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公开(公告)号：CN110501527B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201910841787.7
申请日：2019-09-06
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
摘要： 本发明公开了一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，包括超高超高真空腔体部和样品传递系统，所述样品传递系统包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆和所述第二传样杆分别位于所述超高真空腔体部的侧端并且分别与超高真空腔体部刀口法兰密封连接；所述样品制备机构包括样品台和位置调节机构，所述样品制备机构位于所述超高真空腔体部的上端并且部分内嵌于所述超高真空腔体部，所述样品制备机构与所述超高真空腔体部通过刀口法兰密封连接。本发明公开的一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，其可以通过在超高真空内原位薄膜生长和电极生长制作微型复杂图案的输运测试样品。
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公开(公告)号：CN109491201B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN201811599524.1
申请日：2018-12-26
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
IPC分类号： G03F1/80
摘要： 本发明公开了一种掩膜版用高精度二维运动机构，包括二维压电陶瓷电机组件，用于实现在X轴和Z轴两个方向上进行运动；支撑板，设置于所述二维压电陶瓷电机组件的Z轴伸缩杆的底端；掩膜版支架，设置于所述支撑板一端的上方，用于放置掩膜版；第二压片，设置在所述掩膜版支架上，用于将所述掩膜版压紧在所述掩膜版支架上。本发明的掩膜版用高精度二维运动机构克服了薄膜器件生长掩膜版运动精度以及掩膜版位置控制的问题，并且掩膜版图案更换方便；由于二维压电陶瓷电机组件体积小、行程大、精度高，可以将掩膜版用高精度二维运动机构尺寸做到很小；使用过程中不受基底尺寸和生长器件尺寸的限制、行程可以连续调节。
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公开(公告)号：CN114507845B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210080178.6
申请日：2022-01-24
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
摘要： 本发明公开了一种超高真空金属蒸镀设备及其蒸镀方法，旨在解决现有的真空金属蒸镀设备配备的蒸发源器件数量较少，且蒸镀金属材料单一加上单次蒸镀基底数量受限，效率较低，同时也没有设计对基底基底的温度控制器件，导致蒸镀附着性较差的问题，超高真空金属蒸镀设备，包括平台机架，平台机架的上端通过若干个支撑腿固定有内部中空且于腔壁上开设有若干法兰口的球形腔体；球形腔体的法兰口上分别安装有：若干个快开门；压电旋转机构；若干个高温热蒸发源机构；放气阀；电极法兰；抽真空机构；还包括有工控计算机或微型控制电脑。本发明尤其适用于超高真空的多蒸发源金属蒸镀，具有较高的社会使用价值和应用前景。
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公开(公告)号：CN114507845A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210080178.6
申请日：2022-01-24
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
摘要： 本发明公开了一种超高真空金属蒸镀设备及其蒸镀方法，旨在解决现有的真空金属蒸镀设备配备的蒸发源器件数量较少，且蒸镀金属材料单一加上单次蒸镀基底数量受限，效率较低，同时也没有设计对基底基底的温度控制器件，导致蒸镀附着性较差的问题，超高真空金属蒸镀设备，包括平台机架，平台机架的上端通过若干个支撑腿固定有内部中空且于腔壁上开设有若干法兰口的球形腔体；球形腔体的法兰口上分别安装有：若干个快开门；压电旋转机构；若干个高温热蒸发源机构；放气阀；电极法兰；抽真空机构；还包括有工控计算机或微型控制电脑。本发明尤其适用于超高真空的多蒸发源金属蒸镀，具有较高的社会使用价值和应用前景。
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公开(公告)号：CN114199719A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111382773.7
申请日：2021-11-22
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 沈敏敏
IPC分类号： G01N7/04
