感度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量,可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号:CN104049464B
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201410087908.0
申请日:2014-03-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/312 , H01L51/50
Abstract: 本发明提供一种介电特性得到控制的栅极绝缘膜、所述栅极绝缘膜形成用的感放射线性组合物、硬化膜与半导体元件及半导体元件的制造方法、以及具有所述半导体元件的显示装置。作为半导体元件的TFT3具有半导体层6、栅极电极4及栅极绝缘膜5。栅极绝缘膜5包含硬化膜,所述硬化膜是使用含有以下成分的组合物而形成:[A]水解缩合物,[B]作为含有选自由铝、锆、钛、锌、铟、锡、锑、钡及铈所组成的组群中的至少一种金属的氧化物的金属氧化物粒子,以及[C]感放射线性酸产生剂或感放射线性碱产生剂。将TFT3作为开关元件而用于构成显示装置。
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公开(公告)号:CN105319851A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510320157.7
申请日:2015-06-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , G02F1/1343 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种能够简便地形成可以控制介电特性的绝缘膜的感放射线性树脂组合物,并提供一种使用所述感放射线性树脂组合物的绝缘膜及液晶显示元件。感放射线性树脂组合物包含:[A]聚合物、[B]感光剂、以及[C]包含钛氧化物、与选自由钡、锶、钙、镁、锆及铅所组成的组群的至少一种金属元素的化合物,[C]化合物的c/a轴比为1.0025~1.010。使用主动元件(8)与形成有机绝缘膜(12)的基板(4),在有机绝缘膜(12)上形成共通电极(14)后,使用感放射线性树脂组合物形成绝缘膜(33),在绝缘膜(33)上配置像素电极(9)而制造阵列基板(1)。使用阵列基板(1)构成液晶显示元件。
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公开(公告)号:CN102549496B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201080046633.6
申请日:2010-10-14
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂的放射线敏感性树脂组合物。上述放射线敏感性树脂组合物可充分满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能,且可以以高分辨率提供层间绝缘膜,同时保存稳定性也优异,其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化,该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。
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公开(公告)号:CN101794075A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010104153.2
申请日:2010-01-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075 , G03F7/027 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种感射线性树脂组合物和液晶显示元件的分隔物及其形成方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法,该感射线性树脂组合物也能够在不使涂膜上产生由微小凹凸构成的斑痕的情况下形成液晶显示元件的分隔物,该分隔物能够保持作为液晶显示元件的分隔物所需的各种性能(例如高回复率和柔软性兼备的压缩性能以及耐打磨性),同时具有特高的膜厚均一性的液晶显示元件。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感射线性聚合引发剂和(D)具有硅氧烷链的特定聚合物。液晶显示元件的分隔物由上述感射线性树脂组合物形成。
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