放射线敏感性组合物、保护膜、层间绝缘膜以及它们的形成方法

    公开(公告)号:CN101907828A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010198420.7

    申请日:2010-06-07

    Abstract: 本发明涉及放射线敏感性组合物、保护膜、层间绝缘膜以及它们的形成方法。所述放射线敏感性组合物可以形成透明性、耐热性等优异,同时对ITO基板密合性以及耐裂性高的保护膜和层间绝缘膜,而且具有足够分辨率。本发明的放射线敏感性组合物包括:[A]硅氧烷聚合物,[B]选自由式(1)和(3)分别表示的化合物构成的群组中的至少一种硅烷化合物,以及[C]放射线敏感性酸产生剂或放射线敏感性碱产生剂。[A]硅氧烷聚合物优选为式(4)的水解性硅烷化合物的水解缩合物。还可以进一步含有[D]脱水剂。作为[C]放射线敏感性酸产生剂优选使用选自由三苯基锍盐和四氢噻吩鎓盐构成的群组中的至少一种。(R1O)3Si-R2-Si(OR3)3 (1)(R7)q-Si-(OR8)4-q (4)

    放射线敏感性组合物、保护膜、层间绝缘膜以及它们的形成方法

    公开(公告)号:CN101907828B

    公开(公告)日:2013-10-16

    申请号:CN201010198420.7

    申请日:2010-06-07

    Abstract: 本发明涉及放射线敏感性组合物、保护膜、层间绝缘膜以及它们的形成方法。所述放射线敏感性组合物可以形成透明性、耐热性等优异,同时对ITO基板密合性以及耐裂性高的保护膜和层间绝缘膜,而且具有足够分辨率。本发明的放射线敏感性组合物包括:[A]硅氧烷聚合物,[B]选自由式(1)和(3)分别表示的化合物构成的群组中的至少一种硅烷化合物,以及[C]放射线敏感性酸产生剂或放射线敏感性碱产生剂。[A]硅氧烷聚合物优选为式(4)的水解性硅烷化合物的水解缩合物。还可以进一步含有[D]脱水剂。作为[C]放射线敏感性酸产生剂优选使用选自由三苯基锍盐和四氢噻吩鎓盐构成的群组中的至少一种。(R1O)3Si-R2-Si(OR3)3 (1)(R7)q-Si-(OR8)4-q (4)。

    用于形成光波导的感光性树脂组合物及光波导

    公开(公告)号:CN1300199C

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN03808889.4

    申请日:2003-09-30

    CPC classification number: C08F222/1006 G02B6/1221 G02B6/138 G02B2006/12069

    Abstract: 本发明提供含有(A)、(B)、(C)作为组成成分的用于形成光波导的感光性树脂组合物,其具有优异的图案形成性、折射率、耐热性、传输特性等。其中(A)为二(甲基)丙烯酸酯,其结构中具有如下述通式(1)所示结构,通式(1)中,R1为-(OCH2CH2)m-、-(OCH(CH3)CH2)m-或-OCH2CH(OH)CH2-;X为-C(CH3)2-、-CH2-、-O-或-SO2-;Y为氢原子或卤原子;m为0~4的整数;(B)为单(甲基)丙烯酸酯,其结构中具有如下述通式(2)所示结构,通式(2)中,R2为-(OCH2CH2)p-、-(OCH(CH3)CH2)p-或-OCH2CH(OH)CH2-;Y为氢原子、卤原子、Ph-C(CH3)2-、Ph-或具有1~20个碳原子数的烷基;p为0~4的整数;Ph为苯基;(C)为光自由基聚合引发剂。

    感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法

    公开(公告)号:CN101727002B

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN200910207034.7

    申请日:2009-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物,其对射线具有高敏感度,具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。

    感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法

    公开(公告)号:CN101727002A

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200910207034.7

    申请日:2009-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物,其对射线具有高敏感度,具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。

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