模板、模板的表面处理方法、模板的表面处理装置和图案形成方法

    公开(公告)号:CN102692817A

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN201210076341.8

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: G03F7/0002 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明涉及模板、模板的表面处理方法、模板的表面处理装置和图案形成方法。具体地,涉及一种包括具有凹凸图案的转写面的模板。所述模板被构造成在树脂的表面中形成反映所述凹凸图案的结构。所述树脂通过将处于在光固化性树脂液用光固化之前的状态下的光固化性树脂液充填入所述凹凸图案的凹部并使用光来固化所述光固化性树脂液而形成。所述模板包括基材和表面层。所述基材包括具有凹凸的主表面。所述表面层覆盖所述基材的凹凸并用于形成反映所述凹凸的结构的凹凸图案。所述表面层与处于在光固化性树脂液用光固化之前的状态下的光固化性树脂液之间的接触角不大于30度。

    陶瓷电路基板的制造方法
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116982416A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202280016626.4

    申请日:2022-03-28

    Abstract: 一种陶瓷电路基板的制造方法,其特征在于,其是在陶瓷基板的至少一个面上介由钎料层而接合有铜板的陶瓷电路基板的制造方法,上述钎料层不含Ag,且含有Cu及Ti和选自Sn或In中的1种或2种,上述制造方法具备以下工序:准备在上述铜板的图案形状间上述钎料层的一部分变得裸露的陶瓷电路基板,将上述钎料层的上述一部分进行化学研磨的化学研磨工序;用含有选自过氧化氢及过氧二硫酸铵中的1种或2种的pH为6以下的蚀刻液,将经化学研磨的上述钎料层的上述一部分进行蚀刻的钎料蚀刻工序。

    绝缘性电路基板及使用了其的半导体装置

    公开(公告)号:CN116686081A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202180086659.1

    申请日:2021-12-22

    Abstract: 实施方式提供改善了与接合层的接合的可靠性的陶瓷铜电路基板。实施方式的绝缘性电路基板的特征在于,其具备绝缘性基板、和与上述绝缘性基板的至少一个面接合的导体部,在对上述导体部的表面的氮量进行XPS分析时,任意3处的上述氮量的平均值为0at%以上且50at%以下的范围内。在对上述导体部表面的氧量进行XPS分析时,上述3处的上述氧量的平均值优选为3at%以上且30at%以下的范围内。上述氮量相对于上述氧量之比优选为0以上且5以下。

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