公开(公告)号：CN105377747B

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201480037367.9

申请日：2014-07-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 稗田克彦 ,  猪俣克巳 ,  宫崎智和 ,  土井贵史 ,  洼寛仁

IPC: B81C3/00 ,  B01J19/00 ,  B29D24/00 ,  B81B1/00 ,  G01N37/00 ,  G03F7/038

CPC classification number: B01L3/5027 ,  B01J19/00 ,  B01J19/0093 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00828 ,  B01J2219/00833 ,  B01J2219/00853 ,  B01J2219/00873 ,  B01L3/502707 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/04 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/12 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/16 ,  B29D24/00 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00119 ,  G03F7/038 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种具有基质不会附着且小的流路的微流体装置及其制造方法、流路形成用感光性树脂组合物。本发明的微流体装置在构件的内部具有流路，并且所述微流体装置中，所述流路具有由感光性树脂组合物所形成的经图案化的树脂组合物层，其中所述感光性树脂组合物含有具有氧杂环丙基的化合物、具有氧杂环丁基的化合物及光酸产生剂。

公开(公告)号：CN119032324A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202380033609.6

申请日：2023-04-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 奥田隆一 ,  土井贵史 ,  多田罗了嗣 ,  伊东宏和

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的一方式涉及一种感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种、且包含具有源自下述式(1)所表示的酸酐的结构单元的结构单元(a)及源自二胺的结构单元(b)；(B)萘醌二叠氮化合物；(C1)具有羟甲基或烷氧基甲基的交联性化合物；及(D)溶媒。〔式(1)中，L表示单键等，R1～R3表示氢原子等、或表示同一环内的R1与R2(或R3)相互键结而形成的亚烷基，n1～n2表示0～3的整数，Y1表示式(Y1)(‑Ar1‑)等所表示的结构。〕#imgabs0#

公开(公告)号：CN105377747A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480037367.9

申请日：2014-07-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 稗田克彦 ,  猪俣克巳 ,  宫崎智和 ,  土井贵史 ,  洼寛仁

IPC: B81C3/00 ,  B01J19/00 ,  B29D24/00 ,  B81B1/00 ,  G01N37/00 ,  G03F7/038

CPC classification number: B01L3/5027 ,  B01J19/00 ,  B01J19/0093 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00828 ,  B01J2219/00833 ,  B01J2219/00853 ,  B01J2219/00873 ,  B01L3/502707 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/04 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/12 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/16 ,  B29D24/00 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00119 ,  G03F7/038 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有基质不会附着且小的流路的微流体装置。本发明的微流体装置在构件的内部具有流路，并且所述微流体装置的特征在于：所述流路具有由感光性树脂组合物所形成的经图案化的树脂组合物层，其中所述感光性树脂组合物含有具有氧杂环丙基的化合物、具有氧杂环丁基的化合物及光酸产生剂。

公开(公告)号：CN101727002B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN200910207034.7

申请日：2009-10-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木下芳德 ,  花村政晓 ,  土井贵史 ,  高濑英明

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/00 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物，其对射线具有高敏感度，具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。

公开(公告)号：CN101727002A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910207034.7

申请日：2009-10-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木下芳德 ,  花村政晓 ,  土井贵史 ,  高濑英明

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/00 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物，其对射线具有高敏感度，具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。