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公开(公告)号：CN1507580A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02809717.3
申请日：2002-07-19
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G02B6/13 , G02B6/122 , G02B6/1221 , G02B6/1347 , G02B6/138 , G02B2006/12097 , G02B2006/121 , G03F7/0045 , G03F7/0755 , G03F7/0757
Abstract: 本发明的正型辐射敏感性组合物含有下述(A)～(C)成分：(A)由以下述通式(1)(R1)pSi(X)4－p表示的水解性硅烷化合物、其水解物及其缩合物组成的组中选出的至少一种化合物，式中，R1是碳数1～12的非水解性的有机基团，X是水解性基团，及p是0～3的整数；(B)光酸发生剂；(C)碱性化合物。通过采用本发明的组合物，可得图形精度等优越的固化物。本发明的组合物可用作形成光波导路的材料。
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公开(公告)号：CN101031597B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200580033001.5
申请日：2005-09-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08F220/10 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/11 , C08F220/18 , C08F220/26 , C08F220/38 , C08F228/00 , G03F7/2041
Abstract: 本发明形成一种上层膜，其不与光致抗蚀剂膜引起互混，可在抗蚀剂上形成覆膜，不溶出于浸液曝光时的介质而能维持稳定覆膜，进而，在施实非浸液曝光的干式曝光时不造成图案形状劣化，且容易溶解于碱显影液。其特征为含有至少一种选自具有下述式(1)表示的基团的重复单元、具有下述式(2)表示的基团的重复单元、及具有羧基的重复单元中的重复单元(I)、与具有磺基的重复单元(II)，通过凝胶渗透色谱法测定的重均分子量为2,000-100,000。式中，R1及R2的至少一方为碳数1-4的氟化烷基；式(2)中，R3为碳数1-20的氟化烷基。
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公开(公告)号：CN1238766C
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN02809717.3
申请日：2002-07-19
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G02B6/13 , G02B6/122 , G02B6/1221 , G02B6/1347 , G02B6/138 , G02B2006/12097 , G02B2006/121 , G03F7/0045 , G03F7/0755 , G03F7/0757
Abstract: 本发明的正型辐射敏感性组合物含有下述(A)～(C)成分：(A)由以下述通式(1)(R1)pSi(X)4-p表示的水解性硅烷化合物、其水解物及其缩合物组成的组中选出的至少一种化合物，式中，R1是碳数1～12的非水解性的有机基团，X是水解性基团，及p是0～3的整数；(B)光酸发生剂；(C)碱性化合物。通过采用本发明的组合物，可得图形精度等优越的固化物。本发明的组合物可用作形成光波导路的材料。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN1692142A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100479.6
申请日：2003-10-20
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C09D183/08 , C08L83/08 , G02B6/138 , G02B2006/121 , G03F7/001 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0757 , C08L2666/24 , C08L2666/34 , C08L2666/28
Abstract: 本发明涉及辐射线固化型组合物，其含有(A)水解性硅烷化合物的水解物或其缩合物、以及(B)光致产酸剂，且该组合物中硅烷醇(Si－OH)基的含量相对于全部硅上连接的基团为0.1～0.5；所述水解性硅烷化合物用通式(1)：(R1)p(R2)qSi(X)4－p－q表示，式中，R1是含有氟原子的碳原子数为1～12的非水解性有机基团，R2是碳原子数为1～12的非水解性有机基团(不包括含有氟原子的基团)，X是水解性基团，p是1或2的整数，q是0或1的整数。对于具有在可见光区域至近红外区域的广泛范围波长的光线，该组合物的波导损耗少，且耐裂性和照射辐射线而引起的图案化性等优良。
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公开(公告)号：CN103427082B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201310165933.1
申请日：2013-05-08
Abstract: 本发明涉及电极活性物质、电极、蓄电设备、锂离子电容器以及锂离子二次电池。本发明提供一种实现锂离子电容器、锂离子二次电池等蓄电设备的优异的低温特性的电极活性物质。一种由细孔直径为50～400nm的大孔容积为0.05～0.40cc/g的碳材料构成的电极活性物质。优选上述碳材料是含有形成核的碳材料和包覆用碳材料而成的复合碳材料，所述包覆用碳材料包覆上述形成核的碳材料的至少一部分。
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公开(公告)号：CN103427082A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310165933.1
申请日：2013-05-08
Abstract: 本发明涉及电极活性物质、电极、蓄电设备、锂离子电容器以及锂离子二次电池。本发明提供一种实现锂离子电容器、锂离子二次电池等蓄电设备的优异的低温特性的电极活性物质。一种由细孔直径为50～400nm的大孔容积为0.05～0.40cc/g的碳材料构成的电极活性物质。优选上述碳材料是含有形成核的碳材料和包覆用碳材料而成的复合碳材料，所述包覆用碳材料包覆上述形成核的碳材料的至少一部分。
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公开(公告)号：CN100334155C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200380100479.6
申请日：2003-10-20
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C09D183/08 , C08L83/08 , G02B6/138 , G02B2006/121 , G03F7/001 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0757 , C08L2666/24 , C08L2666/34 , C08L2666/28
Abstract: 本发明涉及辐射线固化型组合物，其含有(A)水解性硅烷化合物的水解物或其缩合物、以及(B)光致产酸剂，且该组合物中硅烷醇(Si-OH)基的含量相对于全部硅上连接的基团为0.1～0.5；所述水解性硅烷化合物用通式(1)：(R1)p(R2)qSi(X)4-p-q表示，式中，R1是含有氟原子的碳原子数为1～12的非水解性有机基团，R2是碳原子数为1～12的非水解性有机基团(不包括含有氟原子的基团)，X是水解性基团，p是1或2的整数，q是0或1的整数。对于具有在可见光区域至近红外区域的广泛范围波长的光线，该组合物的波导损耗少，且耐裂性和照射辐射线而引起的图案化性等优良。
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