-
公开(公告)号：CN115924836A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211091227.2
申请日：2022-09-07
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B5/00
Abstract: 本公开涉及MEMS致动器及其制造工艺。一种MEMS致动器，包括具有第一表面的半导体主体，所述第一表面限定面向所述第一表面并具有底表面的壳腔，所述半导体主体还限定所述半导体主体中的流体通道，所述流体通道具有横跨所述底表面的第一端。可应变结构延伸到壳体腔中，在底表面处耦合到半导体主体，并且限定面向流体通道的第一端的内部空间，并且包括彼此连接并且连接到流体通道的至少第一和第二内部子空间。当流体被泵送通过流体通道进入内部空间时，第一和第二内部子空间膨胀，从而沿第一轴线使可应变结构发生应变，并生成由可应变结构沿第一轴线在相对于壳体腔的相对方向上施加的致动力。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113620233A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110492170.6
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: MEMS致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。
-
公开(公告)号：CN111987213A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010444097.0
申请日：2020-05-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/29 , B05B17/06
Abstract: 本公开的实施例涉及堆叠式压电换能器的制造方法以及压电换能器。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。
-
公开(公告)号：CN212182361U
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202020878400.3
申请日：2020-05-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/29 , B05B17/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。通过所公开的实施例，可以有利地避免对顶部电极的完整性的破坏，而且可以避免压电元件经受不期望的热预算。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN219409258U
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202222377168.7
申请日：2022-09-07
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B5/00
Abstract: 本公开涉及MEMS致动器以及包括该MEMS致动器的器件。一种MEMS致动器，包括具有第一表面的半导体主体，第一表面限定面向第一表面并具有底表面的壳腔，半导体主体还限定半导体主体中的流体通道，流体通道具有横跨底表面的第一端。可应变结构延伸到壳体腔中，在底表面处耦合到半导体主体，并且限定面向流体通道的第一端的内部空间，并且包括彼此连接并且连接到流体通道的至少第一和第二内部子空间。当流体被泵送通过流体通道进入内部空间时，第一和第二内部子空间膨胀，从而沿第一轴线使可应变结构发生应变，并生成由可应变结构沿第一轴线在相对于壳体腔的相对方向上施加的致动力。利用本公开的实施例的MEMS致动器获得更大的伸长和致动力。
-
公开(公告)号：CN217323375U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202120950316.2
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电结构致动器以及微流体阀。微机电结构致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。压电电阻器是在存在机械应力的情况下经历电阻变化并且因此允许通过电压或电流检测来检测可变形结构的变形的设备。然而，该检测是主动检测，并且因此意味着具有高能耗的电流的通过。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.021 seconds)
