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公开(公告)号：CN206494724U
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201621103386.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G02B26/0858 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L5/00 , G02B26/085 , G02B26/101 , G02B26/105 , G06F3/0423 , H01L41/09 , H03H9/02275 , H04N5/225
Abstract: 一种MEMS器件(40)，具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器由第一和第二传感器元件形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂上。还提供一种MEMS微镜系统和一种MEMS微小投影仪。
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公开(公告)号：CN205910411U
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201620660312.X
申请日：2016-06-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G02B26/105 , B81B3/0048 , B81B3/0083 , B81B2201/042 , G02B26/0858 , H04N9/3173
Abstract: 本实用新型公开了一种微机械设备及微型投影机。其中，微机械设备包括能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构。可倾斜结构通过压电型的致动结构被耦合到固定结构。致动结构由具有螺旋形状的弹簧元件形成。每个弹簧元件包括横向于第一旋转轴线延伸的致动臂。每个致动臂承载压电材料的相应压电带。致动臂被分开为两组，使得其压电带处于相反相位而被偏压以获得在围绕第一旋转轴线的可倾斜结构的相反方向中的旋转。
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公开(公告)号：CN218181210U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202221222220.5
申请日：2022-05-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜器件和光电系统。一种微机电反射镜器件，包括半导体材料管芯，包括：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载反射区域并且弹性地悬置在腔体上方，可倾斜结构具有在水平平面中的主延伸部；至少一个第一对驱动臂，被耦接至可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域；弹性悬置元件，被配置为在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦接至固定结构；压阻传感器，被配置为提供指示可倾斜结构围绕旋转轴的旋转的检测信号；以及至少一个测试结构，被集成在管芯中。利用本公开的实施例，有利地允许利用压电致动和反射镜致动的压阻感测的优点，同时相对于已知解决方案具有改进的机械和电气性能。
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公开(公告)号：CN218099782U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202220989120.9
申请日：2022-04-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电反射镜器件和微型投影仪设备。微机电反射镜器件包括限定腔的固定结构、弹性地悬置在腔上方并且承载反射表面并且具有在水平平面中的主延伸的可倾斜结构。第一对驱动臂弹性地耦接到可倾斜结构，并且承载相应的压电材料区域，该压电材料区域被偏置以引起可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一水平轴线的第一旋转轴线旋转。在第一旋转轴线处将可倾斜结构耦接到固定结构的弹性悬置元件相对于离开水平平面的移动是刚性的且相对于围绕第一旋转轴线的扭转是柔性的，还在可倾斜结构和固定结构之间延伸。弹性悬置元件沿第一旋转轴线在可倾斜结构的相对侧具有不对称的布置方式。本实用新型的实施例提供了张角增大的微机电器件。
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公开(公告)号：CN217639747U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202122376235.9
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电系统MEMS镜器件和便携式电子装置。微机电镜器件包括半导体材料的支撑框架和半导体材料板。板被连接到支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向。反射层被布置在板的第一区域上。压电致动结构在板的、相邻于反射层的第二区域上延伸。压电致动结构被配置为施加力来诸如修改板的曲率。本实用新型的实施例提供了MEMS镜器件的改进，例如消除或减少镜结构中的板的变形并且改进板的平面度。
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公开(公告)号：CN221101146U
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202321872022.8
申请日：2023-07-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统反射镜器件。本文公开了一种微机电反射镜器件，其具有：固定结构，限定对腔进行界定的外部框架；可倾斜结构，延伸到腔中；反射表面，由可倾斜结构承载，并且在水平平面中具有主延伸部；以及致动结构，被耦合在可倾斜结构和固定结构之间。致动结构由第一致动臂对形成，使得可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一轴旋转。致动臂借助弹性耦合元件而弹性耦合到可倾斜结构，并且各自由轴承结构和压电结构形成。每个致动臂的轴承结构由第一材料的软区域形成，并且弹性耦合元件由第二材料的轴承层形成，第二材料具有比第一材料更大的刚度。
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公开(公告)号：CN218413054U
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202221030620.6
申请日：2022-04-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置。一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：支撑框架，由半导体材料形成；板，连接到支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；微反射镜，位于板上；悬臂结构，从支撑框架延伸并且耦合到板，使得悬臂结构的弯曲引起板围绕至少一个旋转轴线的旋转；压电致动器，位于悬臂结构上；焊盘，位于支撑框架上；以及间隔件结构，从支撑框架突出得比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多。利用本公开的实施例有利地使总产率提高、并且减少了成本。
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公开(公告)号：CN217230242U
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202122476285.4
申请日：2021-10-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件。一种MEMS器件，包括：半导体材料主体，限定支撑结构；其中贯通式腔体被限定在半导体材料主体中并且由支撑结构包围；可移动结构，被悬置在贯通式腔体中；弹性结构，在支撑结构与可移动结构之间在贯通式腔体中延伸，弹性结构包括第一部分和第二部分并且经受机械应力；以及金属区域，在弹性结构的第一部分上延伸；其中弹性结构具有被限定在其中的掩埋腔体；以及其中掩埋腔体在弹性结构的第一部分与第二部分之间延伸。利用本公开的实施例有利地实现在可移动结构的旋转期间，导电轨不太会经受分层和/或破坏的风险，因此MEMS微反射镜具有改善的可靠性。
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公开(公告)号：CN212334582U
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201922237308.9
申请日：2019-12-13
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电设备和微型投影仪装置。一种微机电设备，包括固定结构，该固定结构限定具有可倾斜结构的腔，该可倾斜结构被弹性地悬挂在该腔中。压电驱动的致动结构，被插入在可倾斜结构和固定结构之间，其被偏置，以用于使可倾斜结构围绕第一旋转轴旋转，该第一旋转轴属于可倾斜结构所在的水平平面。致动结构包括一对驱动臂，该一对驱动臂承载压电材料的相应区域，并且通过相应的弹性解耦元件，在第一旋转轴的相对侧上弹性地耦合到该可倾斜结构。弹性解耦元件关于离开水平平面的运动表现出刚性，并且关于绕第一旋转轴的扭转表现出顺应性。根据本公开的实施例的，可以获得改进的机械性能和电气性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN219916077U
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202320769023.3
申请日：2023-04-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对驱动臂中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
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