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公开(公告)号：CN114314494A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111142520.2
申请日：2021-09-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , B81B7/02 , H01L41/083 , B81C1/00
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善电特性的薄膜压电微机电结构及相应的制造工艺。一种压电微机电结构，设置有压电堆叠，压电堆叠具有位于水平平面内的主延伸，和位于横向于水平平面的平面内的变化的截面。所述堆叠由底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区形成。由于变化的截面，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且在第二区域具有沿同一竖直轴线的第二厚度。第二厚度小于第一厚度。第一区域和第二区域的结构可以分别形成压电检测器和压电致动器。
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公开(公告)号：CN112971208A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011484016.6
申请日：2020-12-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种具有多个喷出腔的微流体分配装置。该微流体分配装置具有按照顺序布置的多个腔，每个腔具有接收待被分配的液体的入口以及用于喷出液滴的喷嘴。每个腔中的致动器接收致动量，并使液滴由相应腔的喷嘴喷出。每个腔中的液滴喷出检测元件在检测到液滴喷出时生成致动命令。一种顺序激活电路，包括多个顺序激活元件，每个腔一个顺序激活元件，每个顺序激活元件耦合到相应腔的液滴喷出检测元件，以及耦合到与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。每个顺序激活元件从与相应腔相关联的液滴喷出检测元件接收致动命令，并激活与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。
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公开(公告)号：CN111987213A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010444097.0
申请日：2020-05-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/29 , B05B17/06
Abstract: 本公开的实施例涉及堆叠式压电换能器的制造方法以及压电换能器。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。
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公开(公告)号：CN115268059A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210472853.X
申请日：2022-04-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及制造微机电反射镜器件的方法和微机电反射镜器件。一种用于制造微机电反射镜器件的工艺，包括：在半导体晶片中，限定支撑框架、连接到所述支撑框架以便可围绕至少一个旋转轴线定向的板、以及从所述支撑框架延伸并耦合到所述板的悬臂结构，使得所述悬臂结构的弯曲引起所述板围绕所述至少一个旋转轴线的旋转。该工艺还包括在悬臂结构上形成压电致动器，在支撑框架上形成焊盘，以及形成比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多地从支撑框架突出的间隔件结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209338108U
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201821256823.0
申请日：2018-08-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本申请涉及MEMS器件和自动聚焦系统。MEMS器件包括具有第一腔体的半导体支撑体，包括固定到支撑体的周边部分和悬置部分的膜。第一可变形结构与膜的悬置部分的中心部分相隔一段距离，并且第二可变形结构朝向膜的周边部分而相对于第一可变形结构横向偏移。将突出区域固定在膜下方。第二可变形结构是可变形的，以便沿第一方向平移膜的悬置部分的中心部分，并且第一可变形结构是可变形的，以便沿第二方向平移膜的悬置部分的中心部分。由此提供改进的MEMS器件和自动聚焦系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN218413054U
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202221030620.6
申请日：2022-04-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置。一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：支撑框架，由半导体材料形成；板，连接到支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；微反射镜，位于板上；悬臂结构，从支撑框架延伸并且耦合到板，使得悬臂结构的弯曲引起板围绕至少一个旋转轴线的旋转；压电致动器，位于悬臂结构上；焊盘，位于支撑框架上；以及间隔件结构，从支撑框架突出得比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多。利用本公开的实施例有利地使总产率提高、并且减少了成本。
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公开(公告)号：CN212182361U
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202020878400.3
申请日：2020-05-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/29 , B05B17/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。通过所公开的实施例，可以有利地避免对顶部电极的完整性的破坏，而且可以避免压电元件经受不期望的热预算。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216512849U
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202122361296.8
申请日：2021-09-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , B81B7/02 , H01L41/083 , B81C1/00
Abstract: 本公开的实施例涉及压电微机电结构。一种压电微机电结构，包括：压电堆叠，具有在水平平面中的主延伸，以及在横向于水平平面的平面中的变化的截面厚度；其中，压电堆叠由以下项的堆叠布置形成：底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区；其中，由于变化的截面厚度，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且压电材料区在第二区域具有沿竖直轴线的第二厚度，第二厚度小于第一厚度。利用本公开的实施例有利地实现压电致动和压电检测两个方面的压电性能改善。
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公开(公告)号：CN215819880U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202023020656.X
申请日：2020-12-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种微流体分配装置。该微流体分配装置具有按照顺序布置的多个腔，每个腔具有接收待被分配的液体的入口以及用于喷出液滴的喷嘴。每个腔中的致动器接收致动量，并使液滴由相应腔的喷嘴喷出。每个腔中的液滴喷出检测元件在检测到液滴喷出时生成致动命令。一种顺序激活电路，包括多个顺序激活元件，每个腔一个顺序激活元件，每个顺序激活元件耦合到相应腔的液滴喷出检测元件，以及耦合到与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。每个顺序激活元件从与相应腔相关联的液滴喷出检测元件接收致动命令，并激活与一系列腔中的后续腔相关联的致动器。通过本公开的实施例，可以例如减小集成区域总体尺寸并且降低成本。
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