感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN101788767B

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201010104136.9

    申请日:2010-01-27

    Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法,该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性,并且具有高的射线敏感度,在显影工序中,具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度;该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1,2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。

    正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法

    公开(公告)号:CN102053497A

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN201010531407.9

    申请日:2010-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。该正型放射线敏感性树脂组合物的放射线灵敏度、显影裕度高,而且可以形成耐热性、耐溶剂性、低介电性、光线透过率、耐光性、耐干蚀性优异的层间绝缘膜。该正型放射线敏感性树脂组合物包含[A]具有受阻胺结构和/或受阻酚结构的碱可溶性树脂,以及[B]1,2-醌二叠氮化合物。[A]成分优选为由(a1)包含选自不饱和羧酸或不饱和羧酸酐中的一种以上的单体,以及(a2)包含选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物或下述式(3)所示的化合物中的一种以上的单体得到的共聚物。[A]成分可以是由除了上述(a1)和(a2)的化合物以外,还包含(a3)含环氧基的不饱和化合物的单体得到的共聚物。

    正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法

    公开(公告)号:CN102043339A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010522556.9

    申请日:2010-10-20

    Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法。目的在于提供一种正型放射线敏感性树脂组合物,其即使用狭缝涂布法作为涂布方法时,也能显示优良的涂布性乃至膜厚均匀性,且能缩短涂布膜的干燥时间,放射线敏感度等也优良。本发明的正型放射线敏感性树脂组合物含有[A]硅氧烷聚合物、[B]醌二叠氮基化合物和[C]式(1)表示的溶剂,式(1)中,R1和R2分别独立地表示碳原子数为1~6的直链状或支链状的烷基,R1和R2的任何之一为碳原子数为1~4时,另一个碳原子数为5或6。R1-O-R2 (1)。

    放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN102087473A

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN201010576964.2

    申请日:2010-12-02

    Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法,该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状,同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。

    射线敏感性树脂组合物、微型透镜及其制造方法以及液晶显示元件

    公开(公告)号:CN1757670A

    公开(公告)日:2006-04-12

    申请号:CN200510105711.6

    申请日:2005-09-27

    Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物,能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜,且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包括(A)使10~50重量%的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20~60重量%的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5~40重量%的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中,(a)+(b)+(c)=100重量%)聚合所得的碱可溶性共聚物;(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物;以及(C)光聚合引发剂。

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