公开(公告)号：CN117538564A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202310986140.X

申请日：2023-08-07

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·加特瑞 ,  J·M·达马宁 ,  F·里奇尼

IPC: G01P15/125

Abstract: 本公开的实施例涉及具有有源偏移补偿的微机电传感器装置设备。一种具有感测结构的微机电传感器设备，具有：衬底；惯性质量件，被悬置在衬底之上，并且通过弹性耦合元件被弹性耦合到转子锚固结构，以执行由于待感测量而引起的至少一次惯性移动；第一感测电极，被整体地耦合到惯性质量件，以能够由于惯性移动而移动；以及第二感测电极，相对于待感测量而被固定，面向第一感测电极并且电容耦合到第一感测电极以形成具有指示待感测量的值的感测电容。第二感测电极以悬置方式被布置在衬底之上；以及补偿结构，被配置为将第二感测电极相对于第一感测电极移动，并且在没有待感测量的情况下，改变第二感测电极和第一感测电极之间的面对距离，以便补偿感测结构的本体偏移。

公开(公告)号：CN109444466B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201810996348.9

申请日：2018-08-29

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  F·里奇尼 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  G·兰格弗尔德 ,  C·R·马拉

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。

公开(公告)号：CN116027065A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211305845.2

申请日：2022-10-24

Applicant: 意法半导体股份有限公司 ,  意法半导体公司

Inventor： M·加巴里诺 ,  D·乔伊 ,  F·里奇尼 ,  Y·胡

IPC: G01P21/00

Abstract: 本公开涉及使用可变激励电压和固定定时的MEMS加速度计自测试。一种微机电系统(MEMS)加速度计传感器具有移动质量块和感测电容器。为了对传感器进行自测试，将具有可变受控激励电压和固定脉冲宽度的测试信号施加到感测电容器。测试信号的前沿和后沿被对齐，以与耦合至感测电容器的感测电路的重置阶段一致。测试信号的可变受控激励电压被配置为产生静电力，该静电力产生移动质量块的期望物理位移。在感测电路的读取阶段期间，由于移动质量块的实际物理位移而产生的感测电容器的电容变化被感测，以与期望物理位移进行比较。

公开(公告)号：CN112114163B

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202010570953.7

申请日：2020-06-19

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·加特瑞 ,  F·里奇尼 ,  A·托齐奥

IPC: G01P15/125

Abstract: 本公开的实施例涉及具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦结束检测量，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。

公开(公告)号：CN114062714A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110901931.9

申请日：2021-08-06

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： F·里奇尼 ,  C·瓦尔扎西纳 ,  G·加特瑞

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本公开的实施例涉及具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件。一种微机电传感器器件具有检测结构，检测结构包括：基底，具有第一表面；移动结构，具有在第一表面的第一区域处悬置于基底上方的惯性质量块，以便相对于基底执行至少一个惯性移动；以及固定结构，具有在第一区域处悬置于基底上方的固定电极并且与移动结构一起限定出电容耦合部以形成至少一个感测电容器。器件还包括：单个整体式机械锚固件结构，定位于第一表面的与第一区域分离的第二区域处并且耦合至移动结构、固定结构和基底；以及连接元件，将移动结构和固定结构机械耦合至单个机械锚固件结构。

公开(公告)号：CN109444466A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201810996348.9

申请日：2018-08-29

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  F·里奇尼 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  G·兰格弗尔德 ,  C·R·马拉

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。

公开(公告)号：CN113375635A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110208300.9

申请日：2021-02-24

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： G·加特瑞 ,  F·里奇尼

IPC: G01C9/00 ,  G01C9/02 ,  G01C25/00

Abstract: 一种具有减小的振动校正误差的MEMS测斜仪。该MEMS测斜仪包括基底、第一移动质量块和传感单元。传感单元包括第二移动质量块、多个弹性元件，弹性元件被插入在第二移动质量块与基底之间并且在与第一轴线平行的方向是柔顺的，以及多个弹性结构，多个弹性结构中的每个弹性结构被插入在第一移动质量块与第二移动质量块之间并且在与第一轴线和第二轴线平行的方向是柔顺的。传感单元进一步包括相对于基底固定的固定电极以及相对于第二移动质量块固定的移动电极，这形成了可变电容器。

公开(公告)号：CN111410167A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202010015562.9

申请日：2020-01-07

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： F·里奇尼 ,  A·托齐奥

IPC: B81B5/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本公开涉及具有优化几何结构以降低辐射效应引起的偏移的MEMS设备。具有跷跷板结构的MEMS设备包括可移动质量块，可移动质量块具有在平面中的面积、以及在垂直于该平面的方向上的厚度。可移动质量块绕平行于该平面延伸的旋转轴是可倾斜的，并且由被布置在旋转轴的相对侧的第一和第二半质量块形成。第一和第二半质量块分别具有第一和第二形心，该第一和第二形心被分别布置在距旋转轴的第一距离b1和第二距离b2处。第一贯穿开口被形成在第一半质量块中，并且连同第一半质量块一起具有在平面中的第一总周长p1。第二贯穿开口被形成在第二半质量块中，并且连同第二半质量块一起具有在平面中的第二总周长p2，其中第一周长p1和第二周长p2满足以下方程：p1×b1＝p2×b2。

公开(公告)号：CN108020686A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201710459112.7

申请日：2017-06-16

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  F·里奇尼

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0845 ,  G01P2015/0848

Abstract: 本发明涉及具有改进配置的MEMS三轴加速度计。一种MEMS三轴加速度计设置有感测结构，感应结构具有：单个惯性质量块，惯性质量块具有在由第一和第二水平轴线限定的水平平面中的主延伸部并且在内部限定了第一窗口，第一窗口沿着与水平平面正交的垂直轴线而横贯惯性质量块的整个厚度；以及悬挂结构，悬挂结构被安排在窗口内以用于将惯性质量块弹性地联接至单个锚固元件，锚固元件相对于衬底被固定并且被安排在窗口内，使得惯性质量块悬挂在衬底上方并且能够通过惯性作用执行在检测到对应的加速度分量之后在与第一、第二和第三水平轴线平行的对应感测方向上的第一、第二和第三感测移动。

公开(公告)号：CN107271721A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710190187.X

申请日：2017-03-27

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  F·里奇尼 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  G·兰格弗尔德

IPC: G01P15/125

Abstract: 公开了高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。