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公开(公告)号：CN112994396A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110147054.0
申请日：2021-02-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明涉及位移装置技术领域，且公开了一种高频往复精密位移装置，包括驱动单元，其固定设置于基座表面；弹簧组件，其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件往复运动；弹簧刚度调节组件，其用于调节所述弹簧组件的刚度。该种高频往复精密位移装置，采用刚度可调弹簧，将系统的固有频率调节为工作频率，电机按照给定固有频率激励，累加后振幅逐渐增加，阻尼力也逐渐增加，当电机输入能量与阻尼衰减能量平衡时振幅保持稳定，通过控制输入力的幅值，就可以控制振幅。光栅尺可以精密测量幅值。存在摩擦力时，可以通过柔性铰链补偿摩擦死区，提高位移控制精度。
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公开(公告)号：CN112065851A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010778960.6
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种新型机械导轨刚柔耦合运动平台，包括基座、安装在基座上的导轨、滑动设置在导轨上的滑块、固定设置在滑块上的刚柔耦合平台、用于驱动刚柔耦合平台滑动的驱动单元以及用于检测刚柔耦合平台速度和位移的检测单元，导轨包括导轨本体，导轨本体包括：第一表面，第一表面面对滑块；第二表面，第二表面与第一表面相对，导轨安装在基座上时，第二表面与基座接触；第二和第三表面，第二和第三表面均与第一表面相邻，第二和第三表面远离基座的位置均具有凸起部，凸起部用于安装滑块中的滚动部件；导轨本体在基座上的固定方式可确保导轨本体面对滑块和接触滑块的位置无孔隙。该刚柔耦合运动平台具有高速高精度的有点，能有效避免速率波动。
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公开(公告)号：CN111916374A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010779969.9
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种芯片阵列巨量转移装置，包括薄膜拉伸对位机构，所述薄膜拉伸对位机构包括薄膜拉伸机构和梳齿机构，梳齿机构包括驱动组件、传送组件和对位模具，传送组件包括至少两个传送单元，每个传送单元包括同步带，每条同步带绕接于至少两个同步轮上，其中对位模具可拆卸地安装于所述同步带的内表面，驱动组件用于驱动所述传送单元的一端的同步轮转动，传送单元的另一端的同步轮分别与薄膜拉伸机构固定端和薄膜拉伸机构活动端相连。两传送单元的同步带在驱动组件的驱动下运动，从而带动其上的对位模具向同步带的长度方向运动，从而对一行芯片的对位，可实现芯片阵列的批量转移，在保证转移良率的同时，提高了巨量转移的效率。
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公开(公告)号：CN111916374B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010779969.9
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种芯片阵列巨量转移装置，包括薄膜拉伸对位机构，所述薄膜拉伸对位机构包括薄膜拉伸机构和梳齿机构，梳齿机构包括驱动组件、传送组件和对位模具，传送组件包括至少两个传送单元，每个传送单元包括同步带，每条同步带绕接于至少两个同步轮上，其中对位模具可拆卸地安装于所述同步带的内表面，驱动组件用于驱动所述传送单元的一端的同步轮转动，传送单元的另一端的同步轮分别与薄膜拉伸机构固定端和薄膜拉伸机构活动端相连。两传送单元的同步带在驱动组件的驱动下运动，从而带动其上的对位模具向同步带的长度方向运动，从而对一行芯片的对位，可实现芯片阵列的批量转移，在保证转移良率的同时，提高了巨量转移的效率。
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公开(公告)号：CN112994396B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110147054.0
申请日：2021-02-03
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本发明涉及位移装置技术领域，且公开了一种高频往复精密位移装置，包括驱动单元，其固定设置于基座表面；弹簧组件，其存储或释放从所述驱动单元获得的能量，所述驱动单元驱动弹簧组件往复运动；弹簧刚度调节组件，其用于调节所述弹簧组件的刚度。该种高频往复精密位移装置，采用刚度可调弹簧，将系统的固有频率调节为工作频率，电机按照给定固有频率激励，累加后振幅逐渐增加，阻尼力也逐渐增加，当电机输入能量与阻尼衰减能量平衡时振幅保持稳定，通过控制输入力的幅值，就可以控制振幅。光栅尺可以精密测量幅值。存在摩擦力时，可以通过柔性铰链补偿摩擦死区，提高位移控制精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112976047A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110172341.7
申请日：2021-02-08
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种双反馈柔性旋转关节机构及机器人，包括双编码旋转关节、第一机械臂和第二机械臂，双编码旋转关节包括输入端、输出端，输入端与第二机械臂固定连接，输出端与第一机械臂固定连接，输入端与输出端分别设第一编码器和第二编码器，可直接计算出输入端与输出端之间同步轮同步带组件及减速器过度机构固有的碰撞间隙、弹性变形等性质所引起的传动误差，使得双编码旋转关节的输出转动角度可实现更高的精度。多个双编码旋转关节可通过各种机械臂连接起来组成多轴的机器人，从而机器人的末端机构的位置精度大大提升。
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公开(公告)号：CN112096739B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202010778968.2
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。
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公开(公告)号：CN112096739A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010778968.2
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。
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公开(公告)号：CN112081823A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010779968.4
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C29/06
Abstract: 本发明提供了一种新型机械导轨，用于安装滑块以使滑块在导轨上滑动，导轨固定在基座上，导轨包括导轨本体，导轨本体包括：第一表面，第一表面面对滑块；第二表面，第二表面与第一表面相对，导轨安装在基座上时，第二表面与基座接触；第二和第三表面，第二和第三表面均与第一表面相邻，第二和第三表面远离基座的位置均具有凸起部，凸起部用于安装滑块中的滚动部件；导轨本体在基座上的固定方式可确保导轨本体面对滑块和接触滑块的位置无孔隙。本申请提出了一种适用于超高速高精度运动平台的导轨，有效避免了因导轨在基座上的安装而带来的速度波动，提高了运动平台的精度。
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公开(公告)号：CN112081822A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010779963.1
申请日：2020-08-05
Applicant: 佛山市华道超精科技有限公司
IPC: F16C29/06 , F16C29/10 , F16H25/22 , F16F15/073 , F16F15/02
Abstract: 本发明提供了一种新型导轨刚柔耦合平台，包括基座、安装在基座上的导轨、滑动设置在导轨上的滑块、固定设置在滑块上的刚柔耦合平台、用于驱动刚柔耦合平台滑动的驱动单元以及用于检测刚柔耦合平台速度和位移的检测单元，导轨包括导轨本体和螺栓，导轨本体包括：第一表面，第一表面面对滑块；第二和第三表面，第二和第三表面均与第一表面相邻，第二和第三表面远离基座的位置均具有凸起部，凸起部用于安装滑块中的滚动部件；第四表面，第四表面与第一表面相对并与基座接触；导轨本体上开设有贯穿第一表面和第四表面的通孔，螺栓通过通孔将导轨本体固定在基座上；螺栓与通孔之间形成无孔隙连接。
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