公开(公告)号：CN102460674A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080025769.9

申请日：2010-06-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 相泽真也 ,  中尾裕利 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  南展史 ,  中村伸悟

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。

公开(公告)号：CN101652228B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN200880011092.6

申请日：2008-03-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  小池土志夫

IPC: B25J9/06 ,  B25J9/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供小型且不污染装置环境的搬送装置。在第一范畴的本发明的搬送装置(1、2)中，第一、第二旋转轴(11、12)同心状地配置，所以装置的设置面积小，并且，止点脱出机构(50)为简单的结构且厚度薄。手部(20)的连结部能够减薄，所以能够减小插入手部(20)的闸阀的开口。其结果为，搬送室内的灰尘不易侵入处理室。第二范畴的本发明是分离双轴的搬送装置，有时设于转动轴的第一臂的长度与设于第一臂和基板支承体之间的第二臂的长度不同，但是在本发明中，在止点位置以外解除止点脱出机构的旋转力的传递，所以即使在长度不同的情况下，也不会无法动作。

公开(公告)号：CN101652228A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200880011092.6

申请日：2008-03-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  小池土志夫

IPC: B25J9/06 ,  B25J9/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供小型且不污染装置环境的搬送装置。在第一范畴的本发明的搬送装置(1、2)中，第一、第二旋转轴(11、12)同心状地配置，所以装置的设置面积小，并且，止点脱出机构(50)为简单的结构且厚度薄。手部(20)的连结部能够减薄，所以能够减小插入手部(20)的闸阀的开口。其结果为，搬送室内的灰尘不易侵入处理室。第二范畴的本发明是分离双轴的搬送装置，有时设于转动轴的第一臂的长度与设于第一臂和基板支承体之间的第二臂的长度不同，但是在本发明中，在止点位置以外解除止点脱出机构的旋转力的传递，所以即使在长度不同的情况下，也不会无法动作。