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公开(公告)号：CN118108173A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311603477.4
申请日：2023-11-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B7/02 , B81C99/00 , B81C1/00 , G01C19/5733 , G01C19/5769
Abstract: 一种微机电器件包括：支撑体；至少一个可移动质量块，由半导体材料制成，该至少一个可移动质量块被弹性地约束至支撑体，从而能够振荡；固定检测电极，被刚性地连接至所述支撑体，并且被电容性地耦合至至少一个可移动质量块；以及至少一个测试结构，由半导体材料制成，该至少一个测试结构被刚性地连接至所述支撑体，并且不同于固定检测电极。测试结构被电容性地耦合至至少一个可移动质量块，并且被配置为响应于测试结构与至少一个可移动质量块之间的电压，向至少一个可移动质量块施加静电力。
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公开(公告)号：CN117330042A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310794367.4
申请日：2023-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有增强的抗振鲁棒性和减小的尺寸的MEMS陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。
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公开(公告)号：CN116892917A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310327918.6
申请日：2023-03-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本公开的实施例涉及紧凑型微机电角速率传感器。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。
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公开(公告)号：CN114113679A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110863147.3
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件各具有相应第一端部和相应第二端部，第一端部被固定到支撑结构。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。MEMS加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构，将第一移动质量块和第二移动质量块弹性地耦合。
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公开(公告)号：CN117948955A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311420098.1
申请日：2023-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及具有沿竖直轴线的角速度检测的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116698278A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310174017.8
申请日：2023-02-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01L27/00 , G04G21/02 , H04M1/72409
Abstract: 公开了用于确定大气压校准值的方法以及相关的电子设备。用于确定第一大气压校准值和第二大气压校准值的方法，该方法由电子设备执行，该电子设备包括固定装置和分别包括第一可移动气压计和第二可移动气压计的第一可移动装置和第二可移动装置。该方法包括：确定可移动装置是否正由固定装置感应充电；如果是，则通过可移动气压计获取相应大气压测量值、以及电子设备的公共参考点的大气压参考值，可移动气压计处于相对于公共参考点的相应预定高度差处；根据大气压测量值和大气压参考值来计算相应的压力差；以及当可移动装置未被充电时，通过可移动气压计获取新的大气压测量值，并且根据新的大气压测量值和压力差来确定相应的大气压校准值。
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公开(公告)号：CN116448087A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310041100.8
申请日：2023-01-11
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有面外检测运动的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪设置有检测结构，该检测结构具有：具有平行于水平面的顶表面的衬底；一个可移动质量，该可移动质量被悬置在该衬底上方以根据围绕该水平面的一个第一轴线的一个第一角速度来执行围绕该水平面的一个第二轴线的旋转的至少一个第一检测移动；以及第一定子元件和第二定子元件，所述第一定子元件和所述第二定子元件与所述衬底成一体并且布置在所述移动质量下方以限定电容耦合，所述第一定子元件和所述第二定子元件的电容值表示所述第一角速度。
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公开(公告)号：CN115435777A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210625074.9
申请日：2022-06-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16
Abstract: 本公开的实施例涉及惯性测量电路、对应的装置以及方法。在一个实施例中，一种电路包括：惯性测量单元，被配置为经由由驱动电路装置提供的驱动信号振荡；锁相放大器，被配置为从惯性测量单元接收感测信号和作为驱动信号的函数的参考解调信号，并且基于感测信号提供惯性测量信号，其中参考解调信号受可变相位误差的影响；相位计电路装置，被配置为接收驱动信号和感测信号，并且作为驱动信号和感测信号之间的相位差的函数来提供；用于所述参考解调信号的相位校正信号和校正节点，所述校正节点被配置为将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，使得响应于将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，所述相位误差被保持在参考值附近。
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公开(公告)号：CN115385297A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210572155.7
申请日：2022-05-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及制造电子器件的方法以及对应的电子器件。微机电器件包括衬底，第一结构层和半导体材料的第二结构层。感测质量块在第一结构层中延伸，并且通过第一弹性连接件耦合到衬底，以使得感测质量块能够在垂直于衬底的感测方向上相对于感测质量块的静止位置振荡最大量。平面外止动结构包括固定到衬底上的锚和机械行程端结构，该机械行程端结构在第二结构层中延伸，面向感测质量块，并通过宽度小于感测质量块的最大位移距离的间隙与感测质量块隔开。机械行程末端结构通过第二弹性连接件连接到锚，该第二弹性连接件使得机械行程末端结构能够响应于感测质量块的冲击而沿感测方向运动。
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公开(公告)号：CN217404317U
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202121746092.X
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统加速度计和设备，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，它们各具有相应第一端部和相应第二端部。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。微机电加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构。本加速度计能够以高灵敏度来检测具有相对较高频率的振动，同时可以受益于对由杂散电压引起的杂散静态效果的高度免疫。
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