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公开(公告)号：CN109444466A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201810996348.9
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。
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公开(公告)号：CN109444466B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201810996348.9
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。
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公开(公告)号：CN209043927U
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201821403583.2
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及惯性传感器和MEMS器件。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，并偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是第一时间间隔期间的振荡频率的值与第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。由此提供性能改善的惯性传感器和MEMS器件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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