公开(公告)号：CN1622290A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410095653.9

申请日：2004-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 平林英明 ,  樱井直明 ,  斋藤晶子 ,  佐藤浩史 ,  山田富穗

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00

CPC classification number: B24B37/24

Abstract: 本发明涉及用于化学机械研磨的研磨布，该研磨布具有由酸值为10～100mg KOH/g、羟值为50～150mgKOH/g的(甲基)丙烯酸共聚物构成的成形体。

公开(公告)号：CN100413033C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200410095653.9

申请日：2004-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 平林英明 ,  樱井直明 ,  斋藤晶子 ,  佐藤浩史 ,  山田富穗

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C08F220/06 ,  C08F220/26 ,  C08L33/00 ,  B24D3/20

Abstract: 本发明涉及用于化学机械研磨的研磨布，该研磨布具有由酸值为10～100mgKOH/g、羟值为50～150mgKOH/g的(甲基)丙烯酸共聚物构成的成形体。