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公开(公告)号:CN101542730A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200880000421.7
申请日:2008-03-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , G11C13/0007 , G11C13/004 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2213/32 , G11C2213/71 , G11C2213/72 , G11C2213/79 , H01L27/2409 , H01L27/2436 , H01L27/2481 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675 , Y10S438/90
Abstract: 本发明提供非易失性存储元件和其制造方法、以及使用了该非易失性存储元件的非易失性半导体装置。该非易失性存储元件包括:第一电极(103);第二电极(107);和存在于第一电极(103)与第二电极(107)之间、且电阻值根据施加在两电极(103)、(107)间的电信号可逆地变化的电阻变化层(106),该电阻变化层(106)具有叠层有具有由TaOx(其中,0≤x<2.5)表示的组成的第一含钽层、和具有至少由TaOy(其中,x<y)表示的组成的第二含钽层的叠层结构。
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公开(公告)号:CN101501849A
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200780028882.0
申请日:2007-08-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C11/5685 , G11C2213/31 , G11C2213/32 , G11C2213/55 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/04 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/147 , H01L45/1625 , H01L45/1683
Abstract: 本发明提供存储元件、存储器装置和半导体集成电路。存储元件包括:第一电极、第二电极和电阻变化膜(2),该电阻变化膜(2)以与第一电极和第二电极连接的方式介于两电极之间,其电阻值根据两电极之间的电压而改变,电阻变化膜(2)包括由Fe3O4构成的层(2a)和由以Fe2O3或MFe2O4表示的尖晶石结构氧化物构成的层(2b),由Fe3O4构成的层(2a)形成得厚于由上述Fe2O3或上述尖晶石结构氧化物构成的层(2b),其中,M是除Fe以外的金属元素。
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公开(公告)号:CN100503244C
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200410042697.5
申请日:2004-05-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: C04B35/472 , B41J2/14233 , C04B2235/3206 , C04B2235/3213 , C04B2235/3227 , C04B2235/3262 , C04B2235/787 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供一种压电元件及其制造方法、有该压电元件的喷墨头、喷墨式记录装置及角速度传感器。压电元件具备第一电极膜(2);压电体层叠膜(10),由形成于第一电极膜(2)上的第一压电体膜(3)、和形成于该第一压电体膜(3)上且由其来控制结晶取向性的第二压电体膜(4)构成;和形成于第二压电体膜(4)上的第二电极膜(5)。第一和第二压电体膜(3、4)是结晶生长方向从压电体层叠膜(10)的厚度方向一侧指向另一侧的柱状粒子的集合体。第二压电体膜(4)的柱状粒子的截面直径比第一压电体膜(3)的柱状粒子的截面直径大。压电体层叠膜(10)的厚度l与第二压电体膜(4)的截面直径d的比l/d为20以上、60以下。
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公开(公告)号:CN1692504A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200380100562.3
申请日:2003-12-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明涉及热电器件及其制造方法与红外线传感器,在基板上,按照如下顺序,依次形成:由包含从Ti、Co、Ni、Mg、Fe、Ca、Sr、Mn、Ba、Al及它们的氧化物群中选择的至少一种添加物的贵金属构成的第1电极层;厚度为0.5~5μm、化学成分是用分子式(Pb(1-y)Lay)Ti(1-y/4)O3(0<y≤0.2=或(Pb(1-y)Lay)(ZrxTi(1-x))(1-y/4)O3(0<x≤0.2或0.55≤x<0.8、0<y≤0.2)表示的钙钛矿型结晶构造的热电体层;以及,第2电极层形成,作成热电器件。
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公开(公告)号:CN1237701A
公开(公告)日:1999-12-08
申请号:CN99107154.9
申请日:1999-06-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 一种小型高性能的红外线检测元件及其制造方法。该红外线检测元件具有配置于同一基板上的、从由热电型红外线检测部、电阻变化型红外线检部及介电常数变化型红外线检测部组成的一组检测部中选出的至少2种红外线检测部。
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公开(公告)号:CN103250253B
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201280004090.0
