发明公开
- 专利标题: 基于光纤的低温近场光学显微镜
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申请号: CN202011567791.8申请日: 2020-12-26
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公开(公告)号: CN112595860A公开(公告)日: 2021-04-02
- 发明人: 刘锐
- 申请人: 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号(中科院三期)17号楼2楼203室
- 专利权人: 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
- 当前专利权人: 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号(中科院三期)17号楼2楼203室
- 代理机构: 嘉兴启帆专利代理事务所
- 代理商 王大国
- 主分类号: G01Q60/18
- IPC分类号: G01Q60/18 ; G02B21/00
摘要:
本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜,用于测量样品,包括光学部分和扫描机械部分,光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构,所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接,所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜,其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序,还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响,其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。