液滴释放装置和液滴释放方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115593113A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202210740296.5

    申请日:2022-06-28

    Abstract: 本发明提供使维护步骤中的液滴释放头的清洁性能提高的液滴释放装置和液滴释放方法。液滴释放装置向工件释放功能液的液滴来进行描绘,并包括:向上述工件释放液滴的液滴释放头;处理液供给部,其向上述液滴释放头供给作为上述功能液的溶剂的第一清洗液或醇类的第二清洗液;和对上述处理液供给部进行控制的控制部,上述控制部构成为能够执行如下控制:在将填充于上述液滴释放头的上述功能液替换为上述第一清洗液和上述第二清洗液中的任一种清洗液之后,替换为另一种清洗液。

    液体排出装置和液体排出方法
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113808969A

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN202110625856.8

    申请日:2021-06-04

    Abstract: 本发明要解决的技术问题是,防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上,而导致功能液的抽吸性能、排出性能受损。本发明提供液体排出装置和液体排出方法。本发明的液体排出装置用于将来自释放头的功能液排出,在所述释放头形成有用于向工件释放功能液的液滴的释放孔,所述液体排出装置的特征在于,具有:排液管,其用于对所述释放头内的功能液进行抽吸或者与接收从所述释放头释放的功能液的液体接收部连接;和供给管,其用于向所述排液管供给使所述排液管内的功能液流出的清洗用流体。

    有机EL面板和有机EL面板的制造方法

    公开(公告)号:CN110620186A

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201910514340.9

    申请日:2019-06-14

    Abstract: 本发明提供一种经由电子输送层和电子注入层高效地将电子从辅助电极供给到阴极的技术。一种有机EL面板,其包括:以矩阵状形成有多个有机EL元件,有机EL元件按如下顺序具有阳极、发光层、电子输送层、电子注入层和阴极,电子输送层、电子注入层和阴极以遍及多个有机EL元件的方式连续地形成,有机EL面板包括:辅助电极,其在多个有机EL元件之间,经由电子输送层和电子注入层将电子供给到阴极;和具有第一开口部及第二开口部的绝缘层,其中第一开口部在内部形成有发光层,第二开口部形成有从辅助电极去往阴极的电子的供给路径,辅助电极的与电子输送层相对的表面的功函数比阳极的与发光层相对的表面的功函数小。

    减压干燥装置
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108987310A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810552163.9

    申请日:2018-05-31

    CPC classification number: H01L51/56 H01L21/67034

    Abstract: 本发明提供一种用于使涂敷在基片(W)的表面的有机材料膜中的溶剂在减压状态下干燥的减压干燥装置。减压干燥装置(1)包括:收纳基片的腔室(10);和将腔室(10)内的空间与对腔室(10)内进行排气的排气装置(P)连接的多个排气管(30),多个排气管(30)分别具有可封堵该排气管(30)的APC阀(31),多个排气管(30)包括:在APC阀(31)的下游设置有收集从基片W气化了的溶液中的溶剂的溶剂收集部(32)的有溶剂收集部排气通道(30);和没有设置有溶剂收集部(21)的无溶剂收集部排气通道(30)。由此,能够提供基片的减压干燥结束为止的时间短的减压干燥装置。

    涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器

    公开(公告)号:CN107871694A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201710864656.1

    申请日:2017-09-22

    CPC classification number: H01L27/3206 H01L21/67017 H01L21/77

    Abstract: 本发明提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。该涂敷装置具有:包含多个喷头的排出单元,该喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴;保持基板的基板保持部;和在与第一方向交叉的第二方向上使排出单元和基板保持部相对移动的移动机构,排出单元从喷嘴向预先形成在由基板保持部保持的基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴,发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组,至少一个开口部跨隔开间隔地在第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。

    干燥装置和干燥处理方法
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104228329B

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:CN201410251369.X

    申请日:2014-06-06

    Abstract: 本发明的干燥装置和干燥处理方法在短时间内高效率地去除在对基板上的有机材料膜进行干燥的干燥装置的处理容器内残留的溶剂。干燥装置(100)具备能够进行抽真空的处理容器(1)、在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、向处理容器(1)的内部照射紫外线的紫外线照射装置(5)以及控制部(6)。紫外线照射装置(5)作为溶剂分解单元而发挥功能,其在从处理容器(1)搬出已完成干燥处理的基板(S)之后,将残留在处理容器(1)内的溶剂中包含的有机化合物分解为低分子量的化合物。

    烘焙处理系统
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104488358A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201380039479.3

    申请日:2013-06-11

    Abstract: 烘焙处理系统(100)包括:真空烘焙装置(VB)1),其用于以大气压以下的压力对利用外部的喷墨打印装置(IJ)200)形成于基板(S)上的有机材料膜进行焙烧;输送装置(11),其用于将基板(S)向真空烘焙装置(VB)1)输送;输送室(TR)10),其能抽成真空,用于容纳输送装置(11);加载互锁装置(LL)20),其构成为能够在大气压状态和真空状态之间切换;以及输送装置(31),其配置于基板输送路径中的位于喷墨打印装置(IJ)200)和加载互锁装置(LL)20)之间的部分,用于进行基板(S)的交接。

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