申请日:2012-10-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: H01L45/1253 , H01L27/101 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/08 , H01L45/146 , H01L45/16 , H01L45/1625
Abstract: 提供一种非易失性半导体存储装置,具备减小了构成电阻变化元件的下部电极和电阻变化层之间的寄生电阻的电阻变化元件。该非易失性半导体存储装置具备:基板(201);以及电阻变化元件(208),形成于基板(201)上;电阻变化元件(208)具有:下部电极层(202),形成于基板(201)上;电阻变化层(203),形成于下部电极层(202)上;以及上部电极层(204),形成于电阻变化层(203)上;下部电极层(202)至少包括:第1导电层(202a);以及第2导电层(202c),形成于第1导电层(202a)上,与电阻变化层(203)相接;在第1导电层(202a)的上表面形成有第1导电层(202a)被氧化而成的层、即氧化变质层(202b)。
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公开(公告)号:CN102292814B
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201080005463.7
申请日:2010-02-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/146 , H01L27/2418 , H01L27/2436 , H01L27/2481 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1273
Abstract: 本发明的非易失性存储元件包括:第一电极(103);第二电极(105);和电阻变化层(104),其位于第一电极(103)与第二电极(105)之间,电阻值根据施加在两个电极(103、105)之间的电信号可逆地变化,该电阻变化层(104)由含有第一钽氧化物的第一钽氧化物层(107)和含有含氧率与第一钽氧化物不同的第二钽氧化物的第二钽氧化物层(108)层叠构成,并且当将第一钽氧化物表示为TaOx时满足0<x<2.5,当将第二钽氧化物表示为TaOy时满足x<y≤2.5,第二电极(105)与第二钽氧化物层(108)接触,并且第二电极(105)由铂和钽构成。
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公开(公告)号:CN101568971B
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN200880001228.5
申请日:2008-09-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , G11C7/1006 , G11C13/0007 , G11C2013/0076 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79
Abstract: 本发明提供能够在三个以上的能够判别的状态再现性较好地写入,并且各个状态是十分稳定的状态,使作为多值的非易失性存储元件稳定地动作的非易失性存储元件和非易失性半导体存储装置以及它们的读出方法和写入方法。非易失性存储元件(101)中,设置在第一电极(111)和第二电极(113)之间的可变电阻层(112)以包含4族、5族、或6族的金属元件的氧化物的方式构成,在特定的电压的电脉冲被施加在第一电极(111)与第二电极(113)之间的情况下,得到其电阻值为高电阻值RH的第一高电阻状态和第二高电阻状态,以及其电阻值为低电阻值RL的低电阻状态中的某一种状态。
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公开(公告)号:CN101836296B
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN200980100763.0
申请日:2009-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/147 , G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 电阻变化型非易失性存储装置包括半导体基板(301);电阻变化元件(309),由下部电极(309a)、上部电极(309c)以及电阻变化层(309b)构成,在所述电阻变化层中通过施加到两极之间的极性不同的电压信号,电阻值可逆地变化;以及N型MOS晶体管(317),构成于半导体基板(301)的主面;电阻变化层(309b)具有与下部电极(309a)相接的组成为MOx的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-1)、与上部电极(309c)相接的组成为MOy的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-2),其中x<y;将在使电阻变化层(309b)成为高电阻的电压信号被施加时成为晶体管(317)的漏极的N型扩散层区域(302b)与下部电极(309a)连接来构成存储器单元(300)。
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公开(公告)号:CN101981695B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200980111679.9
申请日:2009-07-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1273 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1641
Abstract: 本发明提供一种电阻变化元件及其制造方法,该电阻变化元件的特征在于,包括:第一电极(103);第二电极(107);以及,设置成介于第一电极(103)和第二电极(107)之间,并与第一电极(103)和第二电极(107)相接,能够基于施加在第一电极(103)和第二电极(107)之间的极性不同的电信号产生可逆变化的电阻变化层,其中,电阻变化层由氧不足型过渡金属氧化物层构成,第二电极(107)由具有微小突起(108)的铂构成。
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