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公开(公告)号:CN101069344A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200580041176.0
申请日:2005-12-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/566
Abstract: 上电极(50)包括以圆形形状形成的第一电极部件(51)和在所述第一电极部件(51)的外部以扇形方式形成的第二电极部件(52)和第三电极部件(53)。该第一,第二和第三电极部件(51至53)经由绝缘区域彼此电气隔离。下电极(30)包括以圆形形状形成的第四电极部件(31)和在所述第四电极部件(31)的外部以扇形方式形成的第五电极部件(32)和第六电极部件(33)。类似的,该第四,第五和第六电极部件(31至33)经由绝缘区域彼此电气隔离。此外,分别提供第四电极部件(31)使其经由压电体(40)面对所述第一电极部件(51),提供第五电极部件(32)使其经由所述压电体(40)面对所述第二电极部件(52),以及提供第六电极部件(33)使其经由所述压电体(40)面对所述第三电极部件(53)。
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公开(公告)号:CN1953322A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610137387.0
申请日:2006-10-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/0514 , H03H9/132 , H03H9/172 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H9/706
Abstract: 上电极103设置在压电层101的一个主表面上,而下电极设置在压电层101的另一主表面上。振动部分104是下电极102、压电层101、以及上电极103在垂直投影方向上重叠的区域。用于分别将下电极102与上电极103连接到输入/输出电极107的线电极108设置在压电层101的一个主表面与另一主表面上。振动部分104经由支承部分109置于(连接到)衬底105上。支承部分109设置在压电层101上除设置有振动部分104的区域、以及设置有输入/输出电极107与线电极108的区域之外的区域上。
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公开(公告)号:CN1677842A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510056227.9
申请日:2005-03-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03B5/30
CPC classification number: H03H9/02157 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/585 , H03H9/588
Abstract: 空穴31的开口C的面积等于或大于振动部分10的水平横截面D的面积。振动部分10设置在支撑部分20的某一位置,使得在基片30上振动部分10的垂直突起容纳在空穴31的开口C内。另外,振动部分10的垂直厚度t1与支撑部分20的垂直厚度t2之和等于共鸣器1的谐振频率fr的一个波长(一个波长=t1+t2),同时振动部分10的厚度t1与支撑部分20的厚度t2不相等(t1≠t2)。因此,振动部分10的厚度t1与支撑部分20的厚度t2均不等于谐振频率fr的半个波长。
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公开(公告)号:CN1495963A
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN03155339.7
申请日:2003-08-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01P1/20345
Abstract: 一种滤波器,设有不平衡端子、其一端连接不平衡端子的第一微波带状线谐振器、设置的与第一微波带状线谐振器电磁耦合的第二微波带状线谐振器、以及其两端连接第二微波带状线谐振器的平衡端子,其中第一微波带状线谐振器和第二微波带状线谐振器都与至少一个阻抗元件连接,而且第二微波带状线谐振器是基本上为谐振频率下波长的1/2长度的1/2波长的谐振器。
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公开(公告)号:CN1677842B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200510056227.9
申请日:2005-03-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03B5/30
CPC classification number: H03H9/02157 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/585 , H03H9/588
Abstract: 空穴31的开口C的面积等于或大于振动部分10的水平横截面D的面积。振动部分10设置在支撑部分20的某一位置,使得在基片30上振动部分10的垂直突起容纳在空穴3 1的开口C内。另外,振动部分10的垂直厚度t1与支撑部分20的垂直厚度t2之和等于共鸣器1的谐振频率fr的一个波长(一个波长=t1+t2),同时振动部分10的厚度t1与支撑部分20的厚度t2不相等(t1≠t2)。因此,振动部分10的厚度t1与支撑部分20的厚度t2均不等于谐振频率fr的半个波长。
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公开(公告)号:CN1953322B
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200610137387.0
申请日:2006-10-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/0514 , H03H9/132 , H03H9/172 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H9/706
Abstract: 上电极103设置在压电层101的一个主表面上,而下电极设置在压电层101的另一主表面上。振动部分104是下电极102、压电层101、以及上电极103在垂直投影方向上重叠的区域。用于分别将下电极102与上电极103连接到输入/输出电极107的线电极108设置在压电层101的一个主表面与另一主表面上。振动部分104经由支承部分109置于(连接到)衬底105上。支承部分109设置在压电层101上除设置有振动部分104的区域、以及设置有输入/输出电极107与线电极108的区域之外的区域上。
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公开(公告)号:CN101069344B
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200580041176.0
申请日:2005-12-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/566
Abstract: 上电极(50)包括以圆形形状形成的第一电极部件(51)和在所述第一电极部件(51)的外部以扇形方式形成的第二电极部件(52)和第三电极部件(53)。该第一,第二和第三电极部件(51至53)经由绝缘区域彼此电气隔离。下电极(30)包括以圆形形状形成的第四电极部件(31)和在所述第四电极部件(31)的外部以扇形方式形成的第五电极部件(32)和第六电极部件(33)。类似的,该第四,第五和第六电极部件(31至33)经由绝缘区域彼此电气隔离。此外,分别提供第四电极部件(31)使其经由压电体(40)面对所述第一电极部件(51),提供第五电极部件(32)使其经由所述压电体(40)面对所述第二电极部件(52),以及提供第六电极部件(33)使其经由所述压电体(40)面对所述第三电极部件(53)。
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公开(公告)号:CN101199115A
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:CN200680021599.0
申请日:2006-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/0004 , H03H9/0207 , H03H9/02157 , H03H9/564
Abstract: 在平衡-不平衡型多模薄膜弹性波谐振器滤波器(100)中,第1下部电极(102)的面积,与第2及第3下部电极(104、106)和将第2及第3下部电极(104、106)分离的区域的合计面积大致相等。第1上部电极(103)的面积,与第2及第3上部电极(105、107)和将第2及第3上部电极(105、107)分离的区域的合计面积大致相等。第3下部电极(106)与第2上部电极(105)、以及第3上部电极(107)与第2下部电极(104)分别对置地配置。第2下部电极(104)的一部分与第2上部电极(105)的一部分对置地配置。
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公开(公告)号:CN102449906B
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201180002256.0
申请日:2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有:在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5);以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔,其中,在垂直于基板表面的方向上,在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9),将另一个空腔设为第二空腔时,在平行于基板表面的方向上,将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧,从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力,可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号:CN101228691B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200680026521.8
申请日:2006-08-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/17 , H03H3/02 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/0514 , H03H9/13 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H2003/025 , Y10T29/42
Abstract: 压电谐振器具备:由压电薄膜构成的压电体层(101);第一电极(102),形成在压电体层(101)的一个主面上,并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状;及第二电极(103),形成在压电体层(101)的另一个主面上,并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状。
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