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公开(公告)号：CN118298902A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410264115.5
申请日：2024-03-07
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江求是半导体设备有限公司
摘要： 本申请涉及一种载台调平方法、装置、计算机设备及存储介质；载台调平方法应用于激光干涉仪，激光干涉仪的载台表面设置有限位组件，载台对应设置有多个调节器，调节器用于调整载台对应位置的高度；方法包括：获取载台形貌波面图以及多个调节器在图像中的图像位置信息；根据载台形貌波面图，计算载台倾斜平面方程；根据多个图像位置信息以及载台倾斜平面方程，确定每个调节器的高度信息；根据每个调节器的高度信息以及基准高度，调节对应的调节器，以调平载台，基于此，实现了载台自动化调平，减少了人工的干预，并降低了载台调平的繁琐度，进而有效提高了载台调平的精确度以及载台调平的效率。
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公开(公告)号：CN118280431A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410369098.1
申请日：2024-03-28
申请人： 佛山市华道超精科技有限公司
摘要： 本申请涉及飞行定位平台技术领域，尤其涉及刚柔复合飞行定位平台及其实现方法。提出如下技术方案：包括滑动设置的刚性平台，还包括柔性平台，所述柔性平台设置于所述刚性平台上，且所述柔性平台包括与刚性平台相对运动的柔性导向机构，通过控制所述柔性导向机构与刚性平台的相对运动速度实现间歇定位操作。本申请的设计降低了能耗，使柔性导向机构工作在固有频率附近，能量转换效率最高，减速时，柔性铰链将动能转化为弹性势能储存起来，在回复运动时又转化为动能，具体是靠柔性铰链弯曲变形产生横向运动来实现，产生位移的同时，也储存了弹性变形能。柔性铰链往复运动使得能量在弹性变形能与动能之间转化，从而降低了能耗，实现了绿色制造。
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公开(公告)号：CN109545271B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910020237.9
申请日：2019-01-09
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。
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公开(公告)号：CN117334245A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311269281.6
申请日：2023-09-28
申请人： 微纳光科(苏州)自动化设备有限公司
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本申请公开了一种基于高精度致动器的微纳定位平台，涉及柔性机构技术领域，包括基座、动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链相互垂直，且三个柔性支链的一端均固定在基座上，三个柔性支链的另一端均与动平台固定连接，每个所述柔性支链均包括主动副、第一被动副和第二被动副，所述第一被动副和第二被动副结构相同，所述主动副包括两个固定件，当工作人员清理装置时用力过大或者装置受外力干扰，通过设置为凸面相对的弧形的第一柔性簧片可以更好的提供对第一被动副的支撑，避免第一被动副位移造成后续定位不精准的问题，并且通过上述设置可以更好的避免三个主动副之间的运动影响，进一步实现平台运动的完全解耦，提高平台定位精度。
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公开(公告)号：CN116972064A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310853768.2
申请日：2023-07-12
申请人： 人工智能与数字经济广东省实验室(广州)
摘要： 本发明公开了一种基于波纹薄片的自装配柔顺旋转铰链、形成方法和平台，涉及精密传动和精密定位技术领域，其包括：公头旋转关节和母头旋转关节，所述公头旋转关节的一端和所述母头旋转关节的一端活动配合并在同一直线上；两半月周期波纹柔性体，两所述半月周期波纹柔性体均具有沿半月弧线周期性扩展形成的多个圆弧段，任意两个所述圆弧段之间相切，两所述半月周期波纹柔性体的两端分别连接在所述公头旋转关节的和所述母头旋转关节，两所述半月周期波纹柔性体沿所述公头旋转关节和所述母头旋转关节形成的直线对称设置，且两所述半月周期波纹柔性体轴线重合。
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公开(公告)号：CN116580759B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310861544.6