摘要： 本发明提供一种比表面积测试装置及测试方法，旨在解决市面上的比表面积仪器占地较大，且成本高昂，操作复杂，同时用于存储样品的样品室偏小且无法拆卸，对样品的体积及质量有严格限制等问题，包括作为安装基体的机架和安装于机架上以提供氮气的高压氮气瓶，还包括有设置在机架上的中转腔、气体输送系统、歧管、样品室和液氮杜瓦瓶；所述中转腔通过固定架固定于机架上，用于构成压力阶梯缓冲区，中转腔上开设有排气口，且排气口上安装有对测试装置内部抽真空的抽真空机构。本发明尤其适用于低温样品的气体吸附率快速精准测试，具有较高的社会使用价值和应用前景。
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公开(公告)号：CN114014018A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111355421.2
申请日：2021-11-16
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 张宇
摘要： 本发明提供一种超高真空样品传递装置，包括腔体、至少部分设于腔体内可双向传递的传输装置、法兰和法兰支撑装置，所述运输装置包括导轨运动机构、用于支撑导轨运动机构的导轨支撑机构和用于运输样品的滑动小车，所述导轨运动机构包括用于带动滑动小车的细丝、导轨和设于导轨下端的传动齿条；还包括用于带动细丝运动的细丝驱动轴、用于带动传动齿条运动的齿条驱动轴。本发明结构简单，操作简单，安装所需配合部件均带有定位槽，且安装方便，可重复性高，兼容超高真空使用环境，利于超高真空的获得和维护，样品传输操作方便，只需转动旋转驱动器即可，更可升级为电动旋转驱动器可实现全自动化运行。
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公开(公告)号：CN112595860A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011567791.8
申请日：2020-12-26
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 刘锐
摘要： 本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。
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公开(公告)号：CN110501527A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910841787.7
申请日：2019-09-06
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
摘要： 本发明公开了一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，包括超高超高真空腔体部和样品传递系统，所述样品传递系统包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆和所述第二传样杆分别位于所述超高真空腔体部的侧端并且分别与超高真空腔体部刀口法兰密封连接；所述样品制备机构包括样品台和位置调节机构，所述样品制备机构位于所述超高真空腔体部的上端并且部分内嵌于所述超高真空腔体部，所述样品制备机构与所述超高真空腔体部通过刀口法兰密封连接。本发明公开的一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，其可以通过在超高真空内原位薄膜生长和电极生长制作微型复杂图案的输运测试样品。
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公开(公告)号：CN110487609A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910842219.9
申请日：2019-09-06
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
摘要： 本发明公开了一种超高真空原位薄膜刻蚀电极生长系统，快速进样室包括第一传样杆、高真空腔体部、第一超高真空插板阀，所述第一传样杆与所述高真空腔体部法兰刀口密封连接，电极生长室包括超高真空腔体部、第一真空获得系统、第一真空测量系统，所述快速进样室的第一超高真空插板阀与所述电极生长室的超高真空腔体部法兰刀口密封连接。本发明公开的一种超高真空原位薄膜刻蚀电极生长系统，可以对生长好的薄膜样品进行特殊形状的刻蚀加工并原位生长电极获得用于测量材料输运特性的特殊样品。
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公开(公告)号：CN109539655A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811599586.2
申请日：2018-12-26
申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
发明人： 王文杰
摘要： 本发明公开了一种低温双层联动冷屏结构，包括驱动机构、固定冷屏、转动冷屏和转动轨道。驱动机构包括旋转驱动轴和锥齿轮组，旋转驱动轴与锥齿轮组传动连接。固定冷屏包括外层固定冷屏和内层固定冷屏。位于外层固定冷屏的旋转驱动轴带动锥齿轮组转动以驱动外层转动屏，使得低温双层联动冷屏结构在打开状态和关闭状态之间切换。本发明公开的低温双层联动冷屏结构，适用于超高真空和低温环境，由传统的机械手拨动方式驱动升级为旋转方式驱动，提高操作便利程度和可靠程度；内外两层转动冷屏相互耦合可同时打开或者关闭，还可脱离耦合。
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