公开(公告)号：CN102245944B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN200980149584.6

申请日：2009-12-02

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  山田清隆

IPC: F16J15/32 ,  F16J15/16

CPC classification number: F16J15/324

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。为达到上述目的，密封机构(100)的突出状密封部(12)配置在驱动轴(25)的外周，其突出状部(12b)具有与驱动轴(25)接触的密封部(12c)。分隔壁部件(15)安装在驱动轴(25)上，封闭安装部件(30)的下部的开口，且与突出状密封件(12)相面对。至少由安装部件(30)与分隔壁部件(15)形成用于收装润滑剂(16)的容器。在分隔壁部件(15)与保持基座体(60)之间设有间隙(17)，且该间隙(17)不会使润滑剂(16)通过。通过这样的结构，能够确保收装润滑剂(16)的空间，同时，密封机构(100)与驱动轴(25)接触的部分仅为突出状密封件(12)的密封部(12c)。

公开(公告)号：CN101801646B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN200880108048.7

申请日：2008-11-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B32B37/10 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045

Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，包括：载置所述下基板的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，将保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述基底部上的所述下基板粘合。

公开(公告)号：CN101801645B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200880107159.6

申请日：2008-11-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: G02F1/13

CPC classification number: B65G49/064 ,  B32B37/1018 ,  B32B38/1833 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2457/202 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67092

Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，该粘合基板制造装置包括：支撑所述下基板的基底部；从所述基底部竖立设置的第一支撑棒；能够沿所述第一支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件；和包含能够独立于所述上加压部件上下移动的上部室部件和下部室部件的粘合处理室，通过移动所述上加压部件，能够在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板，所述上部室部件和所述下部室部件能够同时沿相互抵接的方向或相互分离的方向移动。

公开(公告)号：CN102472369A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080032830.2

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社SOWAMD中心 ,  株式会社爱发科

Inventor： 藤村和广 ,  南展史

IPC: F16H1/46 ,  B25J9/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/102 ,  F16H1/06 ,  F16H1/28 ,  F16H1/46 ,  F16H37/041 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种可以以小段数获得高减速比的旋转传递机构、使用所述旋转传递机构的输送装置、驱动装置。旋转传递机构(10)具有内侧旋转体(1)、与内侧旋转体(1)同轴配置的外侧旋转体(2)。另外，旋转传递机构(10)具有配置于输入端(下段)(10A)的驱动旋转体(5)及旋转体(6)、配置于输出端(上段)(10B)的2个行星旋转体(3)、(4)。旋转传递机构(10)的中央形成有中空部(9)。在输入端(10A)上通过电动机(16)旋转驱动旋转体(5)时，在输出端(10B)上的2个行星旋转体(3)、(4)在自转的同时又绕内侧旋转体(1)的周围公转。此时，行星旋转体(3)、(4)极其缓慢地绕内侧旋转体(1)的周围公转。因此，可以以小段数获得高减速比。其中，中空部(9)被用作例如通过线缆的孔。

公开(公告)号：CN102460674A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080025769.9

申请日：2010-06-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 相泽真也 ,  中尾裕利 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  南展史 ,  中村伸悟

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。

公开(公告)号：CN102186639A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200980141034.X

申请日：2009-10-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史

IPC: B25J15/00 ,  B25J9/06 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种不仅在低温下、在高温环境下也可靠地保持输送物而实现高速输送、并且使输送物的输送时的灰尘减少的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由驱动连杆部连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）中，设有用来与基板（10）的侧部抵接而卡止的卡止部（5a、5b），并且在连杆机构（20）的驱动连杆部中设有由凸轮机构实现的施力单元（9）。施力单元（9）具备设在连杆机构（20）的驱动连杆部上的凸轮驱动面（31L、31R）、和具有抵接在凸轮驱动面（31L、31R）上而能够从动的从动辊、具有对应于该从动辊的移动而被朝向载置部（5）的卡止部（5a、5b）导引移动的凸状的施力部（6a）的从动机构部（6）。

公开(公告)号：CN101855060A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200880115485.1

申请日：2008-11-06

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/064 ,  B32B37/10 ,  B32B38/1858 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092

Abstract: 本发明提供一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿所述支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。

公开(公告)号：CN101808810A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200880109657.4

申请日：2008-11-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B32B37/10 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：载置所述下基板的载置台；使该载置台移动的移动机构；设置有该移动机构的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动且能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述载置台上的所述下基板被粘合。

公开(公告)号：CN101801645A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880107159.6

申请日：2008-11-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/064 ,  B32B37/1018 ,  B32B38/1833 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2457/202 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67092

Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，该粘合基板制造装置包括：支撑所述下基板的基底部；从所述基底部竖立设置的第一支撑棒；能够沿所述第一支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件；和包含能够独立于所述上加压部件上下移动的上部室部件和下部室部件的粘合处理室，通过移动所述上加压部件，能够在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板，所述上部室部件和所述下部室部件能够同时沿相互抵接的方向或相互分离的方向移动。

公开(公告)号：CN101730613A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200880016319.6

申请日：2008-05-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  藤村和广

IPC: B25J9/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/0048 ,  B25J9/0072 ,  B25J9/042 ,  B25J9/046 ,  B25J17/0266

Abstract: 本发明提供一种不产生因润滑脂或灰尘等而导致的真空装置等的污染的问题的搬送装置，并提供一种装置的设置面积小且能够以现存的技术容易地进行耐腐蚀处理的搬送装置。本发明的搬送装置(1)具有：搬送部(21)，支撑并搬送搬送物(20)；连杆(16)，用于将来自装置本体部(2)的动力传达至搬送部(21)，使该搬送部(21)向水平面方向移动；引导机构(30)，配设在装置本体部(2)与搬送部(21)之间，用于引导搬送部(21)的移动方向。引导机构(30)具有轴支联接的第1和第2引导臂(31、32)，该引导机构(30)的一端部侧的第1引导臂(31)安装在装置本体部(2)，并且，另一端部侧的第2引导臂(32)安装在搬送部(21)。第1和第2引导臂(31、32)构成为分别沿铅直面方向进行旋转。