公开(公告)号：CN102549496B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201080046633.6

申请日：2010-10-14

Applicant: 夏普株式会社 ,  JSR株式会社

Inventor： 菊池克浩 ,  臼井健太朗 ,  柴崎正和 ,  越智贵志 ,  加藤龙郎 ,  滨田谦一 ,  荒井雅史 ,  M.村田 ,  高濑英明

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明涉及含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂的放射线敏感性树脂组合物。上述放射线敏感性树脂组合物可充分满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。

公开(公告)号：CN102549496A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080046633.6

申请日：2010-10-14

Applicant: 夏普株式会社 ,  JSR株式会社

Inventor： 菊池克浩 ,  臼井健太朗 ,  柴崎正和 ,  越智贵志 ,  加藤龙郎 ,  滨田谦一 ,  荒井雅史 ,  M.村田 ,  高濑英明

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明涉及含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂的放射线敏感性树脂组合物。上述放射线敏感性树脂组合物可充分满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。