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公开(公告)号：CN102916673B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201210272191.8
申请日：2012-08-01
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/171 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , H03H2003/0407 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器包括：下电极，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极上并包括至少两层；上电极，其设置在压电膜上，并具有面对下电极且与下电极一起夹着压电膜的区域；和绝缘膜，其设置在下电极和上电极彼此面对的区域中，并在所述至少两层的各层之间，其中绝缘膜的上表面比绝缘膜的下表面平坦。
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公开(公告)号：CN102763329B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180010162.8
申请日：2011-02-21
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/605 , H03H7/0123 , H03H7/0138 , H03H7/075 , H03H7/463 , H03H9/542 , H03H9/568 , H03H9/6483 , H03H9/706 , H03H9/725
Abstract: 进行滤波器的低损耗化和宽频带化。电感器（L11）与输入侧的并联谐振器（P11）并联连接，电感器（L12）与输出侧的串联谐振器（S12）并联连接。电感器（L11）和（L12）分别连接在不同的路径上（串联谐振器与并联谐振器之间的路径上）。通过这样的结构，能够在输入/输出间进行阻抗匹配，因此能够实现低损耗且宽频带的梯形滤波器。
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公开(公告)号：CN102916674A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210273497.5
申请日：2012-08-02
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/02102 , H03H9/131 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/583 , H03H9/585 , H03H9/605 , H03H9/706 , H03H2003/0471
Abstract: 本发明提供了一种声波滤波器。一种包括多个压电薄膜谐振器的声波滤波器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；隔着至少一部分所述压电膜设置的下电极和上电极；用于频率控制的质量负荷膜，其位于下电极与上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，其弹性常数的温度系数具有与压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在谐振区中位于下电极与上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。
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公开(公告)号：CN102754342A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201180008837.5
申请日：2011-01-11
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 简单地降低不需要的寄生波。越靠近上部电极（45）与下部电极（43）的相对区域的中心部越密集配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），越靠近相对区域的外周部越稀疏配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），由此，能够廉价地实现降低了不需要的寄生波的特性优良的压电薄膜谐振器。即，将质量负载膜（51）的岛图案（51a）在相对区域的中心部密集配置，在相对区域的外周部稀疏配置，这模拟地与将中心部的膜密度设为较高，将外周部的膜密度设为较低相等。结果，引起作为主振动的厚度纵向振动以外的不需要的寄生波的、横向弹性波的锁定效应减小，从而降低不需要的寄生波。
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公开(公告)号：CN1503451B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200310113761.X
申请日：2003-11-21
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H9/0095 , H03H9/1014 , H03H9/568
Abstract: 一种滤波器元件以及包含它的滤波器器件、双工器和高频电路，该滤波器元件包含位于电路的串联支路和并联支路中的多个谐振器。在该滤波器元件中，至少一个串联支路谐振器包含多个并联的单端双压电薄膜谐振器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110545084B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN201910316552.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 本发明涉及氮化铝膜、压电装置、谐振器、滤波器和多路复用器。本发明提供一种氮化铝膜，其中，含有不同于铝并取代铝的金属元素的氮化铝晶粒是由晶粒形成的多晶膜的主晶粒，并且在多晶膜的膜厚度方向上对应于多晶膜的两个端部的第一区域和第二区域中的至少一个区域中的氮化铝晶粒之间的晶界中的金属元素的浓度高于至少一个区域中的氮化铝晶粒的中心区域中的金属元素的浓度，并高于在多晶膜的膜厚度方向上位于第一区域和第二区域之间的第三区域中的氮化铝晶粒之间的晶界中的金属元素的浓度。
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公开(公告)号：CN104660211B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201410655028.9
申请日：2014-11-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H01P5/16 , H01P1/20381 , H01P1/2039 , H01P5/028 , H01P7/08 , H03H3/04 , H03H9/02102 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H9/706 , H03H2003/021 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明涉及声波滤波器和双工器。声波滤波器包括串联共振器和并联共振器，该串联共振器和并联共振器在同一基板上具有压电膜并且具有下电极和上电极，其中：串联共振器和并联共振器中的一方在共振区域中、在下电极或上电极的与压电膜相反的面上具有温度补偿膜，补偿膜具有的温度系数的弹性常数的正负号与压电膜的弹性常数的温度系数的正负号相反；并且串联共振器和并联共振器中的另一方在共振区域中、在与压电膜相比时在下电极侧或上电极侧中的与串联共振器和并联共振器中的一方中的温度补偿膜的相同侧上具有附加膜。
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公开(公告)号：CN105281701B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201510440980.1
申请日：2015-07-24
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/706 , H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/205 , H03H9/54 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明涉及一种滤波器和一种双工器。该滤波器包括：多个压电薄膜共振器，每个所述压电薄膜共振器包括：基板；压电膜，该压电膜位于基板上；下电极和上电极，该下电极和上电极在所述压电膜的至少一部分的两侧彼此面对；以及插入膜，该插入膜插入压电膜中，位于共振区域内的外周区域的至少一部分中，并且不位于共振区域的中心区域中，该共振区域是这样的区域，在该区域中下电极和上电极在所述压电膜的两侧彼此面对，其中，压电薄膜共振器中的至少两个压电薄膜共振器具有的共振区域内的插入膜的宽度不同。
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公开(公告)号：CN105281701A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510440980.1
申请日：2015-07-24
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/706 , H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/205 , H03H9/54 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明涉及一种滤波器和一种双工器。该滤波器包括：多个压电薄膜共振器，每个所述压电薄膜共振器包括：基板；压电膜，该压电膜位于基板上；下电极和上电极，该下电极和上电极在所述压电膜的至少一部分的两侧彼此面对；以及插入膜，该插入膜插入压电膜中，位于共振区域内的外周区域的至少一部分中，并且不位于共振区域的中心区域中，该共振区域是这样的区域，在该区域中下电极和上电极在所述压电膜的两侧彼此面对，其中，压电薄膜共振器中的至少两个压电薄膜共振器具有的共振区域内的插入膜的宽度不同。
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公开(公告)号：CN104660211A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410655028.9
申请日：2014-11-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H01P5/16 , H01P1/20381 , H01P1/2039 , H01P5/028 , H01P7/08 , H03H3/04 , H03H9/02102 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H9/706 , H03H2003/021 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明涉及声波滤波器和双工器。声波滤波器包括串联共振器和并联共振器，该串联共振器和并联共振器在同一基板上具有压电膜并且具有下电极和上电极，其中：串联共振器和并联共振器中的一方在共振区域中、在下电极或上电极的与压电膜相反的面上具有温度补偿膜，补偿膜具有的温度系数的弹性常数的正负号与压电膜的弹性常数的温度系数的正负号相反；并且串联共振器和并联共振器中的另一方在共振区域中、在与压电膜相比时在下电极侧或上电极侧中的与串联共振器和并联共振器中的一方中的温度补偿膜的相同侧上具有附加膜。
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