公开(公告)号：CN103053017A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180040824.6

申请日：2011-08-02

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 吉野孝广 ,  吾乡健二 ,  中尾裕利

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J9/043 ,  B25J9/1065 ,  H01L21/67742

Abstract: 提供一种具有两条臂部、能够将两片基板同时输送到相同的高度的输送装置，所述两条臂部具备单纯的形状的手。具有两条臂部（20L1、20R1）；各臂部分别具有以主主动旋转轴线（O）为中心旋转的主主动臂（21L1、21R1）、以通过主主动臂的前端的副主动旋转轴线（SL、SR）为中心旋转的副主动臂（23L1、23R1）、和以通过副主动臂的前端的手主动旋转轴线（PL、PR）为中心旋转的手（26L1、26R1）。各载置部（27L1、27R1）配置在相互相同的高度上；各主主动旋转轴线（O）相同；各载置部分别从设置有载置部的臂部的中心轴线离开而配置；将各臂部的副主动旋转轴线（SL、SR）与手主动旋转轴线（PL、PR）之间连结的线段的长度比将主主动旋转轴线（O）与副主动旋转轴线（SL、SR）之间连结的线段的长度短。

公开(公告)号：CN101584034B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200880001603.6

申请日：2008-02-25

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 吾乡健二

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67754 ,  H01L21/67742 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139

Abstract: 将多张基板承载于一台手上而输送到准确的位置。将基板(16a、16b)从输送室内搬入到处理室内时，使手(25)的第1载置部(15a)位于设于处理室的第1处理位置(8a)的正上方，将配置于第1载置部(15a)的基板(16a)抬起后，使手(25)微小移动，使第2载置部(15b)位于第2处理位置(8b)的正上方。接着，将第2载置部(15b)上的基板(16b)抬起。若从基板(16a、16b)与第1、第2处理位置(8a、8b)之间抽出手(25)，使基板(16a、16b)下降，则基板(16a、16b)准确地配置于第1、第2处理位置(8a、8b)上。若用与上述相反的顺序将基板(16a、16b)承载于手(25)上，则能够将处理室内的基板(16a、16b)准确地承载于第1、第2载置部(15a、15b)上而将其搬出。

公开(公告)号：CN101681863A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880006285.2

申请日：2008-02-27

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 川口崇文 ,  吾乡健二 ,  小池土志夫

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供了一种简化的且成本降低的基板传送装置，其中减少了用于检测基板位置的传感器的数量。所述基板传送装置在中心室和周边室之间传送基板(S)。所述中心室内设有传送自动机构。所述传送自动机构包括放置所述基板的手形部件(17)，并且所述手形部件能前进/后退及转动。所述传感器设在当所述手形部件在所述中心室和所述周边室之间前进/后退时所述基板端面经过，且当所述手形部件在所述中心室中转动时所述基板端面经过的位置。

公开(公告)号：CN102460674A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080025769.9

申请日：2010-06-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 相泽真也 ,  中尾裕利 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  南展史 ,  中村伸悟

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。

公开(公告)号：CN101681863B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200880006285.2

申请日：2008-02-27

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 川口崇文 ,  吾乡健二 ,  小池土志夫

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供了一种简化的且成本降低的基板传送装置，其中减少了用于检测基板位置的传感器的数量。所述基板传送装置在中心室和周边室之间传送基板(S)。所述中心室内设有传送自动机构。所述传送自动机构包括放置所述基板的手形部件(17)，并且所述手形部件能前进/后退及转动。所述传感器设在当所述手形部件在所述中心室和所述周边室之间前进/后退时所述基板端面经过，且当所述手形部件在所述中心室中转动时所述基板端面经过的位置。

公开(公告)号：CN101584034A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200880001603.6

申请日：2008-02-25

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 吾乡健二

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67754 ,  H01L21/67742 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139

Abstract: 将多张基板承载于一台手上而输送到准确的位置。将基板(16a、16b)从输送室内搬入到处理室内时，使手(25)的第1载置部(15a)位于设于处理室的第1处理位置(8a)的正上方，将配置于第1载置部(15a)的基板(16a)抬起后，使手(25)微小移动，使第2载置部(15b)位于第2处理位置(8b)的正上方。接着，将第2载置部(15b)上的基板(16b)抬起。若从基板(16a、16b)与第1、第2处理位置(8a、8b)之间抽出手(25)，使基板(16a、16b)下降，则基板(16a、16b)准确地配置于第1、第2处理位置(8a、8b)上。若用与上述相反的顺序将基板(16a、16b)承载于手(25)上，则能够将处理室内的基板(16a、16b)准确地承载于第1、第2载置部(15a、15b)上而将其搬出。

