公开(公告)号：CN108370242A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680073773.X

申请日：2016-11-29

Applicant: 追踪有限公司

Inventor： 菲利普·迈克尔·耶格 ,  维尔纳·吕勒

IPC: H03H3/04 ,  H03H9/205 ,  H03H9/60

CPC classification number: H03H3/04 ,  H03H9/205 ,  H03H9/605 ,  H03H2003/0414 ,  H03H2003/0471

Abstract: 本发明涉及一种滤波电路(100)，该滤波电路具有通过体声波工作的第一和第二谐振器(2，3)，其中该第一谐振器(2)具有第一压电层(4)，该第一压电层如此结构化，即使得该第一谐振器(2)具有比该第二谐振器(3)低的谐振频率，其中该第一压电层(4)通过凹口(14)结构化，这些凹口穿过该第一压电层(4)，其中该第一谐振器(2)和该第二谐振器(3)作为串联谐振器(102，105)与该滤波电路(100)的信号路径串联连结，或其中该第一谐振器(2)和该第二谐振器(3)作为并联谐振器(103，106)如此与该滤波电路(100)的信号路径连结，即使得这些谐振器的电极分别与该信号路径连接。

公开(公告)号：CN102037643A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980118666.4

申请日：2009-03-02

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 渡边重德 ,  武藤猛 ,  小山光明

IPC: H03H9/17 ,  G01N5/02 ,  H03B5/32 ,  H03H9/19 ,  H03H9/205

CPC classification number: G01N5/02 ,  G01G3/13 ,  G01G3/16 ,  G01G3/18 ,  G01N1/405 ,  G01N33/0004 ,  H03B5/323 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/132 ,  H03H9/56 ,  H03H2003/0428 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0471

Abstract: 本发明提供一种频率稳定性高的压电振子及使用该压电振子的探测传感器。本发明的压电振子(1)具有：用于读取第1振荡频率而设置在压电片(100)上的第1振动区域(105)；用于读取第2振荡频率而隔着弹性边界区域(107)设置在与第1振动区域(105)不同的区域(106)的第2振动区域，并且具备在这些振动区域(105、106)具备夹着上述压电片(100)设置在一面侧和另一面侧的激振电极(101～103)，第1振荡频率与第2振荡频率的频率差为这些振荡频率的0.2％以上2.2％以下。

公开(公告)号：CN100492896C

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN01802154.9

申请日：2001-05-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： R·W·沃特莫尔 ,  P·B·柯尔比 ,  苏清新 ,  小室荣树

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/605 ,  H03H2003/0471

Abstract: 电气滤波器具有串联和并联排列的1个以上的非压电层例如上部电极(24)的厚度(T)不同的多个薄膜体波谐振器(10，11)。

公开(公告)号：CN101166020A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710181952.8

申请日：2007-10-17

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 谷口真司 ,  西原时弘 ,  横山刚 ,  岩城匡郁 ,  远藤刚 ,  斋藤康之 ,  江原永典 ,  上田政则

IPC: H03H9/54 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/205 ,  H03H3/00 ,  H03H3/0073 ,  H03H3/04 ,  H03H9/0211 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/02149 ,  H03H9/131 ,  H03H9/132 ,  H03H9/15 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/178 ,  H03H9/54 ,  H03H9/568 ,  H03H9/587 ,  H03H9/588 ,  H03H9/605 ,  H03H9/6483 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/023 ,  H03H2003/0414 ,  H03H2003/0471 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49208 ,  Y10T29/49224

Abstract: 本发明提供了一种梯型滤波器。该梯型滤波器包括：串联谐振器，该串联谐振器具有第一层叠膜，在该第一层叠膜中，上部电极和下部电极隔着压电膜而彼此面对，并且在该第一层叠膜上设有第一膜；以及并联谐振器，该并联谐振器具有第二层叠膜，该第二层叠膜具有与所述第一层叠膜相似的结构，在该第二层叠膜上设有第二膜以及与所述第一膜相同的另一第一膜。

公开(公告)号：CN104854793B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201280077848.3

申请日：2012-12-21

Applicant: 快速追踪有限公司

Inventor： G.穆拉尔

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/04 ,  H03H9/70 ,  H01H1/00 ,  H01H57/00 ,  H01L41/09 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/706 ,  H01H1/0036 ,  H01H57/00 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/27 ,  H01P5/12 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/171 ,  H03H9/205 ,  H03H9/58 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0471 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/49005

Abstract: 提供改进的BAW部件、BAW部件的叠层和用于制造BAW部件的方法。BAW部件的叠层（L）包括具有第一压电材料的第一层（PM1）和具有第二压电材料的第二层（PM2），该第二压电材料与该第一压电材料不同。第一和第二压电材料可以分别是Sc掺杂AlN和AlN。公开用于制造具有不同谐振频率或开关闭合电压的多个BAW部件的方法。部件包括具有不同蚀刻选择性的两个压电层的堆叠并且方法牵涉在选择的部件中去除其中一个层。

