公开(公告)号：CN102087473B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201010576964.2

申请日：2010-12-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  荒井雅史 ,  松冈比登美 ,  花村政晓

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。

公开(公告)号：CN102087473A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN201010576964.2

申请日：2010-12-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  荒井雅史 ,  松冈比登美 ,  花村政晓

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。

公开(公告)号：CN110286561A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201910193446.3

申请日：2019-03-14

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 工藤和生 ,  吉泽满代 ,  大沼友希 ,  成子朗人

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性良好的感放射线性组合物、硬化膜及显示元件。所述感放射线性组合物，其包含：碱可溶性树脂、感放射线性化合物、丙二醇单甲醚乙酸酯及烯丙基甲基醚。

公开(公告)号：CN101546127B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200910127063.2

申请日：2009-03-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  花村政晓 ,  滨田谦一 ,  饭岛孝浩

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/00 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2-醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。

公开(公告)号：CN101546127A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910127063.2

申请日：2009-03-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大沼友希 ,  花村政晓 ,  滨田谦一 ,  饭岛孝浩

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/00 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2－醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。