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公开(公告)号:CN101617436B
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN200880005919.2
申请日:2008-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01P1/203 , H03H3/02 , H03H9/0542 , H03H9/542 , H03H9/564 , H03H9/568 , Y10T29/42
Abstract: 一种带通滤波器,包括BAW滤波器和具有短截线的图案化平面滤波器的组合。BAW滤波器由多个压电谐振器组成,用于提供特定的频率通带;而平面滤波器被配置为衰减在通带附近和外侧的频率。谐振器以梯状配置连接在第一信号传输路径和地之间。所述平面滤波器包括在电介质层上形成的带状线,以限定第二信号传输路径。所述BAW滤波器和所述平面滤波器被形成在公共衬底上,第一和第二传输路径彼此连接。所述BAW滤波器与加有短截线的图案化平面滤波器组合,可以改善BAW滤波器固有的深的近带拒波效果,呈现出在通带之外的特定相邻频率范围上的良好带外拒波效果,因此,给出了锐且宽的通带。
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公开(公告)号:CN101501990B
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN200780028981.9
申请日:2007-08-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H9/132 , H03H9/542 , H03H9/585 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H2009/02204
Abstract: 本发明是一种声音薄膜谐振器,具有第一压电薄膜(101);成对的一次侧电极(103、104),形成在上述第一压电薄膜上,用于施加电信号;第二压电薄膜(102),被配置成传播在上述第一压电薄膜中产生的振动;成对的二次侧电极(104、105),形成在上述第二压电薄膜上,用于输出电信号;负载(108),连接在上述二次侧电极之间;以及控制部(109),控制上述负载的值。构成有利用压电效应从上述二次侧电极输出从上述一次侧电极输入的电信号的声音薄膜谐振子,通过控制上述负载的值从而谐振频率和反谐振频率可变。根据本发明,谐振频率和反谐振频率同时可变而不会使谐振特性劣化。
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公开(公告)号:CN1977450B
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200580021979.X
申请日:2005-07-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/587 , B81B2201/0271 , B81C1/00238 , H03H9/105 , H03H9/1092 , H03H9/564
Abstract: 提供一种具有更小尺寸的压电滤波器。该压电滤波器(10)具有:第一基板(22),在第一基板22的主表面上安置有至少一个第一压电谐振器(25);第二基板(12),在第二基板的主表面上安置有至少一个第二压电谐振器(15);连接图案(20),其在第一压电谐振器(25)和第二压电谐振器(15)周围延伸并且安置在第一基板(22)与第二基板(12)之间,第一基板(22)的主表面面对第二基板(12)的主表面,利用连接图案(20)将第一压电谐振器(25)接合到第二压电谐振器(15)上,并且第一压电谐振器(25)远离第二压电谐振器(15);以及连接层(24x),用于将垫片(28x)接合到垫片(18x)上,垫片(28x)被安置在第一基板(22)的主表面上并且电连接第一压电谐振器(25),而垫片18x被安置在第二基板(12)的主表面上并且电连接第二压电谐振器(15)。
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公开(公告)号:CN102160284A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200880131170.6
申请日:2008-11-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/0414 , H03H2003/0428 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 弹性波器件的制造方法包括以下步骤:层叠步骤,在基板(1)上形成包含下部电极(2)、压电膜(3)和上部电极(4)的多个弹性波器件;测定步骤,测定基板(1)上的多个弹性波器件中的动作频率的分布;以及调整步骤,根据动作频率的分布,在各弹性波器件的所述谐振部中,形成所述弹性波器件的厚度与其他部分不同的调整区域,在所述调整步骤中,以使各弹性波器件的所述谐振部中的所述调整区域的面积根据所述测定出的所述动作频率的分布而不同的方式,形成所述调整区域。由此,能够利用较少步骤简单地调整弹性波器件的频率特性。
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公开(公告)号:CN1653687B
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN03811351.1
申请日:2003-05-15
Applicant: NXP股份有限公司
