公开(公告)号：CN101165592A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710181198.8

申请日：2007-10-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 吉田伸 ,  石川真义 ,  林明弘 ,  饭田雅史

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种干膜、微透镜以及它们的制造方法。该干膜包含(I)具有三维十点平均粗糙度SRz为2.2μm以下、三维最大高度SRmax为4.0μm的表面且厚度是10～50μm的基膜、(II)在上述基膜(I)的表面上叠层的厚度2～200μm的放射线敏感性树脂组合物层以及(III)覆盖上述放射线敏感性树脂组合物层(II)的盖膜。

公开(公告)号：CN1757670B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200510105711.6

申请日：2005-09-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 石川真义 ,  花村政晓 ,  白木真司 ,  梶田彻

IPC: C08L33/10 ,  G02F1/13

Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物，能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜，且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包含(A)使10～50重量％的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20～60重量％的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5～40重量％的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中，(a)+(b)+(c)＝100重量％)聚合所得的碱可溶性共聚物；(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物；以及(C)光聚合引发剂。

公开(公告)号：CN1757670A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN200510105711.6

申请日：2005-09-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 石川真义 ,  花村政晓 ,  白木真司 ,  梶田彻

IPC: C08L33/10 ,  G02F1/13

Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物，能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜，且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包括(A)使10～50重量％的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20～60重量％的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5～40重量％的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中，(a)+(b)+(c)＝100重量％)聚合所得的碱可溶性共聚物；(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物；以及(C)光聚合引发剂。