-
公开(公告)号：CN115231507B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202210430311.6
申请日：2022-04-22
Applicant: 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有分时致动和感测电路装置的基于压电的MEMS器件。MEMS器件包括旋转体和机械耦联至旋转体的第一压电致动器。第一压电致动器电耦合在第一信号节点与公共电压节点之间。第二压电致动器机械耦联至旋转体，并且电耦合在第二信号节点与公共电压节点之间。控制电路装置包括：驱动电路，被配置为驱动第一压电致动器和第二压电致动器；感测电路，被配置为处理由第一压电致动器和第二压电致动器生成的感测信号；以及多路复用电路。多路复用电路被配置为在将驱动电路连接至第一压电致动器的同时将感测电路连接至第二压电致动器与在将驱动电路连接至第二压电致动器的同时将感测电路连接至第一压电致动器之间交替。
-
公开(公告)号：CN115373134A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210555109.6
申请日：2022-05-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及有自校准特性的压电致动和压阻感测的微机电反射镜器件。微机电反射镜器件在半导体材料管芯中具有：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载弹性悬置在所述腔体上方的反射区域；至少一个第一对驱动臂，耦接至所述可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域，所述压电材料区域可以被偏置以使其围绕至少一个旋转轴旋转；弹性悬置元件，将所述可倾斜结构弹性地耦接至所述固定结构，并且相对于离开所述水平平面的移动是刚性的并且对于扭转是屈服性的；以及压阻传感器，被配置为提供指示所述可倾斜结构的所述旋转的检测信号。至少一个测试结构被集成在所述管芯中，以提供指示所述压阻传感器的灵敏度变化的校准信号以校准所述检测信号。
-
公开(公告)号：CN115231507A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210430311.6
申请日：2022-04-22
Applicant: 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有分时致动和感测电路装置的基于压电的MEMS器件。MEMS器件包括旋转体和机械耦联至旋转体的第一压电致动器。第一压电致动器电耦合在第一信号节点与公共电压节点之间。第二压电致动器机械耦联至旋转体，并且电耦合在第二信号节点与公共电压节点之间。控制电路装置包括：驱动电路，被配置为驱动第一压电致动器和第二压电致动器；感测电路，被配置为处理由第一压电致动器和第二压电致动器生成的感测信号；以及多路复用电路。多路复用电路被配置为在将驱动电路连接至第一压电致动器的同时将感测电路连接至第二压电致动器与在将驱动电路连接至第二压电致动器的同时将感测电路连接至第一压电致动器之间交替。
-
公开(公告)号：CN218181210U
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202221222220.5
申请日：2022-05-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电反射镜器件和光电系统。一种微机电反射镜器件，包括半导体材料管芯，包括：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载反射区域并且弹性地悬置在腔体上方，可倾斜结构具有在水平平面中的主延伸部；至少一个第一对驱动臂，被耦接至可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域；弹性悬置元件，被配置为在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦接至固定结构；压阻传感器，被配置为提供指示可倾斜结构围绕旋转轴的旋转的检测信号；以及至少一个测试结构，被集成在管芯中。利用本公开的实施例，有利地允许利用压电致动和反射镜致动的压阻感测的优点，同时相对于已知解决方案具有改进的机械和电气性能。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.025 seconds)
