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公开(公告)号:CN101359174B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN200810130172.5
申请日:2008-07-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/00 , C08F220/32 , C08F4/04 , C08F220/10 , C08F212/08
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]聚合物、和[B]1,2-二叠氮醌化合物,所述[A]聚合物具有如下基团:选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团,(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2~10的亚烷基或者烷基亚甲基,Y是单键、-CO-、-O-CO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合)或者-NHCO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合),n是2~10的整数,X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2~70的n价烃基,“+”表示连接键)。
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公开(公告)号:CN101226329B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200810003519.X
申请日:2008-01-18
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有:(a1)、(a2)和(a3)的共聚物[A]、1,2-二叠氮醌化合物[B]、以及含有通过热与[A]成分进行交联反应的官能团的硅氧烷低聚物[C],所述(a1):不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,所述(a2):含有环氧基和/或氧杂环丁烷基的不饱和化合物,和所述(a3):(a1)成分和(a2)成分以外的不饱和化合物。一种放射线敏感性树脂组合物,其具有高放射线敏感度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量,可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号:CN101546119A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200910127064.7
申请日:2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、分隔物及其制备方法以及液晶显示元件。提供在分隔物形成时产生的挥发性成分的量非常少、并且对于基于缝模涂敷法的高速涂敷也能够应付的感射线性树脂组合物。上述感射线性树脂组合物包括:[A]具有由羧基和羧酸酐基构成的群组中选出的至少一种基团以及来源于以季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)为代表的特定多元硫醇化合物的基团,并且由凝胶渗透色谱测得的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)与聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.0~2.8的聚合物;[B]聚合性不饱和化合物;以及[C]感射线性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN101359174A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200810130172.5
申请日:2008-07-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/00 , C08F220/32 , C08F4/04 , C08F220/10 , C08F212/08
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]聚合物、和[B]1,2-二叠氮醌化合物,所述[A]聚合物具有如下基团:选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团,(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2~10的亚烷基或者烷基亚甲基,Y是单键、-CO-、-O-CO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合)或者-NHCO-*(其中,带有“*”的连接键与RI键合),n是2~10的整数,X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2~70的n价烃基,“+”表示连接键)。
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公开(公告)号:CN101546119B
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN200910127064.7
申请日:2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、分隔物及其制备方法以及液晶显示元件。提供在分隔物形成时产生的挥发性成分的量非常少、并且对于基于缝模涂敷法的高速涂敷也能够应付的感射线性树脂组合物。上述感射线性树脂组合物包括:[A]具有由羧基和羧酸酐基构成的群组中选出的至少一种基团以及来源于以季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)为代表的特定多元硫醇化合物的基团,并且由凝胶渗透色谱测得的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)与聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.0~2.8的聚合物;[B]聚合性不饱和化合物;以及[C]感射线性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN101308327B
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN200810099074.X
申请日:2008-05-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,含有:[A]含有(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种以及(a2)具有选自环氧乙烷基和氧杂环丁烷基中的至少一种基团的不饱和化合物而成的不饱和化合物的共聚物;[B]1,2-重氮醌化合物;和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物。上述放射线敏感性树脂组合物具有高的放射性灵敏度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能够形成良好图案形状的显影余地,可以容易地形成密合性优异的层间绝缘膜或微透镜。
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公开(公告)号:CN101308327A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200810099074.X
申请日:2008-05-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,含有:[A]含有(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种以及(a2)具有选自环氧乙烷基和氧杂环丁烷基中的至少一种基团的不饱和化合物而成的不饱和化合物的共聚物;[B]1,2-重氮醌化合物;和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物。上述放射线敏感性树脂组合物具有高的放射性灵敏度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能够形成良好图案形状的显影余地,可以容易地形成密合性优异的层间绝缘膜或微透镜。
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公开(公告)号:CN101226329A
公开(公告)日:2008-07-23
申请号:CN200810003519.X
申请日:2008-01-18
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有:(a1)、(a2)和(a3)的共聚物[A]、1,2-二叠氮醌化合物[B]、以及含有通过热与[A]成分进行交联反应的官能团的硅氧烷低聚物[C],所述(a1):不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,所述(a2):含有环氧基和/或氧杂环丁烷基的不饱和化合物,和所述(a3):(a1)成分和(a2)成分以外的不饱和化合物。一种放射线敏感性树脂组合物,其具有高放射线敏感度,具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量,可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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