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公开(公告)号：CN102460719A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN200980159767.6
申请日：2009-06-18
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，形成包含多个分区单元(21、21s)、彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间被电连接的光电转换体(12)，确定所述光电转换体(12)之中具有结构缺陷(R、A1、A2、A3)的所述分区单元(21s)，根据在彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间测量多个位置的电阻值而获得的电阻值的分布，圈出在所述分区单元(21s)内存在所述结构缺陷的区域(Z)，通过图像拍摄部(24)在该被圈出的存在所述结构缺陷的所述区域(Z)内进行拍摄，根据得到的图像准确地确定所述结构缺陷的位置，从而限定在所述分区单元(21s)内存在所述结构缺陷的部位，对存在所述结构缺陷的部位照射激光光线，去除所述结构缺陷。
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公开(公告)号：CN102164749A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980138080.4
申请日：2009-09-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/175
CPC classification number: B41J2/17596 , B41J2/17556
Abstract: 对墨盒的背压进行控制。墨盒（11）连接于压力控制装置（12）。压力控制装置（12）具有第一、第二止回阀（13、14），当墨盒（11）的内部压力比外部气氛小第一预定压力以上时，第一止回阀（13）成为打开状态，从而外部气氛与墨盒（11）连接。相反，当墨盒（11）的内部压力比外部气氛高第二预定压力以上时，第二止回阀（14）成为打开状态，从而墨盒（11）与外部气氛连接。因此，墨盒（11）的内部压力以足以使弯液面稳定的精度控制。
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公开(公告)号：CN102159328A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201080002659.0
申请日：2010-03-04
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: B41J29/38 , B41J25/003
Abstract: 提供一种小型且低价的转动调节装置，其将直线灵活移动的喷墨用涂布头6设定为不必在直线移动机构之外单独设置转动机构，即可调节围绕与喷墨用涂布头作为移动方向的X轴方向正交的Z轴方向转动轴线的转动。配置有第1和第2两个移动体101、102，其可通过各自的驱动源111、112、在X轴方向上直线移动；变换机构12，其在第1和第2两个移动体101、102在X轴方向上同步移动时，使喷墨用涂布头6在X轴方向上直线移动，在两个移动体101、102在X轴方向上相对移动时，使该相对移动变换为喷墨用涂布头6围绕转动轴线转动的运动。
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公开(公告)号：CN101541472B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200880000662.1
申请日：2008-04-22
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 佐藤诚一
CPC classification number: B23Q1/601 , Y10T74/18576
Abstract: 一种能够高精度地将移动体移动的粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置。第一和第二移动体(28，33)设置成可沿着引导件(26)移动。连接件(56)以相对可移动的方式连接所述第一和第二移动体。第一驱动机构(38)将所述第一移动体粗移第一行程。第二驱动机构(49)设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且相对所述第一移动体将所述第二移动体微移第二行程。所述第二驱动机构设置在所述第一和第二移动体其中之一上，并包括具有接触器(52)的致动器(50)。所述接触器具有第一接触面(52a)。所述第一和第二移动体中的另一个包括与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面(53a)。所述第一接触面或第二接触面中的至少一个为球形。
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公开(公告)号：CN108884561B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201780021217.2
申请日：2017-11-01
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/56 , C23C14/34 , C23C14/50 , H01L21/677
Abstract: 提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105637115B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201580001967.4
申请日：2015-09-14
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 佐藤诚一
Abstract: 本发明的XY工作台具有：底座(11)；框状的工作台(12，12)；和支撑驱动部(13，14，15，16)，位于底座(11)与工作台(12)之间，并将工作台(12)沿XY方向驱动。支撑驱动部(13，14，15，16)具备多个支撑部，所述支撑部具备：直线状的第一导向部件，被配设在底座(11)上；第一板部件，被载置于第一导向部件并在工作台(12)的面内方向上能够沿第一引导方向移动，所述第一引导方向为第一导向部件所延伸的方向；第二导向部件，被载置于第一板部件上并沿第二引导方向延伸，所述第二引导方向为工作台(12)的与第一引导方向正交的面内方向；和第二连接部，被载置于第二导向部件并被固定设置成与工作台(12)一体，从而能够沿第二引导方向移动。在多个支撑部中，一对第一支撑部(13，14)以在作为第一导向方向的X方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部，一对第二支撑部(15，16)以在作为第一导向方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部。支撑驱动部(13，14，15，16)具备驱动装置(13f，15f)，该驱动装置(13f，15f)被设置于一对第一支撑部(13，14)中的至少一个支撑部以及一对第二支撑部(15，16)中的至少一个支撑部，驱动装置(13f，15f)与第一板部件和第二板部件连接，并能将第一板部件和第二板部件沿第二引导方向相对驱动。
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公开(公告)号：CN106133188A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580015142.8
申请日：2015-03-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , C23C14/562
Abstract: 本发明提供一种在使片状基材以规定速度移动的同时，隔着掩膜供给成膜材料并在基材的一面上以规定图案连续成膜时，可使片状基材的一部分和片状转印基板的一部分以高精度进行位置对准，并且，可降低装置成本和运营成本的成膜装置。具有：以从成膜设备(9)朝向片状基材(Sw)的方向为上，掩膜件移动装置(4)具有片状掩膜件(Sm)的一部分(Sm1)相对于朝一个方向移动的片状基材的一部分(Sw1)在上下方向上距离规定间隔平行移动的平行移动区域形成部(42a、42b)；以及使片状掩膜件与片状基材同步移动的驱动部(42d、DM2)，将平行移动区域形成部和驱动部设置在单一的支架(41)上。
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公开(公告)号：CN102057477B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN200980120845.1
申请日：2009-06-03
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/683 , B23Q1/01 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/304 , H01L21/68 , B05C13/00
CPC classification number: H01L21/68785 , B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/045 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。
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公开(公告)号：CN101801646A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880108048.7
申请日：2008-11-05
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，包括：载置所述下基板的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，将保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述基底部上的所述下基板粘合。
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公开(公告)号：CN108884561A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780021217.2
申请日：2017-11-01
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/56 , C23C14/34 , C23C14/50 , H01L21/677
Abstract: 提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。
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