Abstract: 一种具有多个体波谐振器的体波滤波器,体波谐振器包括:衬底(1);淀积在衬底上的压电材料层(3);第一电极(2)和第二电极(4),其设置在压电材料层(3)的相对表面上,第一电极(2)和第二电极(4)的重叠区域限定了体波谐振器的谐振范围,其特征在于,与至少其中一个电极(2,4)平行的相交平面中的重叠区域具有范围在1≤(b/a)≤100的长宽比,其中a是体波谐振器的长度,b是其宽度。
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公开(公告)号:CN1685610B
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN200380100149.7
申请日:2003-10-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor: 佐佐木幸纪
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/0207 , H03H9/02102 , H03H9/02133 , H03H9/174 , H03H9/177 , H03H9/562 , H03H9/564 , H03H9/588
Abstract: 本发明的压电振子的特征在于,是将氧化硅膜(3)作为电介质膜而设置的层叠结构。通过采取上述结构,减小了由于在压电板(1)的两主面上存在电介质膜的缘故而起因于长期的应力缓和的差的对压电板(1)或电介质膜起作用的内部应力的差,可尽可能减小翘曲。具有可减小因压电振子发生翘曲引起的压电振子的共振频率的变化的效果。
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公开(公告)号:CN100586010C
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200510054386.5
申请日:2005-03-09
Applicant: 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司
CPC classification number: H03H9/564 , H03H9/02118
Abstract: 本发明涉及一种由薄膜声体波振荡器所制成的声体波滤波器(40),以及一种消除不要的侧通带的方法。此BAW滤波器乃包括一衬底(14),一振荡器区段(11),以及一声学镜象(12)。更进一步地是,其乃包括位在该振荡器区域(11)中的一解谐构件(31),其用以提供精准的通带特征,以及包括位在该声学镜象区段(12)中的一额外解谐构件(41),以抑制不要的侧通带特征。
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公开(公告)号:CN100547920C
公开(公告)日:2009-10-07
申请号:CN200710079154.4
申请日:2007-02-14
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/174 , H03H9/568 , H03H2003/023
Abstract: 一种薄膜压电共振器包括:具有空腔的衬底;第一介电层,设置在所述衬底上以覆盖所述空腔;第二介电层,设置在所述衬底上且设置在所述空腔的周围区域中,且其厚度大于所述第一介电层的厚度;第一电极,设置在所述第一介电层上和所述空腔上方;压电层,设置在所述第一电极上且设置为延伸至所述第二介电层上的区域;以及第二电极,设置在所述压电层上和所述第一电极上方。
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公开(公告)号:CN101136620A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200710147242.3
申请日:2007-08-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波器件、滤波器和双工器。该声波器件包括:第一谐振器,其具有沿晶轴取向方向或极轴方向夹在一对电极之间的压电材料;以及第二谐振器,其具有夹在另一对电极之间的另一压电材料,并且与所述第一谐振器串联连接成:使得所述另一对电极中的位于沿所述晶轴取向方向或极轴方向的电极与所述第一谐振器的所述一对电极中的沿所述晶轴取向方向或极轴方向的电极处于相等的电势。
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公开(公告)号:CN101069344A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200580041176.0
申请日:2005-12-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/566
Abstract: 上电极(50)包括以圆形形状形成的第一电极部件(51)和在所述第一电极部件(51)的外部以扇形方式形成的第二电极部件(52)和第三电极部件(53)。该第一,第二和第三电极部件(51至53)经由绝缘区域彼此电气隔离。下电极(30)包括以圆形形状形成的第四电极部件(31)和在所述第四电极部件(31)的外部以扇形方式形成的第五电极部件(32)和第六电极部件(33)。类似的,该第四,第五和第六电极部件(31至33)经由绝缘区域彼此电气隔离。此外,分别提供第四电极部件(31)使其经由压电体(40)面对所述第一电极部件(51),提供第五电极部件(32)使其经由所述压电体(40)面对所述第二电极部件(52),以及提供第六电极部件(33)使其经由所述压电体(40)面对所述第三电极部件(53)。
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