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公开(公告)号：CN101920435A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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公开(公告)号：CN102921850B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201210426588.8
申请日：2012-10-31
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种钽十钨棒材的生产方法，包括以下步骤：a）将钽十钨铸锭预热，在预热后的钽十钨铸锭表面涂覆抗氧化涂层；b）将步骤a）得到的钽十钨铸锭置于中频感应圈中，依次在20KW~40KW和60KW~80KW的功率下加热；c）将步骤b）得到的钽十钨铸锭进行径向墩粗和径向拔长，循环多次；d）将步骤c）得到的钽十钨铸锭进行退火，得到钽十钨棒材。本发明还提供了一种钽十钨棒材。本发明通过将钽十钨铸锭在不同功率加热，使钽十钨铸锭受热均匀，有效降低内应力的产生与集中；而锻造加工则采用径向墩粗和拔长的方式，改善了钽十钨铸锭铸造态组织的不均匀程度及破碎程度，防止钽十钨棒材在高温高压使用环境下出现开裂失效的问题。
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公开(公告)号：CN103894442B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201410116026.2
申请日：2014-03-26
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了钽管的制备方法，a）将钽铸锭进行线切割掏孔，得到空心铸锭；b）将步骤a）得到的空心铸锭进行预加热，在预加热后的空心铸锭表面涂覆抗氧化涂层；c）将步骤b）得到的空心铸锭进行再次加热，将再次加热后的空心铸锭进行挤压；d）将步骤c）得到的管坯进行真空热处理，将真空热处理后的管坯进行轧制；e）将步骤d）得到的管坯进行真空热处理，得到钽管。本申请在制备钽管的过程中，依次进行了线切割-预加热-涂覆抗氧化涂层-加热-挤压-真空热处理-轧制-真空热处理的加工工序，使钽管表面质量较好且力学性能较高。本发明还提供了一种由上述方案制备的钽管。
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公开(公告)号：CN103243285B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310200521.7
申请日：2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钽钨材料的制备方法，包括以下步骤：1）将钽钨铸锭进行第一次锻造，将第一次锻造后的钽钨铸锭进行第一次热处理；2）将步骤1）得到的钽钨铸锭进行第二次锻造，将第二次锻造后的钽钨铸锭进行第二次热处理；3）将步骤2）得到的钽钨铸锭轧制，将轧制后的钽钨铸锭进行第三次热处理，得到钽钨材料。在制备钽钨材料的过程中，通过两次锻造，使铸锭内部晶粒得到充分的破碎，得到均匀的内部组织，而随后进行的轧制，使铸锭各个方向发生均匀变形，保证了材料各个方向具有均匀的力学性能和微观组织。本发明还提供了上述方案制备的钽钨材料。
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公开(公告)号：CN104741872A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510021983.1
申请日：2015-01-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钽锭进行冷旋锻，将冷旋锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；B)将步骤A)得到的钽锭进行三次镦粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；C)将步骤B)得到的钽锭进行三次墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；D)将步骤C)得到的钽锭进行热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；E)将步骤D)得到的钽锭进行轧制，将轧制后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理，得到钽靶材。本申请通过热锻与热轧相配合，得到了符合半导体使用要求的内部组织织构均匀的高性能钽靶材。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103009000B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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公开(公告)号：CN103862073A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551254.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B23B27/005 , B23B1/00
Abstract: 本发明提供了一种车削方法，包括：采用车刀对铌靶材或铌合金靶材的外表面进行车削，所述车刀的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。本发明通过对车刀的前角、后角、主偏角、副偏角与刃倾角的选择，使切屑自已加工面排出，避免了切屑粘刀的情况，降低了切削加工的难度。本发明还提供了一种车刀，所述车刀的的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。
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公开(公告)号：CN103849803A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410114933.3
申请日：2014-03-26
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种钽合金，所述钽合金包括1.5wt%～45wt%的Nb、1.8wt%～17.5wt%的W、0.7wt%～1.2wt%的Zr、0.5wt%～3.0wt%的Hf、0.7wt%～3.5wt%的Rb、0.015wt%～0.025wt%的C、0.015wt%～0.025wt%的N与0.015wt%～0.025wt%的Y中的至少一种，和余量的Ta。本发明还提供了钽合金管的制备方法，在制备过程中，依次进行了线切割-预加热-涂覆抗氧化涂层-加热-挤压-真空热处理-轧制-真空热处理的加工工序，使钽合金管表面质量较好、力学性能较高且具有优良的耐腐蚀性能和耐高温性能。
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公开(公告)号：CN103757596A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410031940.7
申请日：2014-01-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。
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公开(公告)号：CN103240417A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310200279.3
申请日：2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种钽带及其制备方法，所述钽带的制备方法具体包括：a）将钽粉进行烧结，得到钽棒，将所述钽棒进行锻造；b）将步骤a）得到的钽棒进行轧制，将轧制得到的钽条进行热处理；c）将步骤b）得到的钽条再次进行轧制，将再次轧制得到的钽条再次进行热处理，得到钽带。在制备钽带的过程中，首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒，然后将钽棒进行锻造，使其发生变形，最后将钽棒进行了两次轧制，使钽棒在多个方向进行加工，有利于钽棒的各向均匀性；同时本发明在轧制之后进行了热处理，从而消除加工过程的残余应力，使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
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