-
公开(公告)号：CN118280431A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410369098.1
申请日：2024-03-28
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本申请涉及飞行定位平台技术领域，尤其涉及刚柔复合飞行定位平台及其实现方法。提出如下技术方案：包括滑动设置的刚性平台，还包括柔性平台，所述柔性平台设置于所述刚性平台上，且所述柔性平台包括与刚性平台相对运动的柔性导向机构，通过控制所述柔性导向机构与刚性平台的相对运动速度实现间歇定位操作。本申请的设计降低了能耗，使柔性导向机构工作在固有频率附近，能量转换效率最高，减速时，柔性铰链将动能转化为弹性势能储存起来，在回复运动时又转化为动能，具体是靠柔性铰链弯曲变形产生横向运动来实现，产生位移的同时，也储存了弹性变形能。柔性铰链往复运动使得能量在弹性变形能与动能之间转化，从而降低了能耗，实现了绿色制造。
-
公开(公告)号：CN112596345B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011395315.2
申请日：2020-12-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接，所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。该多轴气浮平台能实现大承载的长行程高精度定位。
-
公开(公告)号：CN115274511A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211030390.8
申请日：2022-08-26
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种用于芯片的巨量转移装置和芯片纠偏转移方法，涉及半导体制造技术领域，包括：基座、刺晶机构和移晶机构；龙门X轴平台设置在基座上，刺晶龙门Y轴平台和移晶龙门Y轴平台分别对置在龙门X轴平台上，且刺晶Z轴平台及其配属的刺晶二维柔性平台与移晶Z轴平台及其配属的移晶二维柔性平台之间相向设置，晶圆盘与刺晶头在各自所属平台的带动下相互配合，以协同合作对应实施对限定于晶圆盘上的晶圆的精准移动及刺晶操作。采用二维柔性平台分别对各自所属的刺晶头和晶圆盘实施快速移转、对位，且各龙门轴系平台用于实现大行程运动，各自的二维柔性平台实现对晶圆在偏差方向的快速纠偏移动，其操作及效果尤为显著。
-
公开(公告)号：CN112548598B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202011395255.4
申请日：2020-12-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种刚柔耦合运动平台的模式切换控制方法，包括：获取运动平台的当前位置，并判断当前位置与目标位置之间的差距是否在运动平台的柔性铰链的形变范围内；若当前位置与目标位置之间的差距不在柔性铰链的形变范围内，则保持电机为三相交流驱动模式，保持所述电机的三相导通以驱动运动平台接近目标位置；若当前位置与目标位置之间的差距在柔性铰链的形变范围内，则锁定运动平台的刚性框架，所述电机切换为单相直流驱动模式，选择所述电机的两电极导通形成单相电流闭环控制，以使柔性铰链形变来弥补当前位置与目标位置之间的差距以到达目标位置。本发明控制效率高，可实现长行程纳米级的定位。
-
公开(公告)号：CN118276267A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410368918.5
申请日：2024-03-28
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明涉及精密操作或者测量设备技术领域，公开了一种柔性铰链姿态高精度调整平台及其应用，由至少一组柔性平台组成，所述柔性平台的一侧具有变形开口，还包括与所述柔性平台转动连接的调节组件，所述调节组件对称设置于所述变形开口的一侧，以使所述柔性平台实现厚度和/或角度的调整。本发明在柔性铰链结构的基础上，用可调长度的调节组件替代拉伸螺栓和紧定螺钉组合，每个自由度仅需一个调节组件，即双活节螺栓和双牙螺母配合，通过调节组件的长度变化实现偏角调整，解决了传统光学调节平台组成零件多、稳定性差、精度与强度矛盾，以及柔性铰链机构中拉伸螺栓和紧定螺钉组合调节存在过约束和调节复杂的弊端。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117387821A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311688757.X
申请日：2023-12-08
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: G01L5/1627
Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及正交柔性铰链片组合式六维力传感器，目的是解决目前传感器采用多柔性铰链并联方式冗余太多，计算量大，精度较低的问题。其技术方案包括柔性单元，所述柔性单元包括至少三组柔性铰链，所述柔性铰链沿轴线方向相互正交连接；至少偶数个的转换单元，所述转换单元沿每组所述柔性铰链的最小弯曲刚度的方向设置，且对称安装在所述柔性铰链的两侧面。本发明采用正交片式柔性单元，并将应变传感器布置在片式柔性铰链最薄尺寸的两面中间，通过差分对称布置，消除拉伸和扭转影响，实现纯弯曲测量，还通过多种不同方式的灵活组合成六维传感器，不仅解决传统应变片贴片困难的问题，而且测量精度可达单自由度力传感器的精度。
-
公开(公告)号：CN117287606A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311344379.3
申请日：2023-10-17
Applicant: 广东工业大学 , 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种刚柔耦合二维运动平台，包括基座、一体刚柔耦合平台以及二维驱动机构；所述一体刚柔耦合平台包括刚性框架、X向耦合组件以及Y向耦合组件；所述刚性框架内设有第一安装腔体；所述X向耦合组件包括设置在第一安装腔体内的X向平台和X向柔性铰链片，所述X向柔性铰链片设有两组且对称地设置在刚性框架和X向平台之间；所述X向平台内设有第二安装腔体；所述Y向耦合组件包括设置在第二安装腔体内的Y向平台和Y向柔性铰链片，所述Y向柔性铰链片设有两组且对称地设置在X向平台的内侧壁和Y向平台的外侧壁之间。本发明通过将两个运动方向的柔性铰链集成一体，不仅可以有效提高运动速度以及精度，还可以简化结构，减小占用的空间。
-
公开(公告)号：CN117226539A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311387023.8
申请日：2023-10-24
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明涉及多轴运动平台组成的高端装备精密装配技术领域，尤其涉及滑块融合组合式高精度姿态调整机构。其技术方案包括工作平台和位于所述工作平台下方的滑块，还包括：俯仰调节机构，设置于所述工作平台与所述滑块之间，用于调节所述工作平台与所述滑块的之间的高度实现对工作平台的偏转俯仰调节；水平调节组件，用于调节所述工作平台与所述滑块的水平相对位置。本发明只需要三个以上的侧面调节螺栓，自动形成一个回转中心，从而使得厚度可调柔性铰链可以随意设置于滑块上，更方便实施；另外，组合式的机构，制造成本更低，避免了在先技术所描述的悬臂结构，可以用于重载设备，从而使用面更广。
-
公开(公告)号：CN114922935B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202210538147.0
申请日：2022-05-18
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种刚柔耦合位力复合执行机构及恒力控制方法，属于机械精密制造技术领域，所述执行机构包括：机架，设置在机架上的刚柔耦合导向缓冲组合体和驱动组合体；刚柔耦合导向缓冲组合体包括：直线导向机构、弹簧片和输出轴；输出轴与驱动组合体柔性连接或刚性连接。本发明采用导轨导向刚柔耦合结构，在调整阶段用导轨导向，实现大范围位移调整；在力控制阶段靠柔性铰链导向，消除摩擦力对力反馈与传递的影响。为实现恒力控制，采用伺服电机驱动滚珠丝杠调节缓冲弹簧实现力控制，伺服驱动反应灵敏，缓冲弹簧能够降低位移偏差带来的力波动。为实现重力补偿，采用重力角度传感单元获得重力角度，从而实现在控制系统中进行重力补偿的效果。
-
公开(公告)号：CN116337292A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310614291.2
申请日：2023-05-27
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明属于力传感器技术领域，尤其是刚柔复合导向力传感器结构及其应用，解决了力传感器位置调整测量受导向摩擦影响和量程不可调的问题，其技术方案包括：力传感器和刚柔复合导向机构，所述刚柔复合导向机构包括柔性导向机构，柔性导向机构由至少一组柔性铰链组成，且所述力传感器的作用端通过柔性铰链与刚性框架连接，外力通过柔性导向机构作用在所述力传感器上，以消除摩擦力的影响。本发明的力传感器结构，被测力通过柔性导向机构作用到力传感器上，在应用过程中不会受限于驱动组件所产生的摩擦力，即力的传递不受摩擦影响，进而明显提高力传感器的检测精度，同时通过更换不同的柔性导向机构厚度，获得不同的量程，节约成本。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
64
records
(took 0.042 seconds)
