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公开(公告)号：CN117594374A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311002468.X
申请日：2023-08-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： F·韦尔切西 , G·加特瑞 , G·阿勒加托 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , A·达内伊
Abstract: 一种微机电按钮器件设置有检测结构，检测结构具有：具有前表面和后表面的半导体材料的衬底；被布置在衬底上的掩埋电极；被布置在结构层中的移动电极，移动电极覆盖在衬底上并且以分离距离弹性地悬置在掩埋电极上方以形成检测电容器；以及帽，帽耦合在结构层之上并且具有面对结构层的第一主表面和第二主表面，帽被设计为机械耦合到便携式或可佩戴型电子装置的外壳的可变形部分。帽在其第一主表面上具有致动部分，致动部分被布置在移动电极上并且被配置为在施加在第二主表面上的压力存在的情况下引起移动电极向掩埋电极的偏转和接近，从而引起检测电容器的电容变化，电容变化指示微机电按钮器件的致动。
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公开(公告)号：CN117330042A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310794367.4
申请日：2023-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有增强的抗振鲁棒性和减小的尺寸的MEMS陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。
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公开(公告)号：CN116553470A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310074280.X
申请日：2023-02-07
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及对拉入有弹性的长冲程MEMS致动器和包括致动器的电子系统。MEMS致动器，包括：衬底；第一半导体层和第二半导体层；框架，其包括由第二半导体层形成的横向区域，平行于第一方向伸长并且沿第二方向偏移，框架可平行于第二方向移动。MEMS致动器包括，针对每个横向区域：对应的前转子区域，其被固定到横向区域并且被悬置在衬底上方；第一定子区域和第二定子区域，其由第一半导体层形成，使得当框架处于静止位置时，横向区域相对于第一定子区域和第二定子区域侧向偏移，并且第一前转子区域部分地面对第一定子区域，并且使得在框架沿第二方向平移期间，当横向区域开始叠加在第一定子区域上时，第一前转子区域和/或第二前转子区域至少部分地面对第二定子区域。
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公开(公告)号：CN112114163B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202010570953.7
申请日：2020-06-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦结束检测量，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。
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公开(公告)号：CN115900677A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211031957.3
申请日：2022-08-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本公开的实施例涉及一种用于校正陀螺仪解调相位漂移的方法。陀螺仪传感器单元在输出正交测试信号期间检测解调输出信号和解调信号之间的相位漂移。延迟计算器基于在正交测试信号的施加期间的解调输出信号中的变化来检测相位漂移。延迟补偿电路通过将解调信号延迟相位漂移值来补偿相位漂移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115808542A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211115999.5
申请日：2022-09-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/097
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改进的性能的检测结构的Z轴线谐振加速度计。检测结构包括惯性质量块，惯性质量块悬置在衬底上方，并且具有提供在惯性质量块并且在惯性质量块的整个厚度上穿过它的窗口。惯性质量块通过扭转类型的第一锚定弹性元件和第二锚定弹性元件耦合到主锚定件，主锚定件布置在窗口中，并且与衬底一体。检测结构还包括具有纵向延伸的至少第一谐振元件，第一谐振元件耦合在第一弹性元件和布置在窗口中的第一约束元件之间。第一约束元件悬置在衬底上方，通过第一辅助锚定元件固定地耦合到衬底，第一辅助锚定元件在具有纵向延伸的第一谐振元件下方延伸，并且一体地耦合在第一约束元件和主锚定件之间。
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公开(公告)号：CN115083847A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210254048.X
申请日：2022-03-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及防水MEMS按钮装置、封装外壳、以及制造按钮装置的方法。一种按钮装置包括：固定支撑结构；被上述支撑结构横向包围并且被配置为在外力的作用下至少部分变形的可移动结构；以及不透水的保护帽。可移动结构包括活塞元件、其上布置有压电换能器的可变形元件、以及将活塞元件耦合到可变形元件的锚固件元件。当外力作用在活塞元件上时，锚固件元件将该力传递给可变形元件和压电换能器，从而感测该力的大小。
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公开(公告)号：CN111212370B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201911143036.4
申请日：2019-11-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。
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公开(公告)号：CN114113679A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110863147.3
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件各具有相应第一端部和相应第二端部，第一端部被固定到支撑结构。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。MEMS加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构，将第一移动质量块和第二移动质量块弹性地耦合。
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公开(公告)号：CN114062714A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110901931.9
申请日：2021-08-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件。一种微机电传感器器件具有检测结构，检测结构包括：基底，具有第一表面；移动结构，具有在第一表面的第一区域处悬置于基底上方的惯性质量块，以便相对于基底执行至少一个惯性移动；以及固定结构，具有在第一区域处悬置于基底上方的固定电极并且与移动结构一起限定出电容耦合部以形成至少一个感测电容器。器件还包括：单个整体式机械锚固件结构，定位于第一表面的与第一区域分离的第二区域处并且耦合至移动结构、固定结构和基底；以及连接元件，将移动结构和固定结构机械耦合至单个机械锚固件结构。
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