公开(公告)号：CN104579233A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201310501329.1

申请日：2013-10-23

Applicant: 中兴通讯股份有限公司 ,  天津大学

Inventor： 张浩 ,  杜良桢 ,  庞慰 ,  程微 ,  江源 ,  孙海龙

IPC: H03H9/54 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/172 ,  H03H3/04 ,  H03H9/171 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/023 ,  H03H2003/025 ,  H03H2003/0421 ,  H03H2003/0428 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0442 ,  H03H2003/0471

Abstract: 本发明公开了一种薄膜谐振器的制作方法及装置。本发明的制作方法包括：检测已经淀积的各膜层的厚度；当检测到的膜层厚度不在标准厚度范围内时，判断质量加载层是否已经淀积，若否，则选取未淀积的膜层进行厚度补偿，根据补偿后的膜层厚度和目标频率偏移计算出产生所述目标频率偏移所需的质量加载层的厚度；所述标准厚度范围由所述谐振器的目标频率以及工艺生产能力决定；按照补偿后的未淀积的膜层厚度以及重新计算出的质量加载层的厚度进行后续的薄膜淀积；本发明的制作方法及装置能够精确地产生所需的频率偏移，提高产品的良率。

公开(公告)号：CN102916674A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210273497.5

申请日：2012-08-02

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 西原时弘 ,  谷口真司 ,  上田政则

IPC: H03H9/64

CPC classification number: H03H9/0095 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/131 ,  H03H9/173 ,  H03H9/175 ,  H03H9/542 ,  H03H9/583 ,  H03H9/585 ,  H03H9/605 ,  H03H9/706 ,  H03H2003/0471

Abstract: 本发明提供了一种声波滤波器。一种包括多个压电薄膜谐振器的声波滤波器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；隔着至少一部分所述压电膜设置的下电极和上电极；用于频率控制的质量负荷膜，其位于下电极与上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，其弹性常数的温度系数具有与压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在谐振区中位于下电极与上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。

公开(公告)号：CN1081795A

公开(公告)日：1994-02-09

申请号：CN93107682.X

申请日：1993-07-06

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 加藤郁夫 ,  籾山刚

IPC: H03H9/54

CPC classification number: H03H9/562 ,  H03H9/0542 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0471

Abstract: 多个压电陶瓷滤波器有互不相同的中心频率，互相前后连接。压电陶瓷滤波器在中心频率的频率差dF0的绝对值设为|dF0|，插入损耗为3dB以下的通频带宽设为BW3的时候满足0＜|dF0|/BW3＜0.8。插入损耗的降低和群时延特性的改善同时得到满足。

公开(公告)号：CN104854793A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201280077848.3

申请日：2012-12-21

Applicant: 埃普科斯股份有限公司

Inventor： G.穆拉尔

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/04 ,  H03H9/70 ,  H01H1/00 ,  H01H57/00 ,  H01L41/09 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/706 ,  H01H1/0036 ,  H01H57/00 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/27 ,  H01P5/12 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/171 ,  H03H9/205 ,  H03H9/58 ,  H03H2003/0435 ,  H03H2003/0471 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/49005

Abstract: 提供改进的BAW部件、BAW部件的叠层和用于制造BAW部件的方法。BAW部件的叠层（L）包括具有第一压电材料的第一层（PM1）和具有第二压电材料的第二层（PM2），该第二压电材料与该第一压电材料不同。第一和第二压电材料可以分别是Sc掺杂AlN和AlN。公开用于制造具有不同谐振频率或开关闭合电压的多个BAW部件的方法。部件包括具有不同蚀刻选择性的两个压电层的堆叠并且方法牵涉在选择的部件中去除其中一个层。

公开(公告)号：CN102638244A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210027528.9

申请日：2012-02-08

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 谷口真司 ,  西原时弘 ,  横山刚 ,  坂下武

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/02086 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/173 ,  H03H9/582 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/0442 ,  H03H2003/045 ,  H03H2003/0471

Abstract: 本发明涉及声波器件和滤波器。所述声波器件包括：基板；压电膜，所述压电膜形成在所述基板上；下电极，所述下电极设置在所述压电膜的第一表面上；上电极，所述上电极设置在所述压电膜的与所述第一表面相对的第二表面上；以及质量负荷膜，所述质量负荷膜在谐振部分中具有第一图案和第二图案，在所述谐振部分中所述下电极和所述上电极隔着所述压电膜彼此面对，所述第一图案具有多个部分，并且所述第二图案具有将所述第一图案的所述多个部分相互连接的多个部分。