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公开(公告)号：CN113059537B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110215471.4
申请日：2021-02-26
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: B25H1/00
Abstract: 本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余驱动替代并联机构，无需解耦；另一方面，采用音圈电机驱动的柔性铰链组，所述柔性铰链片组分别与所述基座和工作台固定，单一模态，避免了高速运动时的多模态叠加。上述柔性铰链机构可应用在机械导轨式直线平台上，通过偏摆俯仰和高度调节，实现更高的平面度和直线度；还可以配合接触切换式多轴气浮导轨平台，六自由度工件台，满足光刻机的六自由度调整需求。
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公开(公告)号：CN112994396A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110147054.0
申请日：2021-02-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明涉及位移装置技术领域，且公开了一种高频往复精密位移装置，包括驱动单元，其固定设置于基座表面；弹簧组件，其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件往复运动；弹簧刚度调节组件，其用于调节所述弹簧组件的刚度。该种高频往复精密位移装置，采用刚度可调弹簧，将系统的固有频率调节为工作频率，电机按照给定固有频率激励，累加后振幅逐渐增加，阻尼力也逐渐增加，当电机输入能量与阻尼衰减能量平衡时振幅保持稳定，通过控制输入力的幅值，就可以控制振幅。光栅尺可以精密测量幅值。存在摩擦力时，可以通过柔性铰链补偿摩擦死区，提高位移控制精度。
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公开(公告)号：CN112065851A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010778960.6
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种新型机械导轨刚柔耦合运动平台，包括基座、安装在基座上的导轨、滑动设置在导轨上的滑块、固定设置在滑块上的刚柔耦合平台、用于驱动刚柔耦合平台滑动的驱动单元以及用于检测刚柔耦合平台速度和位移的检测单元，导轨包括导轨本体，导轨本体包括：第一表面，第一表面面对滑块；第二表面，第二表面与第一表面相对，导轨安装在基座上时，第二表面与基座接触；第二和第三表面，第二和第三表面均与第一表面相邻，第二和第三表面远离基座的位置均具有凸起部，凸起部用于安装滑块中的滚动部件；导轨本体在基座上的固定方式可确保导轨本体面对滑块和接触滑块的位置无孔隙。该刚柔耦合运动平台具有高速高精度的有点，能有效避免速率波动。
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公开(公告)号：CN111916374A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010779969.9
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种芯片阵列巨量转移装置，包括薄膜拉伸对位机构，所述薄膜拉伸对位机构包括薄膜拉伸机构和梳齿机构，梳齿机构包括驱动组件、传送组件和对位模具，传送组件包括至少两个传送单元，每个传送单元包括同步带，每条同步带绕接于至少两个同步轮上，其中对位模具可拆卸地安装于所述同步带的内表面，驱动组件用于驱动所述传送单元的一端的同步轮转动，传送单元的另一端的同步轮分别与薄膜拉伸机构固定端和薄膜拉伸机构活动端相连。两传送单元的同步带在驱动组件的驱动下运动，从而带动其上的对位模具向同步带的长度方向运动，从而对一行芯片的对位，可实现芯片阵列的批量转移，在保证转移良率的同时，提高了巨量转移的效率。
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公开(公告)号：CN112596345B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011395315.2
申请日：2020-12-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接，所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。该多轴气浮平台能实现大承载的长行程高精度定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115274511A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211030390.8
申请日：2022-08-26
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种用于芯片的巨量转移装置和芯片纠偏转移方法，涉及半导体制造技术领域，包括：基座、刺晶机构和移晶机构；龙门X轴平台设置在基座上，刺晶龙门Y轴平台和移晶龙门Y轴平台分别对置在龙门X轴平台上，且刺晶Z轴平台及其配属的刺晶二维柔性平台与移晶Z轴平台及其配属的移晶二维柔性平台之间相向设置，晶圆盘与刺晶头在各自所属平台的带动下相互配合，以协同合作对应实施对限定于晶圆盘上的晶圆的精准移动及刺晶操作。采用二维柔性平台分别对各自所属的刺晶头和晶圆盘实施快速移转、对位，且各龙门轴系平台用于实现大行程运动，各自的二维柔性平台实现对晶圆在偏差方向的快速纠偏移动，其操作及效果尤为显著。
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公开(公告)号：CN112548598B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202011395255.4
申请日：2020-12-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种刚柔耦合运动平台的模式切换控制方法，包括：获取运动平台的当前位置，并判断当前位置与目标位置之间的差距是否在运动平台的柔性铰链的形变范围内；若当前位置与目标位置之间的差距不在柔性铰链的形变范围内，则保持电机为三相交流驱动模式，保持所述电机的三相导通以驱动运动平台接近目标位置；若当前位置与目标位置之间的差距在柔性铰链的形变范围内，则锁定运动平台的刚性框架，所述电机切换为单相直流驱动模式，选择所述电机的两电极导通形成单相电流闭环控制，以使柔性铰链形变来弥补当前位置与目标位置之间的差距以到达目标位置。本发明控制效率高，可实现长行程纳米级的定位。
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公开(公告)号：CN112096739B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202010778968.2
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。
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公开(公告)号：CN113059537A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110215471.4
申请日：2021-02-26
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: B25H1/00
Abstract: 本申请公开了一种柔性铰链机构、超精密直线运动平台及双工件工作台，柔性铰链机构可以通过控制至少三个音圈电机的同步升降来实现工作台的高度调节，可以通过处于同一边上的音圈电机升降与其它边上的音圈电机产生高度差来实现工作台的偏转俯仰。一方面采用冗余驱动替代并联机构，无需解耦；另一方面，采用音圈电机驱动的柔性铰链组，所述柔性铰链片组分别与所述基座和工作台固定，单一模态，避免了高速运动时的多模态叠加。上述柔性铰链机构可应用在机械导轨式直线平台上，通过偏摆俯仰和高度调节，实现更高的平面度和直线度；还可以配合接触切换式多轴气浮导轨平台，六自由度工件台，满足光刻机的六自由度调整需求。
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公开(公告)号：CN112096739A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010778968.2
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。
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