公开(公告)号：CN114314494A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111142520.2

申请日：2021-09-28

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·朱斯蒂 ,  I·马蒂尼 ,  D·阿斯萨内利 ,  P·费拉里尼 ,  C·L·佩瑞里尼 ,  F·夸利亚

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  H01L41/083 ,  B81C1/00

Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善电特性的薄膜压电微机电结构及相应的制造工艺。一种压电微机电结构，设置有压电堆叠，压电堆叠具有位于水平平面内的主延伸，和位于横向于水平平面的平面内的变化的截面。所述堆叠由底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区形成。由于变化的截面，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且在第二区域具有沿同一竖直轴线的第二厚度。第二厚度小于第一厚度。第一区域和第二区域的结构可以分别形成压电检测器和压电致动器。

公开(公告)号：CN111987213A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010444097.0

申请日：2020-05-22

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·阿斯萨内利 ,  I·马蒂尼 ,  L·文奇盖拉 ,  C·M·拉扎里 ,  P·费拉里尼

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/29 ,  B05B17/06

Abstract: 本公开的实施例涉及堆叠式压电换能器的制造方法以及压电换能器。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。

公开(公告)号：CN212182361U

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202020878400.3

申请日：2020-05-22

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·阿斯萨内利 ,  I·马蒂尼 ,  L·文奇盖拉 ,  C·M·拉扎里 ,  P·费拉里尼

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/29 ,  B05B17/06

Abstract: 本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。通过所公开的实施例，可以有利地避免对顶部电极的完整性的破坏，而且可以避免压电元件经受不期望的热预算。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN216512849U

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202122361296.8

申请日：2021-09-28

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·朱斯蒂 ,  I·马蒂尼 ,  D·阿斯萨内利 ,  P·费拉里尼 ,  C·L·佩瑞里尼 ,  F·夸利亚

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  H01L41/083 ,  B81C1/00

Abstract: 本公开的实施例涉及压电微机电结构。一种压电微机电结构，包括：压电堆叠，具有在水平平面中的主延伸，以及在横向于水平平面的平面中的变化的截面厚度；其中，压电堆叠由以下项的堆叠布置形成：底电极区，布置在底电极区上的压电材料区，以及布置在压电材料区上的顶电极区；其中，由于变化的截面厚度，压电材料区在第一区域具有沿横向于水平平面的竖直轴线的第一厚度，并且压电材料区在第二区域具有沿竖直轴线的第二厚度，第二厚度小于第一厚度。利用本公开的实施例有利地实现压电致动和压电检测两个方面的压电性能改善。