公开(公告)号：CN100463783C

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200510062636.X

申请日：2005-04-01

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  吾乡健二 ,  川口崇文 ,  小池土志夫 ,  汤山纯平

IPC: B25J9/10 ,  B25J9/06 ,  B25J13/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/107 ,  Y10T74/20305

Abstract: 提供一种在支持尺寸大的基板等移送对象物而进行旋转动作的场合旋转半径不加大，在把移送装置纳入半导体制造装置等的真空处理装置的场合装置总体的设置面积不加大的移送装置。本发明的移送装置(1)包括第1和第2连杆(12a、12b)。第1连杆(12a)包括能够以同轴状地设置的第1～第3驱动轴(1a～1c)为中心旋转的第1和第3臂(2、4)，移送第1托架(10a)。第2连杆(12b)包括能够以第1第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴为中心旋转的第2和第3臂(3、4)，移送第2托架(10b)。第1和第2连杆(12a、12b)构成为第1和第2托架(10a、10b)互不干涉地分别越过第1～第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴而移动。

公开(公告)号：CN1715007A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510081127.1

申请日：2005-06-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  吾乡健二 ,  川口崇文 ,  小池土志夫 ,  汤山纯平

IPC: B25J9/06 ,  B25J18/00 ,  B25J13/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: B25J9/1065 ,  H01L21/67742 ,  Y10T74/20305 ,  Y10T74/20329

Abstract: 提供一种移送装置，通过将旋转用马达的旋转驱动力正确地传递到移送用臂上，并且正确地检测旋转驱动轴的旋转角度，可将移送部上的移送对象物移送到正确的位置。本发明的移送装置(1)在具有气密构造的壳体(61)内配设有能够以规定的同心旋转轴为中心相互独立地转动的第1～第3驱动轴(1a～1c)，分别安装在第1～第3驱动轴(1a～1c)的规定部位上的永久磁铁(32a～32c)，以及与永久磁铁(32a～32c)相对应地设置的电磁线圈(34a～34c)。基于规定的信息向电磁线圈(34a～34c)供应驱动电流，驱动第1～第3驱动轴(1a～1c)，通过固定在第1～第3驱动轴(1a～1c)上的第1和第2连杆(12a、12b)对移送对象物进行移送。

公开(公告)号：CN1676285A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510062636.X

申请日：2005-04-01

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  吾乡健二 ,  川口崇文 ,  小池土志夫 ,  汤山纯平

IPC: B25J9/10 ,  B25J9/06 ,  B25J13/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/107 ,  Y10T74/20305

Abstract: 提供一种在支持尺寸大的基板等移送对象物而进行旋转动作的场合旋转半径不加大，在把移送装置纳入半导体制造装置等的真空处理装置的场合装置总体的设置面积不加大的移送装置。本发明的移送装置(1)包括第1和第2连杆(12a、12b)。第1连杆(12a)包括能够以同轴状地设置的第1～第3驱动轴(1a～1c)为中心旋转的第1和第3臂(2、4)，移送第1托架(10a)。第2连杆(12b)包括能够以第1～第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴为中心旋转的第2和第3臂(3、4)，移送第2托架(10b)。第1和第2连杆(12a、12b)构成为第1和第2托架(10a、10b)互不干涉地分别越过第1～第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴而移动。

公开(公告)号：CN103053017B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201180040824.6

申请日：2011-08-02

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 吉野孝广 ,  吾乡健二 ,  中尾裕利

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J9/043 ,  B25J9/1065 ,  H01L21/67742

Abstract: 提供一种具有两条臂部、能够将两片基板同时输送到相同的高度的输送装置，所述两条臂部具备单纯的形状的手。具有两条臂部（20L1、20R1）；各臂部分别具有以主主动旋转轴线（O）为中心旋转的主主动臂（21L1、21R1）、以通过主主动臂的前端的副主动旋转轴线（SL、SR）为中心旋转的副主动臂（23L1、23R1）、和以通过副主动臂的前端的手主动旋转轴线（PL、PR）为中心旋转的手（26L1、26R1）。各载置部（27L1、27R1）配置在相互相同的高度上；各主主动旋转轴线（O）相同；各载置部分别从设置有载置部的臂部的中心轴线离开而配置；将各臂部的副主动旋转轴线（SL、SR）与手主动旋转轴线（PL、PR）之间连结的线段的长度比将主主动旋转轴线（O）与副主动旋转轴线（SL、SR）之间连结的线段的长度短。