申请日：2023-07-14
申请人： 上海隐冠半导体技术有限公司
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本发明涉及精密设备技术领域，公开一种微动台。其中微动台包括底部驱动装置、中间驱动装置和顶部驱动装置。底部驱动装置包括底板和第一驱动组件，底板设置有沿第一方向延伸的第一滑轨；中间驱动装置包括中间板和第二驱动组件，中间板的底部安装有第一滑块，第一滑块滑动连接于第一滑轨，第一驱动组件安装于底板上，且驱动连接于中间板；中间板的顶面设置有沿第二方向延伸的第二滑轨，第二方向在经过第一方向的竖直平面上的投影与第一方向呈夹角设置；顶部驱动装置包括顶板，顶板的顶面用于安装待安装物，顶板的底面安装有第二滑块，第二滑块滑动连接于第二滑轨；第二驱动组件安装于中间板上，且驱动连接于顶板。
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公开(公告)号：CN109102842B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201811045913.X
申请日：2018-09-07
申请人： 河南中光学集团有限公司
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本发明公开了一种二维平面平移调整装置，包括外框、中框、内框，所述外框的顶壁与左壁分别开设有螺孔Ⅰ和螺孔Ⅱ，所述外框的右壁开设有通孔Ⅰ，所述外框顶部中心位置设有垂直调节顶轮，所述垂直调节顶轮与内框的顶壁相配合，所述外框右壁中心位置设有水平调节顶轮，所述水平调节顶轮与中框的外壁相配合，所述外框内套装有中框，所述中框顶壁中间位置开设有与所述外框顶部中心位置垂直调节顶轮相配合的通孔Ⅱ，所述中框右壁与底壁分别开设有螺孔Ⅲ和螺孔Ⅳ，所述外框的底壁开设有导向凹槽。本发明结构简单，操作使用时方便快捷，有效的降低了垂直方向和水平方向运动的摩擦系数，并保证运动时平滑无卡滞。
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公开(公告)号：CN109545274B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201811600237.8
申请日：2018-12-26
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
摘要： 本发明公开了超高真空用大行程精密压电位移台及其安装方法，所述超高真空用大行程精密压电位移台包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面。所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接。本发明公开的超高真空用大行程精密压电位移台及其安装方法，适用于超高真空与超低温环境，在保证行程方向运动的同时，避免在其他方向产生晃动，从而保证纳米级的绝对运动精度。
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公开(公告)号：CN116295174A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211092157.2
申请日：2022-09-08
申请人： 李欣梅
摘要： 本发明涉及公路桥梁工程技术领域，且公开了一种用于公路桥梁工程的桥梁裂缝测量装置，包括移动车体，所述移动车体顶端的一侧固定连接有测量机构，所述移动车体顶端的另一侧固定连接有出气管，所述出气管的顶端固定连接有出气机构，所述出气管的侧面固定连接有收集机构，所述测量机构包括可进行控制且与移动车体的顶端固定连接的电磁铁；滑动球在半球板内滑动，且限位球受到限位环的限位作用，滑动球滑动时始终与半球板接触，直至滑动球带动摆动杆与检测仪整体与水平面垂直，此时电磁铁通电产生的磁感线通过导磁环传递给半球板，此时半球板具有磁性，将滑动球吸引，此时移动车体移动时，滑动球的位置不会发生变化，增加检测的准确程度。
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公开(公告)号：CN109256175B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN201811323431.6
申请日：2018-11-08
申请人： 江南大学
摘要： 本发明提供了一种高精度大行程空间平动微定位平台，其能解决现有集中柔度式微定位平台容易出现应力集中，且难以保证在高精度的前提下实现毫米级的大行程的问题。其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个柔性支链呈正交布置，柔性支链的两端分别固接在基座和动平台上，基座上还安装有分别用于驱动柔性支链的音圈电机驱动器，柔性支链包括主动副、第一被动副和第二被动副；主动副、第一被动副和第二被动副均由对称设置的复合型柔性移动副组成，复合型柔性移动副包括两组柔性簧片且同组的两个柔性簧片互相平行，柔性簧片之间通过刚性连接件连接。
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