公开(公告)号：CN102460674A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080025769.9

申请日：2010-06-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 相泽真也 ,  中尾裕利 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  南展史 ,  中村伸悟

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。