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公开(公告)号：CN117330042A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310794367.4
申请日：2023-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有增强的抗振鲁棒性和减小的尺寸的MEMS陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。
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公开(公告)号：CN116892917A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310327918.6
申请日：2023-03-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本公开的实施例涉及紧凑型微机电角速率传感器。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。
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公开(公告)号：CN117948955A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311420098.1
申请日：2023-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及具有沿竖直轴线的角速度检测的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。
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公开(公告)号：CN116448087A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310041100.8
申请日：2023-01-11
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有面外检测运动的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪设置有检测结构，该检测结构具有：具有平行于水平面的顶表面的衬底；一个可移动质量，该可移动质量被悬置在该衬底上方以根据围绕该水平面的一个第一轴线的一个第一角速度来执行围绕该水平面的一个第二轴线的旋转的至少一个第一检测移动；以及第一定子元件和第二定子元件，所述第一定子元件和所述第二定子元件与所述衬底成一体并且布置在所述移动质量下方以限定电容耦合，所述第一定子元件和所述第二定子元件的电容值表示所述第一角速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115435777A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210625074.9
申请日：2022-06-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16
Abstract: 本公开的实施例涉及惯性测量电路、对应的装置以及方法。在一个实施例中，一种电路包括：惯性测量单元，被配置为经由由驱动电路装置提供的驱动信号振荡；锁相放大器，被配置为从惯性测量单元接收感测信号和作为驱动信号的函数的参考解调信号，并且基于感测信号提供惯性测量信号，其中参考解调信号受可变相位误差的影响；相位计电路装置，被配置为接收驱动信号和感测信号，并且作为驱动信号和感测信号之间的相位差的函数来提供；用于所述参考解调信号的相位校正信号和校正节点，所述校正节点被配置为将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，使得响应于将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，所述相位误差被保持在参考值附近。
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公开(公告)号：CN219869736U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202320081825.5
申请日：2023-01-11
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电陀螺仪以及微机电器件。一种微机电陀螺仪，包括：衬底，具有顶表面；可移动质量块，悬置在衬底上方；第一定子元件和第二定子元件，悬置于可移动质量块和衬底的顶表面之间；中央机械锚固结构，耦合到衬底，中央锚固结构包括耦合到衬底的第一部分，第一部分以第一方向位于第一定子元件和第二定子元件之间，中央锚固结构包括耦合到第一定子元件和第二定子元件的第二部分，第一部分以第二方向位于第二部分和衬底之间，第二方向横向于第一方向；以及弹性元件，将可移动质量块耦合到中央机械锚固结构。利用本公开的实施例有利地允许消除由衬底的变形引起的检测结构的电性能的漂移。
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公开(公告)号：CN219776747U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202320666411.9
申请日：2023-03-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712 , B81B7/00 , B81B7/02
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电设备。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。
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公开(公告)号：CN221826184U
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202322918081.0
申请日：2023-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及微机电陀螺仪和电子器件。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。利用本公开的实施例有利地导致零速率水平(ZRL)和比例因子(SF)的稳定性增加。
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公开(公告)号：CN220819017U
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202321699428.0
申请日：2023-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电系统陀螺仪。MEMS陀螺仪，具有：第一可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第一驱动组件，被耦合至第一可移动质量块，并且被配置为生成第一交替驱动移动；第一驱动弹性结构，被耦合至第一可移动质量块，并且被耦合至第一驱动组件，在第一驱动方向上是刚性的，并且在第一感测方向上是顺应性的；第二可移动质量块，被配置为相对于固定结构移动；第二驱动组件，被耦合至第二可移动质量块，并且被配置为在第二驱动方向上生成第二交替驱动移动；第二驱动弹性结构，被耦合至第二可移动质量块，并且被耦合至第二驱动组件，在第二驱动方向上是刚性的，并且在第二感测方向上是顺应性的。
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