公开(公告)号：CN114018921A

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202111287873.1

申请日：2021-11-02

申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司

发明人： 刘锐 ,  王文杰

IPC分类号： G01N21/84 ,  G01N21/01

摘要： 本发明提供一种基于探针光学定位系统的近场光学显微镜，旨在解决对样品的近场光学测量中近场交互的汇聚激发光束存在对准偏差和错误对准的问题，包括近场光学显微镜的设备基体，安装于设备基体上并用于扫描检测样品的近场探针，还包括有：光源系统，用于提供实现近场交互的激发光束；近场光路系统，用于探测和引导实现近场交互的激发光束；至少两个光学定位系统，用于指引激发光束聚焦于探针尖端；探测光路系统，用于探测近场探针与检测样品之间的近场相互作用。本发明尤其适用于快速、简单且可重复的精确调整探针和用于近场交互的汇聚激发光对准，具有较高的社会使用价值和应用前景。

公开(公告)号：CN112595860A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN202011567791.8

申请日：2020-12-26

申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司

发明人： 刘锐

IPC分类号： G01Q60/18 ,  G02B21/00

摘要： 本发明公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本发明公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。

公开(公告)号：CN214427470U

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202023185663.5

申请日：2020-12-26

申请人： 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司

发明人： 刘锐

IPC分类号： G01Q60/18 ,  G02B21/00

摘要： 本实用新型公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本实用新型公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。