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公开(公告)号：CN109489582B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201811640186.1
申请日：2018-12-29
申请人： 广东工业大学
摘要： 本申请公开了一种三自由度精密运动平台，包括：平台基座、第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件和动平台；第一运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第二运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第三运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件与动平台的连接点不在同一点，解决了现有运动平台因较多的连带环节及运动组件，使得运动误差积累严重，难以同时满足多自由度和高精度的技术问题。
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公开(公告)号：CN109676403B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201910105229.4
申请日：2019-02-01
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： B23Q1/56 , B23Q5/28 , B23Q15/013 , B23Q17/24
摘要： 本发明提供一种大行程高速高精度宏微复合运动平台，包括底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件、Z向伸缩装置和微运动补偿单元、宏微位移检测装置以及工控机。底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件和Z向伸缩装置构成宏运动机构，在工控机的控制下，可以实现终端平台沿X、Y、Z向的大行程宏运动，其运动平稳、效率高；微运动补偿单元构成微运动机构，在工控机的控制下，可以实现终端平台沿三轴方向小范围内的运动微调，达到三维协同XYZ精密运动误差补偿、三轴振动协同快速抑制的技术效果。上述大行程高速高精度宏微复合运动平台，可以实现微电子产品的大行程、高速、高精度、平稳运动。
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公开(公告)号：CN109296895B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201811314068.1
申请日：2018-11-06
申请人： 广东工业大学
摘要： 本申请公开了一种X‑Z长行程高速扫描装置，宏运动平台在宏动底座上做X轴方向的水平运动，斜面滑块增力机构将宏运动平台的X轴方向的水平宏运动，转换为Z轴方向的竖直宏运动，采用压电陶瓷和高钢弹簧相互配合，压电陶瓷能够实现纳米级别的精度控制，通过控制高钢弹簧的微小形变能够实现微运动平台的高精度位移补偿，并且通过压电陶瓷的减振功能，对微运动平台施加反向运动作用力，能够实现对微运动平台的快速减振，保证微运动平台的稳定快速运行，解决了现有的精密扫描仪器采用柔性铰链叠加机构会给运动平台产生较大的误差，且压电陶瓷在驱动柔性铰链时会产生较大的振动，使得运动平台的运动稳定性较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN109545271B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910020237.9
申请日：2019-01-09
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。
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公开(公告)号：CN109129412B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201811228350.8
申请日：2018-10-22
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开了一种二维解耦宏微运动平台及其补偿方法，包括平面底板和上位机，平面底板上设置有X轴运动组件、Y轴运动组件、中间运动组件、宏运动驱动机构和微运动驱动机构；X轴运动组件包括第一导轨和第一运动滑块；Y轴运动组件包括第二导轨和第二运动滑块；中间运动组件包括X轴导轨、Y轴导轨、中间平台；宏运动驱动机构用于驱动第一运动滑块和第二运动滑块的宏运动进给；微运动驱动机构用于驱动第一运动滑块和第二运动滑块的微运动补偿。上述二维解耦宏微运动平台在实际工作过程中，通过互无干扰的宏微结构，实现了高速运行和精密误差补偿的双向发展，能够实现简单快捷的高精度运动。
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公开(公告)号：CN109545271A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201910020237.9
申请日：2019-01-09
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： G12B5/00
摘要： 本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。
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公开(公告)号：CN109296895A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811314068.1
申请日：2018-11-06
申请人： 广东工业大学
摘要： 本申请公开了一种X-Z长行程高速扫描装置，宏运动平台在宏动底座上做X轴方向的水平运动，斜面滑块增力机构将宏运动平台的X轴方向的水平宏运动，转换为Z轴方向的竖直宏运动，采用压电陶瓷和高钢弹簧相互配合，压电陶瓷能够实现纳米级别的精度控制，通过控制高钢弹簧的微小形变能够实现微运动平台的高精度位移补偿，并且通过压电陶瓷的减振功能，对微运动平台施加反向运动作用力，能够实现对微运动平台的快速减振，保证微运动平台的稳定快速运行，解决了现有的精密扫描仪器采用柔性铰链叠加机构会给运动平台产生较大的误差，且压电陶瓷在驱动柔性铰链时会产生较大的振动，使得运动平台的运动稳定性较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN108555615A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810750900.6
申请日：2018-07-10
申请人： 广东工业大学
摘要： 本申请提供一种大行程五自由度宏微复合运动平台，所述运动组件包括具有宏微复合运动的第一运动组件和第二运动组件；所述平台承载件可驱动所述动平台在Z向升降；所述动平台与所述平台承载件之间球接；所述动平台的两端与所述第一导杆、第二导杆铰接；所述第一导杆、第二导杆与所述楔形块位移平台铰接；整个宏微运动仅需左右两个电机、四个压电陶瓷的驱动源协调运动，可实现五自由度的任意组合及其宏微切换；驱动组件与平台中心对称安装，整个平台以平台中心作为运动的对称中心，具有良好的定位效果；利用压电陶瓷和高刚弹簧作为微驱动的运动系统，具有较好的预紧效果，抑制振动，弥补误差。
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公开(公告)号：CN109686690B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910105227.5
申请日：2019-02-01
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
摘要： 本发明提供一种镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置，包括底板、设于底板上方的Y向精密补偿单元、自上至下贯穿于底板和Y向精密补偿单元的X向精密补偿单元；还包括固设于X向精密补偿单元内部、且固设于终端平台的下表面、用以补偿终端平台的Z轴方向微位移的Z向精密补偿单元；还包括用以读取X轴、Y轴和Z轴方向位移的读取单元，以及用以分别控制X向精密补偿单元、Y向精密补偿单元及Z向精密补偿单元的工控机。本发明所提供的镶嵌层叠式XYZ三维动态微驱动装置，采用镶嵌层叠式结构，结构紧凑、架构精简，有效地节省了安装空间、提高了运动精度，实现了三维协同动态补偿、动态减振的功能，确保了终端平台的精密运动。
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公开(公告)号：CN110048634A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910394331.0
申请日：2019-05-13
申请人： 广东工业大学
摘要： 本申请公开了一种微动平台，包括动平台、位移输出装置、柔性连接装置和安装底座；其中位移输出装置包括：固定支架、压电陶瓷驱动器、高钢弹簧、推杆、和预紧装置。本申请采用压电陶瓷和高钢弹簧组成可快速动态调节的驱动结构，实现累积误差小且复杂环节少的精密位移输出。同时设置预紧装置对压电陶瓷驱动器的预紧力进行改变，有利于提高微动平台的运动性能和实现运动控制。
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