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公开(公告)号：CN111791591B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202010547401.4
申请日：2016-08-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使排出至开口部的液滴难以向相对于该开口部相邻的开口部泄漏的液滴排出方法和程序、以及使用了该液滴排出方法的有机EL装置的制造方法、使用了该液滴排出方法的滤色器的形成方法。本实施方式的液滴排出方法包括：区域设定步骤，在该步骤中，以从与该开口部(105a)在X轴方向上相邻的开口部的该开口部(105a)侧的端部向该开口部(105a)侧隔开规定的距离(L)的方式设定该开口部(105a)的着落区域(105e)的端部；以及排出步骤，在该步骤中，使基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从排出头的喷嘴(52)向着落区域(105e)着落。
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公开(公告)号：CN107618265B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201710573623.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
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公开(公告)号：CN109671647A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811202183.X
申请日：2018-10-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。
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公开(公告)号：CN107768278B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201710723809.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , B41J29/393 , B41J2/07
Abstract: 本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动，从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘，其包括线传感器，在工件(W)上预先形成有规定大小的标记，从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W)，由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄，基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度，修正上述液滴的拍摄结果，基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。
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公开(公告)号：CN111834553A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010263606.X
申请日：2020-04-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种使涂敷于基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括暂时收集从所述基板气化了的所述溶液中的溶剂的溶剂收集部，所述溶剂收集部以与所述基板相对的方式配置，且被划分为多个区域，在所述多个区域各自形成有开口，所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的每单位面积的热容根据与该区域相对的基板中的部分而不同。由此，能够使基板上的溶液的干燥时间在基板的面内更加均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107650520B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201710611980.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B41J25/24
Abstract: 本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。
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公开(公告)号：CN110444696A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910337488.X
申请日：2019-04-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供辅助电极用的接触孔的数量最优化的有机EL显示器。本发明的一个方式的涂敷装置包括基片保持部、排出单元和移动机构。排出单元包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头。移动机构使排出单元和基片保持部沿与第一方向交叉的第二方向相对地移动。基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖多个像素电极并且形成有多个使至少一个像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极电连接的多个接触孔，其中该对置电极与多个像素电极相对。对每2个以上的副像素形成接触孔。排出单元从喷嘴向由基片保持部保持的基片的开口部排出有机材料的液滴。
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公开(公告)号：CN106476433B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201610720161.7
申请日：2016-08-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使排出至开口部的液滴难以向相对于该开口部相邻的开口部泄漏的液滴排出方法和程序、以及使用了该液滴排出方法的有机EL装置的制造方法、使用了该液滴排出方法的滤色器的形成方法。本实施方式的液滴排出方法包括：区域设定步骤，在该步骤中，以从与该开口部(105a)在X轴方向上相邻的开口部的该开口部(105a)侧的端部向该开口部(105a)侧隔开规定的距离(L)的方式设定该开口部(105a)的着落区域(105e)的端部；以及排出步骤，在该步骤中，使基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从排出头的喷嘴(52)向着落区域(105e)着落。
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公开(公告)号：CN111791591A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010547401.4
申请日：2016-08-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使排出至开口部的液滴难以向相对于该开口部相邻的开口部泄漏的液滴排出方法和程序、以及使用了该液滴排出方法的有机EL装置的制造方法、使用了该液滴排出方法的滤色器的形成方法。本实施方式的液滴排出方法包括：区域设定步骤，在该步骤中，以从与该开口部(105a)在X轴方向上相邻的开口部的该开口部(105a)侧的端部向该开口部(105a)侧隔开规定的距离(L)的方式设定该开口部(105a)的着落区域(105e)的端部；以及排出步骤，在该步骤中，使基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从排出头的喷嘴(52)向着落区域(105e)着落。
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公开(公告)号：CN107768278A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710723809.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , B41J29/393 , B41J2/07
CPC classification number: H01L21/6715 , B41J2/07 , B41J29/393
Abstract: 本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动，从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘，其包括线传感器，在工件(W)上预先形成有规定大小的标记，从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W)，由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄，基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度，修正上述液滴的拍摄结果，基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。
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