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公开(公告)号：CN115231507B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202210430311.6
申请日：2022-04-22
Applicant: 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有分时致动和感测电路装置的基于压电的MEMS器件。MEMS器件包括旋转体和机械耦联至旋转体的第一压电致动器。第一压电致动器电耦合在第一信号节点与公共电压节点之间。第二压电致动器机械耦联至旋转体，并且电耦合在第二信号节点与公共电压节点之间。控制电路装置包括：驱动电路，被配置为驱动第一压电致动器和第二压电致动器；感测电路，被配置为处理由第一压电致动器和第二压电致动器生成的感测信号；以及多路复用电路。多路复用电路被配置为在将驱动电路连接至第一压电致动器的同时将感测电路连接至第二压电致动器与在将驱动电路连接至第二压电致动器的同时将感测电路连接至第一压电致动器之间交替。
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公开(公告)号：CN115231507A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210430311.6
申请日：2022-04-22
Applicant: 意法半导体有限公司 , 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有分时致动和感测电路装置的基于压电的MEMS器件。MEMS器件包括旋转体和机械耦联至旋转体的第一压电致动器。第一压电致动器电耦合在第一信号节点与公共电压节点之间。第二压电致动器机械耦联至旋转体，并且电耦合在第二信号节点与公共电压节点之间。控制电路装置包括：驱动电路，被配置为驱动第一压电致动器和第二压电致动器；感测电路，被配置为处理由第一压电致动器和第二压电致动器生成的感测信号；以及多路复用电路。多路复用电路被配置为在将驱动电路连接至第一压电致动器的同时将感测电路连接至第二压电致动器与在将驱动电路连接至第二压电致动器的同时将感测电路连接至第一压电致动器之间交替。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113259639B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202110184818.3
申请日：2021-02-10
Applicant: 意法半导体有限公司
Abstract: 实施例公开了MEMS投影仪慢轴反射镜与输入视频帧速率的同步。一种系统，包括反射镜控制器，该反射镜控制器用快轴驱动信号和慢轴驱动信号驱动投影仪的快轴反射镜和慢轴反射镜，以将准直光束以扫描图案反射到目标上。扫描图案包括迹线和回扫线，迹线使得在目标上显示输入视频流，回扫线操作以使慢轴反射镜返回到适当位置以开始扫描图案的下一帧。生成慢轴驱动信号以使扫描图案的每一帧中的迹线的数目在各帧之间保持恒定，但是修改慢轴驱动信号以通过逐帧地以非整数的数目改变扫描图案的每一帧中的回扫线的数目来将显示视频的相位和频率锁定到输入视频流的相位和频率。
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公开(公告)号：CN113259639A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110184818.3
申请日：2021-02-10
Applicant: 意法半导体有限公司
Abstract: 实施例公开了MEMS投影仪慢轴反射镜与输入视频帧速率的同步。一种系统，包括反射镜控制器，该反射镜控制器用快轴驱动信号和慢轴驱动信号驱动投影仪的快轴反射镜和慢轴反射镜，以将准直光束以扫描图案反射到目标上。扫描图案包括迹线和回扫线，迹线使得在目标上显示输入视频流，回扫线操作以使慢轴反射镜返回到适当位置以开始扫描图案的下一帧。生成慢轴驱动信号以使扫描图案的每一帧中的迹线的数目在各帧之间保持恒定，但是修改慢轴驱动信号以通过逐帧地以非整数的数目改变扫描图案的每一帧中的回扫线的数目来将显示视频的相位和频率锁定到输入视频流的相位和频率。
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公开(公告)号：CN112399159A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202010814761.6
申请日：2020-08-13
Applicant: 意法半导体有限公司
IPC: H04N9/31
Abstract: 本公开的各实施例涉及利用单个频率来驱动多谐振MEMS镜。控制电路包括第一控制电路，第一控制电路根据预驱动信号(即，第一镜和第二镜的开度角相等的频率)而针对第一镜生成第一驱动控制信号。第二控制电路根据预驱动信号而针对第二镜生成第二驱动控制信号。第一驱动器和第二驱动器根据第一驱动控制信号和第二驱动控制信号，针对第一镜和第二镜生成第一驱动信号和第二驱动信号。第一驱动控制信号和第二驱动控制信号被生成为使得第一驱动信号和第二驱动信号各自具有与预驱动信号相同的频率，但是在振幅上彼此不同，以使得第一镜和第二镜在相同的频率处、以彼此相同且基本恒定的给定开度角、并且彼此同相地移动。
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公开(公告)号：CN112399159B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202010814761.6
申请日：2020-08-13
Applicant: 意法半导体有限公司
IPC: H04N9/31
Abstract: 本公开的各实施例涉及利用单个频率来驱动多谐振MEMS镜。控制电路包括第一控制电路，第一控制电路根据预驱动信号(即，第一镜和第二镜的开度角相等的频率)而针对第一镜生成第一驱动控制信号。第二控制电路根据预驱动信号而针对第二镜生成第二驱动控制信号。第一驱动器和第二驱动器根据第一驱动控制信号和第二驱动控制信号，针对第一镜和第二镜生成第一驱动信号和第二驱动信号。第一驱动控制信号和第二驱动控制信号被生成为使得第一驱动信号和第二驱动信号各自具有与预驱动信号相同的频率，但是在振幅上彼此不同，以使得第一镜和第二镜在相同的频率处、以彼此相同且基本恒定的给定开度角、并且彼此同相地移动。
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公开(公告)号：CN212752483U
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202021686254.0
申请日：2020-08-13
Applicant: 意法半导体有限公司
IPC: H04N9/31
Abstract: 本公开的各实施例涉及投影仪和驱动第一可移动镜和第二可移动镜的控制电路。控制电路包括第一控制电路，第一控制电路根据预驱动信号而针对第一镜生成第一驱动控制信号。第二控制电路根据预驱动信号而针对第二镜生成第二驱动控制信号。第一驱动器和第二驱动器根据第一驱动控制信号和第二驱动控制信号，针对第一镜和第二镜生成第一驱动信号和第二驱动信号。第一驱动控制信号和第二驱动控制信号被生成为使得第一驱动信号和第二驱动信号各自具有与预驱动信号相同的频率，但是在振幅上彼此不同，以使得第一镜和第二镜在相同的频率处、以彼此相同且基本恒定的给定开度角、并且彼此同相地移动。根据实施例，实现了相同的开度角，减少相位失准。
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